SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析

前 言 对于半导体器件而言,在管芯表面覆盖钝化膜的保护措施是非常必要的,钝化膜是器件的最终的钝化层和机械保护层,可以起到电极之间的绝缘作用,减弱和稳定半导体材料的多种表面效应,防止管芯受到尘埃、水汽酸气或金属颗粒的沾污,一般采用CVD 工艺(化学气相沉积,Chemical Vapor Deposition)生长二氧化硅或氮化硅作为钝化膜,对于不同器件钝化膜的组分、厚度有差异,钠离子在钝化膜中的迁移率较高,对器件性能影响大,又大量存在于环境之中,很容易造成污染,所以钠离子的含量成为评价钝化工艺质量好坏的一个重要标志1~5,对于钝化膜中钠离子的检测也就很重要。二次离子质谱(SIMS)6分析具有灵敏度高、微区分析、深度剖析的优点,是检测钝化膜中钠离子浓度分布的有效手段,可以给出钠离子在钝化膜中的实际的分布。本工作采用二次离子质谱法对二氧化硅钝化膜中钠离子浓度进行检测。 1 实验部分 1.1......阅读全文

质谱分析中内标物的作用

朋友。就是为了消除进样误差

钠离子计的特点

  独有的EH氧化还原电位(ORP)测量模式,直接显示相对于标准氢电极的氧化还原电位。  特点  pH缓冲溶液5点(1.68,4.01,7.00,10.01,12.46和1.68,4.00,6.86,9.18,12.46)自动标定  5点离子浓度标准液线性校正功能,直接测出样品离子浓度  离子浓度非

钠离子电池的原理特点

钠离子电池也是一种二次电池(充电电池),主要依靠钠离子在正极和负极之间移动来工作,与锂离子电池工作原理相似。在充放电过程中,Na+在两个电极之间往返嵌入和脱出:充电时,Na+从正极脱嵌,经过电解质嵌入负极;放电时则相反。

钠离子电池的技术展望

(1)水系钠离子电池:本征安全的钠离子电池 以水溶液电解质替换有机电解质,能从根本上提高钠离子电池的安全性。目前人们已经报道了大量的水系钠离子电池体系方案,其中普鲁士蓝体系的循环性能最佳,已经开始产业化尝试,代表性企业有 Natron Energy、贲安能源等。长期来看,水系钠离子电池是一个非常有前

钠离子电池的结构特点

钠离子电池使用的电极材料主要是钠盐,相较于锂盐而言储量更丰富,价格更低廉。由于钠离子比锂离子更大,所以当对重量和能量密度要求不高时,钠离子电池是一种划算的替代品。

钠离子电池的技术特点

钠离子电池的核心原材料储量更高、开采难度更低。数据表明,地壳当中钠的含量有2.75%,而且可以用海水制备金属钠,是储量丰富、可得性好的新能源电池材料。钠电池的BOM成本也比锂电池低20%,并且,比磷酸铁锂的成本更低。而且,高低温性能优异,在面对挤压、穿刺等情景时安全性也高,还具备快充能力。但是,钠离

钠离子电池的技术优点

钠离子电池的核心原材料储量更高、开采难度更低。数据表明,地壳当中钠的含量有2.75%,而且可以用海水制备金属钠,是储量丰富、可得性好的新能源电池材料。钠电池的BOM成本也比锂电池低20%,并且,比磷酸铁锂的成本更低。而且,高低温性能优异,在面对挤压、穿刺等情景时安全性也高,还具备快充能力。但是,钠离

关于钠离子电池的简介

  钠离子电池(Sodium-ion battery),是一种二次电池(充电电池),主要依靠钠离子在正极和负极之间移动来工作,与锂离子电池工作原理相似。  2018年12月,南京理工大学夏晖教授与中外团队合作,首创结构设计和调控方法,在锰基正极材料研究方面取得重要进展。

钠离子电池产生的背景

 (1)锂钠同族,物化性质类似(2)锂资源稀缺,钠资源丰富锂资源的全球储量有限,锂元素在地壳中的含量仅为 0.0065%。随着新能源汽车的发 展对电池的需求大幅上升,资源端的瓶颈逐渐显现,成本较高限制了锂离子电池的大规模应用。钠资源储量非常丰富,地壳丰度为 2.64%,是锂资源的 440 倍,且钠资

钠离子电池的工作原理

  在充放电过程中,Na+在两个电极之间往返嵌入和脱出:充电时,Na+从正极脱嵌,经过电解质嵌入负极;放电时则相反。  新款18650钠离子电池,借助了钠离子转移(而不是锂离子)来存储和释放电能。

钠离子电池的工作原理

钠离子电池在充放电过程中,Na+在两个电极之间往返嵌入和脱出:充电时,Na+从正极脱嵌,经过电解质嵌入负极;放电时则相反。新款18650钠离子电池,借助了钠离子转移(而不是锂离子)来存储和释放电能。

钠离子电池的工作原理

钠离子电池与锂离子电池工作原理类似,钠离子电池也遵循脱嵌式的工作原理(在充电过程中,钠离子从正极脱出并嵌入负极,嵌入负极的钠离子越多,充电容量越高;放电 时过程相反,回到正极的钠离子越多,放电容量越高)。钠离子电池和锂离子电池的主要区别在于正负极材料、电解液不同,尤其是正极材料的区别。

钠离子电池的工作原理

钠离子电池在充放电过程中,Na+在两个电极之间往返嵌入和脱出:充电时,Na+从正极脱嵌,经过电解质嵌入负极;放电时则相反。新款18650钠离子电池,借助了钠离子转移(而不是锂离子)来存储和释放电能。

