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基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究

氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法，用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，其旋转半径 R=144/B×10-4（U×M/Z）1/2 式中： R――离子偏转轨道半径（cm） B――磁场强度（T） U――离子加速电压（V） M/Z――离子的质荷比（离子的质量与电荷的比值） 由上式可知，当R、B为固定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。被检测的气体是固定的（He气），即质荷比M/Z是已知的，因此只要调整好加速电压，使He离子能通过接收缝到达接收电极，而使其他离子不被接收，接收电极接收到的He......阅读全文