HLT560氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏

Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公司一、 电磁阀阀芯检漏原因:该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯): 由于半导体工业上用的气体如硅烷( SiH4), 氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s, 而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了. 二、 电磁阀阀芯检漏方法大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的数据为准.客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT 560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT 560能满足这么高的漏......阅读全文

氦质谱检漏仪的使用环境

  环境温度:5~35℃  相对湿度:

简介氦质谱检漏仪的正压法检漏方法

  正压法检漏与负压法检漏相反,吸枪接在检漏仪的检测口,而被检件充入规定压力的示踪气体,漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济,而且检漏速度慢,一般采取正压检漏。  这种正压检漏法应注意事项:第一必须校准仪器的吸枪灵敏度,再向容器内充入比一个大气压

氦质谱检漏仪的技术参数

  1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s  2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s  3. 启动时间:≤5min  4. 响应时间:≤1s  5. 检漏口的最高压力:1500Pa  6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A  7. 工作环境:5-35℃  8

氦质谱检漏仪的使用方法

  1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。  2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成

氦质谱检漏仪性能试验方法

    氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高,用得最普遍的检漏仪器。    氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在

氦质谱检漏仪的技术参数

  最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s  漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s  启动时间: ≤5min  响应时间:

氦质谱检漏仪的性能相关介绍

  ①灵敏度及其校准  氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的

氦质谱检漏仪的概念是什么

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷

氦质谱检漏仪的注意事项

  1.设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。  2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。  3.因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上,由近而远的顺序进行。  4.检漏过程中,如发现大量氦气进人质谱检漏仪,应立即移去

氦质谱检漏仪的进展及其应用

    在科学技术的不断发展的时代,氦质及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1.氦质谱检漏仪的进

氦质谱检漏仪工作原理与结构

    氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。    ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪    现以HZJ—l型仪器为例.介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。    在质谱室内有:由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器;由

SFJ211型氦质谱检漏仪

产品介绍:SFJ-211型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口,性能稳定可靠。它不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换,达到目前国际上先进水平。主要技术指标:最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s漏率显示范

氦质谱检漏仪要注意经常校准

  年泄漏率大的标准漏孔,要注意经常校准。如果发现异常,要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测,都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔,对温度特别敏感。温度每变化1℃,标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如,夏天,室温达到30℃,这种标准漏孔的漏率误差增加30%。  高压强

氦质谱检漏仪的发展及其应用

在科学技术的不断发展的时代,氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1、氦质谱检漏仪的进展经过

氦质谱检漏仪的发展及其应用

氦质谱检漏仪的发展及其应用目前氦质谱检漏仪的发展及其应用在科学技术的不断发展的时代,氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者

氦质谱检漏仪试验方法研究

  在生产生活中,我们往往通过密封元器件的方式,来避免事先充入的保护气体外漏,同时防止外部的有害气体漏入。但是,想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的,因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属,只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见,密封对电子元器件的重要性不言而喻,

氦质谱检漏仪的技术参数

  最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s  漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s  启动时间: ≤5min  响应时间:

简介氦质谱检漏仪的使用环境

  环境温度:5~35℃  相对湿度:

氦质谱检漏仪的结构-(技术贴)

氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中,如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能

氦质谱检漏仪的应用领域

  (1)航空航天高科技工业  例如火箭发动机及姿态发动机,过去是打压刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏,采用正压吸枪与氦罩法结合,使检漏灵敏度大大提高,从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法

氦质谱检漏仪现场校准方法研究

                                                     兰州物理研究所 作者:赵澜    目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一

氦质谱检漏仪现场校准方法研究

  目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学

氦质谱检漏仪的技术指标

  1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s  2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s  3. 启动时间:≤5min  4. 响应时间:≤1s  5. 检漏口的最高压力:1500Pa  6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A  7. 工作环境:5-35℃  8

氦质谱检漏仪性能试验方法

  灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。  ①灵敏度及其校准  氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最

氦质谱检漏仪的发展史

  经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。  集中体现在如下几个方面:  (1)便携式:最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。  (2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益

氦质谱检漏仪发展历程及其应用

  氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年,一次世界大战期间,欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏,并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作,直到1941年,当时正处于第二次世界大战期中。当时,科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的

氦质谱检漏仪用于电厂检漏冷凝罐及汽轮机管路检漏应用

电厂使用氦质谱检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏,还有冷凝罐的检漏,由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本,所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。电厂检漏使用氦质谱检漏仪Sniffer 模式,检测方法为将吸枪放在真空泵排气管路上,用氦气喷在系统连接位置上,或者真空系统连接部位,喷一点后需要

氦质谱检漏仪六种常见氦检方法

    检漏与现代工业生产、维修、科研等领域密不可分,传统的检漏有泡泡检漏(Bubble Test)、压差检漏等,但这些方法有许多局限性和不足,如精度差、效率低等。氦检(Helium Leak Test)作为国际公认精度最高的测漏方法,已广泛应用于真空领域。上海伯东依据大量客户实际应用总结出常见六种

氦质谱检漏仪标定与校准——两种检漏仪对比

    外置标准漏孔是检验氦质谱检漏仪准确性的标准。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有检漏仪本身并

氦质谱检漏仪检漏时的误差来源有哪些

氦质谱检漏是一种灵敏度很高且常用的检漏技术。螺杆真空泵厂家已经介绍过氦质谱检漏仪,这次我们来了解下氦质谱检漏时的误差来源有哪些,以便更好地降低或消除测量误差。氦质谱检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:第一,氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与