原子级工艺实现纳米级图形结构的要求（一）
原子层刻蚀和沉积工艺利用自限性反应，提供原子级控制。泛林集团先进技术发展事业部公司副总裁潘阳博士分享了他对这个话题的看法。图 1． 原子层工艺中的所有半周期反应是自限性反应。技术节点的每次进步都要求对制造工艺变化进行更严格的控制。最先进的工艺现在可以达到仅7 nm的fin宽度，比30个硅原子稍大一点。半导体制造已经跨越了从纳米级到原子级工艺的门槛。工程师现在必须关注结构的尺寸变化，仅相当于几个原子大小。由于多重图案模式等复杂集成增加了工艺数量，进一步限制了每个步骤允许的变化。3D NAND和finFET结构的复杂性会带来更高挑战。图 2． 原子层工艺能够去除或沉积材料。在以上刻蚀示例中，氯吸附到硅表面，然后通过氩离子撞击去除改性层。在沉积示例中，氧吸附到硅表面，硅与改性表面层相结合，沉积二氧化硅。对于半导体行业而言，控制工艺变化始终都是一大关键挑战，因为它会直接影响到产品的性能、良率和可靠性，进而产生重大经济后果。工......阅读全文
原子级工艺实现纳米级图形结构的要求（一）
原子层刻蚀和沉积工艺利用自限性反应，提供原子级控制。泛林集团先进技术发展事业部公司副总裁潘阳博士分享了他对这个话题的看法。图 1． 原子层工艺中的所有半周期反应是自限性反应。技术节点的每次进步都要求对制造工艺变化进行更严格的控制。最先进的工艺现在可以达到仅7 nm的fin宽度，比30个硅原子
原子级工艺实现纳米级图形结构的要求（二）
原子层刻蚀有助于减少这些随机缺陷的影响。因为它在自限性步骤中逐层进行，而且因为工艺步骤将化学活性物质与高能离子相分离，因此原子层刻蚀不会产生传统的刻蚀工艺中出现的粗糙的镶边层。更重要的是，原子层刻蚀与原子层沉积的重复循环，能够降低EUV中随机缺陷引起的粗糙度。凹凸表面比平面具有较高的表面体积比，这就
上海纳米级等离子工艺研讨会预告
上海纳米级等离子工艺研讨会预告 2012年3月19日 本次研讨会将于Semicon2012开幕的前一天召开，我们在此诚意邀请工业界、学术界对微纳米及发光二极管等离子技术的发展趋势及设备制造与应用感兴趣的同行先进参加。 牛津仪器的外方应用专家及国内知名机构的用户将出席并发言。 本
纳米级量子传感器实现高清成像
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/6/502959.shtm日本东京大学科学家最近利用六方氮化硼二维层中的硼空位，首次完成了在纳米级排列量子传感器的精细任务，从而能够检测磁场中的极小变化，实现了高分辨率磁场成像。氮化硼是一种含有氮和硼原子的薄晶
纳米级量子传感器实现高清成像
日本东京大学科学家最近利用六方氮化硼二维层中的硼空位，首次完成了在纳米级排列量子传感器的精细任务，从而能够检测磁场中的极小变化，实现了高分辨率磁场成像。氮化硼是一种含有氮和硼原子的薄晶体材料。氮化硼晶格中人工产生的自旋缺陷适合作为传感器。（a）六方氮化硼中的硼空位缺陷。空位充当用于磁场测量的原子大小
首次建立－纳米级角度国家一级标准物质
近日，市场监管总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质，能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标尺”。纳米制造，测量先行。研制高精度的纳米级标准物质，是打造高准确度
我国首次建立纳米级角度国家一级标准物质
记者8日了解到，市场监管总局近日新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质，能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标尺”。研制高精度的纳米级标准物质，是打造高准确度纳米测
《自然》：美实现用纳米级电线搭建可用于计算的电路
一项最新研究说，美国研究人员实现采用纳米级电线搭建可用于计算的电路，通过这种技术得到的电路板具有节能等方面优势。 新一期英国《自然》杂志刊登研究报告说，目前生产电路板时，一般是先根据设计图做出模板，然后采取蚀刻等方式，像印刷图书一样在整块半导体芯片上印制出电路。而美国哈佛大学等机构研
研究实现常温下合成亚纳米级高熵合金
近日，记者从安徽师范大学获悉，该校校长、教授熊宇杰在中国科学技术大学和安徽师范大学的联合团队利用激光辐照所激发的等离激元光热效应和热电子效应，实现了亚纳米级高熵合金的创制，该方法具有广泛的普适性，可制备含有多达十种金属元素的亚纳米级高熵合金。相关成果发表于《自然-材料》。激光诱导等离子激元效应制备亚
