氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。 2、泄漏程度的量化 容器泄漏程度的量化,用泄漏率来表示。漏率的定义其中:△P 为压强的变化量V为容器的体积△t为时间的变化量3、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作......阅读全文
氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏仪的应用领域
(1)航空航天高科技工业 例如火箭发动机及姿态发动机,过去是打压刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏,采用正压吸枪与氦罩法结合,使检漏灵敏度大大提高,从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5min 响应时间:
氦质谱检漏仪的技术指标
1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间:≤5min 4. 响应时间:≤1s 5. 检漏口的最高压力:1500Pa 6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A 7. 工作环境:5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的性能相关介绍
①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的
简介氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度:5~35℃ 相对湿度:
单级磁偏转型氦质谱检漏仪结构图与工作原理
东北大学 作者:关奎之 氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点,是真空检漏技术中灵敏度最高,用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏
氦质谱检漏仪六种常见氦检方法
检漏与现代工业生产、维修、科研等领域密不可分,传统的检漏有泡泡检漏(Bubble Test)、压差检漏等,但这些方法有许多局限性和不足,如精度差、效率低等。氦检(Helium Leak Test)作为国际公认精度最高的测漏方法,已广泛应用于真空领域。上海伯东依据大量客户实际应用总结出常见六种
氦质谱检漏仪常用检漏仪检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。 一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等,这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用,刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因:镀膜机需要在高真空环境下工作,真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等,这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用,刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因:镀膜机需要在高真空环境下工作,真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪性能试验方法
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高,用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中
SFJ211型氦质谱检漏仪
产品介绍:SFJ-211型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口,性能稳定可靠。它不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换,达到目前国际上先进水平。主要技术指标:最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s漏率显示范
氦质谱检漏仪杜瓦瓶检漏
杜瓦瓶由不锈钢内胆、外胆,高真空绝热夹层、内置式汽化器、阀门管路系统等组成,用于储存和使用低温液化气体产品(液氮、液氧、液氩、液化天然气、液态二氧化碳)并能自动提供连续的气体,该产品具有以下优点:1.储气量大;2.使用、储存压力低、安全性好、无高压爆炸危险;3.外表美观、洁净卫生,无充装、环境污染;
氦质谱检漏仪性能试验方法
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最
氦质谱检漏仪要注意经常校准
年泄漏率大的标准漏孔,要注意经常校准。如果发现异常,要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测,都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔,对温度特别敏感。温度每变化1℃,标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如,夏天,室温达到30℃,这种标准漏孔的漏率误差增加30%。 高压强
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学
氦质谱检漏仪发展历程及其应用
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年,一次世界大战期间,欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏,并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作,直到1941年,当时正处于第二次世界大战期中。当时,科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的
氦质谱检漏仪试验方法研究
在生产生活中,我们往往通过密封元器件的方式,来避免事先充入的保护气体外漏,同时防止外部的有害气体漏入。但是,想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的,因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属,只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见,密封对电子元器件的重要性不言而喻,
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
兰州物理研究所 作者:赵澜 目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一
氦质谱检漏仪的真空压力法检漏
检漏仪检漏的原理有两种方式可以检测出泄漏:1. 示踪气体 A 放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,容器周边是否有气体 A,如果容器外有气体 A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面,用仪器去
影响氦质谱检漏仪检测精度的因素
1、受到检测压力的影响 泄漏率对测试压力的依赖性,对不同的测量条件是不同的。一般而言,对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时,试验压力对泄漏率的影响较大,而对于多孔性较低时则影响较小。另外,随测试压力的增高,还会带来诸如温度影响,所需稳定时间加长等一系列问题。因此,建议对特定的工件可采用在一定压
氦质谱检漏仪的主要技术参数
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。 主要技术参数 最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5mi
氦质谱检漏仪的特点及使用环境
优势特点 1.采用便携式设计 2.设备外型美观小巧 3.采用液晶触摸屏设计 4.有通讯接口 5.可以方便地将检漏数据输出 使用环境 环境温度:5~35℃ 相对湿度:
简介氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
关于氦质谱检漏仪的发展相关介绍
1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。 2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。 3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次
氦质谱检漏仪的主要功能
氦质谱检漏仪是可以用来对真空设备或是充有氦气的正压设备进行泄露检测和漏点定位的专业检测仪器.