氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。 2、泄漏程度的量化 容器泄漏程度的量化，用泄漏率来表示。漏率的定义其中：△P 为压强的变化量V为容器的体积△t为时间的变化量3、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作......阅读全文
深度揭秘氦质谱检漏技术——灵敏度及最小可检漏率
一、灵敏度与最小可检漏率的关系对于一般仪器来说，灵敏度是最主要的性能指标之一。所谓灵敏度就是仪器输出变化除以导致这个变化的输入量。对于氦质谱检漏仪来说，输出变化即为输出指示（仪表或数码显示器）值的变化，而导致这个输出指示变化的是漏孔的漏率。在确定氦质谱检漏仪的灵敏度时，常将一已知的漏率的标准漏孔漏出
深度揭秘氦质谱检漏技术－——灵敏度及最小可检漏率
一、灵敏度与最小可检漏率的关系对于一般仪器来说，灵敏度是最主要的性能指标之一。所谓灵敏度就是仪器输出变化除以导致这个变化的输入量。对于氦质谱检漏仪来说，输出变化即为输出指示（仪表或数码显示器）值的变化，而导致这个输出指示变化的是漏孔的漏率。在确定氦质谱检漏仪的灵敏度时，常将一已知的漏率的标准漏孔漏出
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。 质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少（在空气中约含5.2ppm
氦质谱检漏器的主要性能指标
根据氦气储气库位置与样品的不同关系，氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法，总结了这4种氦质谱法检漏方法的检测原理、优缺点和检测标准。 得到氦质谱检漏器的主要性能指标。 1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。 2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦
氦检漏法在PET热态真空测试中的应用
中国石油辽阳石化分公司聚酯厂 作者：夏明旭 阐述了氦检漏在PET热态真空测试中的作用、氦检仪的工作原理、氦检仪的使用方法和氦检漏的具体实施步骤,并根据应用进行了经验总结,提出了注意事项。引言 PET生产流程中,缩聚
低温液体运输车罐体夹层真空氦检漏技术
石家庄安瑞科气体机械有限公司 作者：苏桂玲 随着科学技术的快速发展，低温液体在工业中大量使用，使得高真空多层绝热结构运输车得到了广泛的应用，而低温液体运输车罐体夹层真空的质量与检漏技术相关，对漏气速率的检验直接关系
真空检漏的一些辅助设备
1、充氦充氮氟油检漏平台 充氦充氮氟油检漏平台是对半导体器件进行密封性、可靠性粗检漏的专用设备，它与氦质谱检漏仪配套使用，完成GJBI128A-97国家标准和GJB548-96军用标准中，对半导体器件零件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。此平台的工作过程是：（1）氦精检漏实验，将半导体零
质谱联用气相色谱技术工作原理
GC-MS被广泛应用于复杂组分的分离与鉴定，其具有GC的高分辨率和MS的高灵敏度，是生物样品中药物与代谢物定性定量的有效工具。质谱仪的基本部件有：离子源、滤质器、检测器三部分组成，它们被安放在真空总管道内。接口：由GC出来的样品通过接口进入到质谱仪，接口是色质联用系统的关键。
质谱联用（GCMS）技术工作原理
质谱联用（GC-MS）技术工作原理GC-MS被广泛应用于复杂组分的分离与鉴定，其具有GC的高分辨率和MS的高灵敏度，是生物样品中药物与代谢物定性定量的有效工具。质谱仪的基本部件有：离子源、滤质器、检测器三部分组成，它们被安放在真空总管道内。接口：由GC出来的样品通过接口进入到质谱仪，接口是色质联用系
质谱检测原理
质谱法的原理如下：待测化合物分子吸收能量（在离子源的电离室中）后产生电离，生成分子离子，分子离子由于具有较高的能量，会进一步按化合物自身特有的碎裂规律分裂，生成一系列确定组成的碎片离子，将所有不同质量的离子和各离子的多少按质荷比记录下来，就得到一张质谱图。由于在相同实验条件下每种化合物都有其确定的质
质谱检测原理
质谱法的原理如下：待测化合物分子吸收能量（在离子源的电离室中）后产生电离，生成分子离子，分子离子由于具有较高的能量，会进一步按化合物自身特有的碎裂规律分裂，生成一系列确定组成的碎片离子，将所有不同质量的离子和各离子的多少按质荷比记录下来，就得到一张质谱图。由于在相同实验条件下每种化合物都有其确定的质
贮箱漏率正压检测方法
作者：陈叔平 兰州理工大学石油化工学院 氦质谱检漏技术是目前国内外应用较多的一种先进的检漏技术。" 贮箱漏率正压检测方法" 是为适应航天贮箱结构复杂、漏率要求严格等特点而开发的一种
光纤密封转接的氦质谱检漏技术研究
西北核技术研究所 作者：胡茂中 为解决光纤进入钢制容器时造成的泄漏问题，密封转接是一种有效方法。在容器上开口并安装转接法兰盘，可实现多根光纤密封转接。由于光纤纤芯较脆，密封转接时需保持连续性，密封处理
航天器单机产品真空室检漏法测量结果的不确定度评定
北京卫星环境工程研究所 作者：汪力 航天器推进系统的单机产品的漏率测试往往采用氦质谱真空室检漏法，研究该方法测量结果的不确定度评定具有重要的工程应用价值。本文首先对真空室检漏法的原理进行了分析探