钠离子电池的技术特点

 一、钠离子电池优势: 1、资源丰富:不用多说 2、成本低:资源多,成本自然就低,综合成本比锂电池低30%。  3、安全性高:钠离子电池瞬间发热更少、稳定性更好,钠离子电池经历短路、针刺、挤压等测试后,无起火、无爆炸。 4、无过放电情况:正极可以放电至0V而不影响后续使用,进而使得电池在储存运输过程

水中钠离子的检测方法

  水中钠离子的检测方法有很多,例如原子吸收分光光度法、静态法等。其中原子吸收法适用于含钠5-500mg/L的水样测定。主要原理是将含有钠离子的水样喷入空气-乙炔火焰中,钠离子会被热解为基态原子,以钠空心阴极灯为光源,钠的330.2nm或589.0nm为分析线,测定含钠水样的吸光度。

质谱分析,称量离子质量的高端定量检测

质谱分析法,指的是将样品分子经过离子化后,利用其不同质荷比(m/z)的离子在静电场或磁场中受到的作用力不同而改变运动方向,使其彼此在空间上分离,最后通过收集和检测这些离子得到质谱图谱,实现分析目的一种分析方法。质谱图,横轴表示单位电荷质量(m/z);纵轴表示离子流强度,通常以相对强度(相对丰度)来表

质谱中的各种离子

1). 分子离子(molecular ion)分子被电子束轰击失去一个电子形成的离子称为分子离子。分子离子用M+•表示。分子离子是一个游离基离子。在质谱图上,分子离子对应的峰为分子离子峰。分子离子峰的应用:分子离子峰的质荷比就是化合物的相对分子质量,所以,用质谱法可测分子量。2). 同位素离子(is

什么是钠离子电池?

钠离子电池(Sodium-ion battery),是一种二次电池(充电电池),主要依靠钠离子在正极和负极之间移动来工作,与锂离子电池工作原理相似。

质谱分析法术语负离子电离

负离子电离(negative ion ionization,NII)对于具有电子亲和力比较大的元素捕获一个电子可生成负离子,这种离子化的方法称为负离子电离法。

质谱分析法术语多电荷离子

多电荷离子(multiple charged ion)带有两个以上电荷的离子,通常多电荷离子具有非整数质荷比,出现在质谱图的分数质量上,形成“本底”。

质谱分析法术语离子化

离子化(ionization)或称为电离。指中性原子或分子失去电子或捕获电子生成离子的过程。在质谱分析中,指气相、液相、固相样品的原子、分子变为气态的正离子或负离子的过程。

二次离子质谱(SIMS)的原理特点和应用

二次离子质谱(secondary ion mass spectroscopy),是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器,它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子,就可以得到关于样品表面信息的图谱。

二次离子质谱(SIMS)的原理特点和应用

二次离子质谱(secondary ion mass spectroscopy),是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器,它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面,使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子,就可以得到关于样品表面信息的图谱。中文名 二次离子

钠离子浓度如何测定-DWS51型钠离子浓度计

  DWS-51型钠离子浓度计   一、仪器的用途   DWS-51型钠离子浓度计是以测量水溶液中的含Na+量而设计的,特别对电厂高纯水(如蒸汽、凝结水、锅炉给水等)的品质监督更适宜应用,其它对炉子水、天然水等也可以应用。   DWS-51型钠离子浓度计是一台全集电路式高阻抗毫伏计(以下称电计

钠离子电池有哪些优点?钠离子电池概念股有哪些?

钠离子电池的核心原材料储量更高、开采难度更低。数据表明,地壳当中钠的含量有2.75%,而且可以用海水制备金属钠,是储量丰富、可得性好的新能源电池材料。钠电池的BOM成本也比锂电池低20%,并且,比磷酸铁锂的成本更低。而且,高低温性能优异,在面对挤压、穿刺等情景时安全性也高,还具备快充能力。但是,钠离

学者综述二次离子质谱技术发展

近日,应《自然-综述-方法导论》(Nature Reviews Methods Primers)的邀请,香港科技大学(广州)教授翁禄涛与合作者共同撰写了题为《二次离子质谱》(Secondary ion mass spectrometry)的综述论文,同期还配发了导论总览(PrimeView)对该论文

二次离子质谱可完成癌细胞分析

哥德堡大学(University of Gothenburg)进一步开发了二次离子质谱的应用,以帮助研究人员更好地检测身体中的有害细胞。“该方法可以变得重要,例如对于乳腺癌组织的未来分析。”博士生Tina Angerer说。该方法可以被描述为首先通过在其处喷射气体射弹从一片组织释放分子和原子,然后使

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3D成像——二次离子质谱技术

质谱成像技术能将基质辅助激光解吸电离质谱的离子扫描与图像重建技术结合,直接分析生物组织切片,产生任意质荷比(m/z)化合物的二维或三维分布图。其中三维成像图是由获得的质谱数据,通过质谱数据分析处理软件自动标峰,并生成该切片的全部峰值列表文件,然后成像软件读取峰值列表文件,给出每个质荷比在全部质谱图中

Nature:光驱动钠离子通道KR2结构被解析

  日本科学家在国际著名期刊《自然》发表学术文章称,他们解析出了光驱动钠离子通道蛋白KR2结构,为未来新一代的光遗传学工具创造了可能。  很多生物都可以吸收光的能量或者感知光的信息,靠的是一种视紫红质分子。这种分子是有一个7个α螺旋跨膜蛋白(视蛋白)通过共价键连接在一个视黄醛分子上。根据视蛋白的种类