氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。 2、泄漏程度的量化 容器泄漏程度的量化，用泄漏率来表示。漏率的定义其中：△P 为压强的变化量V为容器的体积△t为时间的变化量3、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作......阅读全文
氦质谱检漏仪开机步骤
1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。 2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。 3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发
氦质谱检漏仪热管检漏
热管需要检漏原因： 热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，首先会影响热管的导热性能；其次由于热管都是安装在设备内部，如果发生泄漏，里面封装的液体就会流出，严重污染和影响设备的正常运转，所以热管生产企业，都会采用氦质谱检漏仪对热管进行检漏。 热管检漏方法： 该企业热管
氦质谱检漏仪检漏方法
氦质谱检漏仪氦质检漏方法 氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽
氦质谱检漏仪发展历程
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年，一次世界大战期间，欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏，并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作，直到1941年，当时正处于第二次世界大战期中。当时，科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的
氦质谱检漏仪是什么？
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏
氦质谱检漏仪热管检漏
热管 (Heat Pipe) 是利用热传导原理与致冷介质的快速热传递性质，透过热管将发热物体的热量迅速传递到热源外，其导热能力超过任何已知金属的导热能力。热管技术目前广泛应用于计算机、各类电器等设备散热，常见的形状有圆管状，板块状 (VC 单体) 等。 热管需要检漏原因： 热管内
氦质谱检漏仪喷氦法相关介绍
这是最常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷枪喷氦，如果被检器件某处有漏孔，当氦喷到漏孔上时，氦气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意
氦质谱检漏仪的优势特点
氦质谱检漏仪的优势特点： 1.采用便携式设计 2.设备外型美观小巧 3.采用液晶触摸屏设计 4.有通讯接口 5.可以方便地将检漏数据输出氦质谱检漏仪的使用环境： 环境温度：5～35℃相对湿度：
氦质谱检漏仪的相关概述
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级
氦质谱检漏仪的优势特点
气体工业名词术语，用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检容器上，m310725若容器有漏孔，则分析仪
氦质谱检漏仪的优势特点
1.采用便携式设计 2.设备外型美观小巧 3.采用液晶触摸屏设计 4.有通讯接口 5.可以方便地将检漏数据输出
氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度：5～35℃ 相对湿度：
氦质谱检漏仪的简析
1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。 2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏
氦质谱检漏仪的优势特点
1.采用便携式设计 2.设备外型美观小巧 3.采用液晶触摸屏设计 4.有通讯接口 5.可以方便地将检漏数据输出
氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度：5～35℃ 相对湿度：
氦质谱检漏仪的主要配置
1. 检漏仪专用分子泵 2. 机械泵或者干泵 3. 定制检漏仪专用电磁阀 4. 内置标准漏口 5. 放大器 6. 采用质谱专用模块
双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪工作原理图
东北大学 作者：关奎之 图4 示出了双级90°偏转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。 由于两次分析,减少了非氦离子到达收集器的机率。并且,如在两个分析器的中间,即图中的中间缝隙S2与邻
氦质谱检漏仪压氦法检漏法介绍
压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。 一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根
氦质谱检漏仪电厂检漏应用
应用一、氦质谱检漏仪用于电厂检漏 —冷凝罐及汽轮机管路检漏应用 电厂使用氦质谱检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。 电厂检漏使用氦质谱检漏仪Sniffer 模式，检测方法为将吸枪放在真
氦质谱检漏仪故障与处理
1、检漏仪内部泄漏 (1)内部的密封结构 当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各
氦质谱检漏仪基本检漏方法
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。 氦质谱检漏仪的质谱学原理 灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道
氦质谱检漏仪的发展及其应用
在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1、氦质谱检漏仪的进展经过
氦质谱检漏仪的进展及其应用
在科学技术的不断发展的时代，氦质及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1.氦质谱检漏仪的进
简介氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度：5～35℃ 相对湿度：
氦质谱检漏仪的发展史
经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。 集中体现在如下几个方面： （1）便携式：最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 （2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益
氦质谱检漏仪的概念是什么
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪的结构－(技术贴)
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪的性能相关介绍
①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的