喷吹法氦质谱真空检漏方法与灵敏度
深圳威士达真空系统工程有限公司 氦质谱真空检漏常用的基本方法是喷吹法和氦罩法, 如图1 和图2 所示。 喷吹法氦质谱真空检漏 一个以一定速度移动的喷枪通过喷咀将具有一定压力的氦气(或混合气)
质谱检漏仪的本底噪声是什么意思
质谱检漏仪用来检测真空腔体中几种气体分子的分压，然后换算成泄漏速率。当气体分子到达探头时，探头采样并给出信号，经过自动换算得出分压数值。质谱检漏仪的本底噪声主要来自探测器的本底噪声，会有内置程序对噪声进行处理，降低对测量的影响。所以对检漏的影响不大。但当探头表面有附着物，会影响精度，所以每次使用前有
泄漏检测技术不确定度评价方法浅探
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 作者：蒲洁 氦质谱检漏是目前比较广泛采用的一种泄漏检测方法,一般采用比对定量的方法给出检漏结果。本文分析了氦质谱检漏的影响因素,从建立数学模型角度分析漏率测量的不确定度,并给出采用氦罩法
气相色谱质谱联用仪的质谱原理
质谱分析是一种测量离子荷质比（电荷-质量比）的分析方法，其基本原理 是使试样中各组分在离子源中发生电离，生成不同荷质比的带正电荷的离子，经加速电场的作用，形成离子束，进入质量分析器。在质量分析器中，再利用电场和磁场使发生相反的速度色散，将它们分别聚焦而得到质谱图，从而确定其质量。
气相色谱质谱联用仪的质谱原理
质谱分析是一种测量离子荷质比（电荷-质量比）的分析方法，其基本原理 是使试样中各组分在离子源中发生电离，生成不同荷质比的带正电荷的离子，经加速电场的作用，形成离子束，进入质量分析器。在质量分析器中，再利用电场和磁场使发生相反的速度色散，将它们分别聚焦而得到质谱图，从而确定其质量。
自动真空箱氦检漏装置工作原理
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子.分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而
各种充压检漏法和最小可检漏率
检漏方法工作条件现 象设 备最小可检漏率(Pam3／s)备 注水压法漏水人眼10-3～100-4压降法充3×105Pa空气压力下降压力计1×10-3听音法同上咝咝声人耳5×lO-3可用听诊嚣超声法同上超声波超声波检测器1×10-3气泡法同上水中气泡人眼10-5～10-6同上水中气泡人眼10-924h
渗透率对柔性收集室检漏测试结果的影响分析
北京卫星环境工程研究所 作者：王勇 柔性收集室检漏技术是氦质谱非真空积累检漏技术的一个重要分支, 因此研究柔性收集室检漏技
六氟化硫检漏仪的工作原理
六氟化硫检漏仪（SF6检漏仪）是指用含有卤素(氟、氯、溴、碘)气体作为示漏气体的检漏仪器。该类仪器分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)检漏仪。示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其
SF6检漏仪的工作原理
SF6检漏仪分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)检漏仪。示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂属最好。灵敏度可达3.2×lO-9Pam3／s。 金属铂在800～900oC
大型真空系统氦检漏率的快速准确检测方法
西北核技术研究所 作者：廖旭东 大型真空系统检漏往往耗时长、效率低。本文分析了氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪形成检漏信号的规律，并据此建立检漏信号数学模型，确定漏孔的最终稳态泄漏信号。基于上述分析，提出漏孔漏率
大型空冷机组真空泄漏诊断及对策
作者：吴立民 河北省电力研究院 根据多年火电机组真空泄漏检测经验，分析大型空冷机组真空泄漏产生的原因，通过研究氦质谱检测技术和超
吸枪法检漏介绍
1.吸枪法检漏方法吸枪法检漏，又叫正压法检漏，是氦质谱检漏仪的常用检漏方法。吸枪通过细长管道与氦质谱检漏仪相连，被检件充入压力高于环境大气压力的氦气（或氦与氮混合或氦与大气混合气体），吸枪的吸嘴在被检件可疑有漏孔的表面以一定速度移动，通过漏孔漏出的气体的一部分进入吸嘴，随之进入检漏仪质谱室，得出泄
氦质谱检漏器的主要性能指标
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。 2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。 3.启动时间:
一种基于物联网技术的氦质谱检漏系统
针对现有氦质谱检漏系统的技术缺陷，提出了一种基于物联网技术的氦质谱检漏系统的设计与实现方案。该系统综合了嵌入式与ZigBee、WiFi等物联网技术，由主控模块、采集模块、执行模块等组成；主控模块可实时整合氦质谱检漏仪与采集模块的数据信息，控制执行模块自动完成检漏流程，并利用灰度算法预测检漏信号的稳定
离子阱质谱和四极杆质谱的原理
四极杆（Quadrupole）：由四根带有直流电压（DC）和叠加的射频电压（RF）的准确平行杆构成，相对的一对电极是等电位的，两对电极之间电位相反。当一组质荷比不同的离子进入由DC和RF组成的电场时，只有满足特定条件的离子作稳定振荡通过四极杆，到达监测器而被检测。通过扫描RF场可以获得质谱图。四极