氦质谱检漏仪性能试验方法
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的最大波动量。 如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。 浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出......阅读全文
氦质谱检漏仪性能试验方法
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在
氦质谱检漏仪性能试验方法
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最
氦质谱检漏仪性能试验方法有哪些？
①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的
氦质谱检漏仪氦质谱检漏方法描述
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏仪的氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质
氦质谱检漏仪试验方法研究
在生产生活中，我们往往通过密封元器件的方式，来避免事先充入的保护气体外漏，同时防止外部的有害气体漏入。但是，想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的，因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属，只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见，密封对电子元器件的重要性不言而喻，
氦质谱检漏仪工作原理与结构和性能试验方法
氦质谱检漏仪工作原理与结构和性能试验方法： 氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度*高，用得*普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为10-9～10-12Pam3/s，广泛地
氦质谱检漏仪检漏方法
氦质谱检漏仪氦质检漏方法 氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽
氦质谱检漏仪的性能相关介绍
①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的
氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法
东北大学 作者：关奎之 灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。① 氦质谱检漏仪灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度,通
氦质谱检漏仪基本检漏方法
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。 氦质谱检漏仪的质谱学原理 灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪（ Helium Mass Spectrometer Leak Detector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将
氦质谱检漏仪原理
一、为什么要检漏泄漏和密封相对应很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是: 检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器
氦质谱检漏仪单位
氦质谱检漏仪单位是kg。氦质谱检漏仪、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
氦质谱检漏仪简介
氦气检漏仪是氦质谱检漏仪((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
兰州物理研究所 作者：赵澜 目前，用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，由于受检漏仪线性范围的影响限制，不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准，将一
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
目前，用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，由于受检漏仪线性范围的影响限制，不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准，将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪，得到一组标准漏孔检漏仪示值，通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学
氦质谱检漏仪六种常见氦检方法
检漏与现代工业生产、维修、科研等领域密不可分，传统的检漏有泡泡检漏（Bubble Test）、压差检漏等，但这些方法有许多局限性和不足，如精度差、效率低等。氦检（Helium Leak Test）作为国际公认精度最高的测漏方法，已广泛应用于真空领域。上海伯东依据大量客户实际应用总结出常见六种
氦质谱检漏仪常用检漏仪检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多，根据被检件的测量目的可以分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法，要以被检器件的具体情况而定，灵活运用各种检漏方法。 一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置，在大部件或大型部件中较为常见，如卫
深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪产品介绍
氦质谱检漏仪利用磁偏转原理制成的、对示漏气体氦反应灵敏的、用于检漏的质谱仪。氦质谱检漏仪气体工业名词术语，用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体
氦质谱检漏仪的优点
（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 （2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。 （3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制
氦质谱检漏仪工作原理
由于氦气分子颗粒小,渗透性好,而且氦质谱检漏仪对氦气敏感,所以微漏也能检出来
氦质谱检漏仪的介绍
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦质谱检漏仪的介绍
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。