基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法,用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速,在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,其旋转半径 R=144/B×10-4(U×M/Z)1/2 式中: R――离子偏转轨道半径(cm) B――磁场强度(T) U――离子加速电压(V) M/Z――离子的质荷比(离子的质量与电荷的比值) 由上式可知,当R、B为固定值时,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。被检测的气体是固定的(He气),即质荷比M/Z是已知的,因此只要调整好加速电压,使He离子能通过接收缝到达接收电极,而使其他离子不被接收,接收电极接收到的He......阅读全文
氦质谱检漏仪的发展及其应用
氦质谱检漏仪的发展及其应用目前氦质谱检漏仪的发展及其应用在科学技术的不断发展的时代,氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者
氦质谱检漏仪的发展史
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。 集中体现在如下几个方面: (1)便携式:最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 (2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5min 响应时间:
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5min 响应时间:
简介氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度:5~35℃ 相对湿度:
氦质谱检漏仪的注意事项
1.设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。 2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。 3.因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上,由近而远的顺序进行。 4.检漏过程中,如发现大量氦气进人质谱检漏仪,应立即移去
氦质谱检漏仪的结构-(技术贴)
氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中,如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪的技术参数
1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间:≤5min 4. 响应时间:≤1s 5. 检漏口的最高压力:1500Pa 6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A 7. 工作环境:5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的概念是什么
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷
氦质谱检漏仪的进展及其应用
在科学技术的不断发展的时代,氦质及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1.氦质谱检漏仪的进
氦质谱检漏仪的应用领域
(1)航空航天高科技工业 例如火箭发动机及姿态发动机,过去是打压刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏,采用正压吸枪与氦罩法结合,使检漏灵敏度大大提高,从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法
氦质谱检漏仪的技术指标
1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间:≤5min 4. 响应时间:≤1s 5. 检漏口的最高压力:1500Pa 6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A 7. 工作环境:5-35℃ 8
氦质谱检漏仪要注意经常校准
年泄漏率大的标准漏孔,要注意经常校准。如果发现异常,要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测,都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔,对温度特别敏感。温度每变化1℃,标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如,夏天,室温达到30℃,这种标准漏孔的漏率误差增加30%。 高压强
氦质谱检漏仪性能试验方法
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最
SFJ211型氦质谱检漏仪
产品介绍:SFJ-211型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口,性能稳定可靠。它不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换,达到目前国际上先进水平。主要技术指标:最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s漏率显示范
氦质谱检漏仪试验方法研究
在生产生活中,我们往往通过密封元器件的方式,来避免事先充入的保护气体外漏,同时防止外部的有害气体漏入。但是,想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的,因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属,只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见,密封对电子元器件的重要性不言而喻,
氦质谱检漏仪工作原理与结构
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以HZJ—l型仪器为例.介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。 在质谱室内有:由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器;由
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
兰州物理研究所 作者:赵澜 目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一
氦质谱检漏仪发展历程及其应用
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年,一次世界大战期间,欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏,并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作,直到1941年,当时正处于第二次世界大战期中。当时,科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的
氦质谱检漏仪性能试验方法
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高,用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学
氦质谱检漏仪检漏时的误差来源有哪些
氦质谱检漏是一种灵敏度很高且常用的检漏技术。螺杆真空泵厂家已经介绍过氦质谱检漏仪,这次我们来了解下氦质谱检漏时的误差来源有哪些,以便更好地降低或消除测量误差。氦质谱检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:第一,氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可
氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
1、负压法检漏 负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。 根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子,比如管壳的检漏。检漏仪正常工作后
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏
伯东公司德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例——深圳某事业有限公司。 一、 电磁阀阀芯检漏原因 该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯)产品如下图
氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏
一、电磁阀阀芯检漏原因 气体,所以对所用的阀及相关部件,漏率要求非常严格,要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s,而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了。 二、电磁阀阀芯检漏方法 大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检
氦质谱检漏仪的主要功能
氦质谱检漏仪是可以用来对真空设备或是充有氦气的正压设备进行泄露检测和漏点定位的专业检测仪器.
氦质谱检漏仪的主要技术参数
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。 主要技术参数 最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5mi