中国科大实现纳米级空间分辨电磁场量子传感
中国科大郭光灿院士团队在实用化量子传感的研究中取得重要进展，该团队的孙方稳小组实验实现50纳米空间分辨力高精度多功能量子传感。该系列研究成果发表在应用物理权威期刊《Physical Review Applied》上。 微纳光电子技术已经成为当前信息领域的核心技术之一，同时也在能源、环境、生物医
中国科大实现纳米级空间分辨电磁场量子传感
中国科学院院士、中国科学技术大学教授郭光灿团队在实用化量子传感的研究中取得新进展，该团队的孙方稳小组实验实现50纳米空间分辨力高精度多功能量子传感。该系列研究成果发表于应用物理期刊Physical Review Applied 。 微纳光电子技术已经成为当前信息领域的核心技术之一，同时也在能源
低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究
采用俄歇电子能谱 ( AES)和傅里叶红外光谱 ( FTIR)分析低温 PECVD法形成纳米级 Si Ox Ny 介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系 ,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能。研究结果表明 :该介质膜中氮、氧等元素均匀分布 ,界面处元素含量变化激烈 ;高、低反应气压变化对膜内
我国首类！纳米级角度国家一级标准物质获批
近日，市场监管总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质，能够同时满足纳米制造产业角度和长度校准需求，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标尺”。 纳米制造，测量先行。研制高精度的纳米级标准物质，是打造
高鸿钧团队利用STM实现石墨烯纳米结构原子级的可控折叠
探索新型低维碳纳米材料及其新奇物性一直是当今科技领域的前沿科学问题之一。二维的石墨烯晶格结构被认为是其他众多的碳纳米结构的母体材料。例如，将石墨烯结构沿着某一方向卷曲可以形成一维的碳纳米管，将具有五元环和七元环石墨烯结构弯曲成球型结构即可形成富勒烯。石墨烯在未来纳米学器件的应用，需要构筑具有三维
岛津XPS用户成果分享丨纳米级结构调控改善固体电解质中间相实现稳定锂金属电池（第一弹）
实现碳中和目标与可持续发展需要使用清洁的可再生能源来构建现代能源系统，以二次电池为代表的储能技术是新能源革命的重要组成部分。现阶段，采用石墨负极的锂离子电池受限于其插层机制，其能量密度已经接近上限。与锂离子电池相比，采用比容量更高和工作电位更低的锂金属作为负极的锂金属电池，可实现超过500Wh kg
岛津XPS用户成果分享丨纳米级结构调控改善固体电解质中间相实现稳定锂金属电池（第一弹）
实现碳中和目标与可持续发展需要使用清洁的可再生能源来构建现代能源系统，以二次电池为代表的储能技术是新能源革命的重要组成部分。现阶段，采用石墨负极的锂离子电池受限于其插层机制，其能量密度已经接近上限。与锂离子电池相比，采用比容量更高和工作电位更低的锂金属作为负极的锂金属电池，可实现超过500Wh kg
纳米级光学结构揭示2亿年前昆虫的真实颜色
通常化石只能保存生物的结构，对其颜色几乎都是靠想象。然而，来自中、德和英三国的科学家们通过对昆虫化石中结构色的研究，却揭示了2亿年前昆虫的“真实颜色”。该研究成果将于4月12日在线发表于美国《科学》（Science）杂志子刊《科学进展》（Science Advances）。侏罗纪蛾类（A-I）和
纳米级孔径透析袋介绍
根据美国spectrumlabs公司的测试数据表（下图） （图一）1nm-70nm目前透析袋相关厂家能提供几十款不能截留分子量的透析袋例如spectrumlabs的截留分子量（MWCO）100-500道尔顿
“DNA折叠术”正迅速走向应用－制造纳米级的结构和机器
科学家设想的通过编程，让形状互补DNA零件自行组装成纳米机器。 最近，德国慕尼黑工业大学创造出了一些新型纳米设备：一个会动手臂的机器人，一本能打开、合上的书，一个能开关的齿轮传动装置，还有一个促动器——或许这些已经很吸引人了，但还不是重点。重要的是这些设备体现了科学上的突破——把DNA作为一种可编
【技术解析】GPU如何实现三维渲染及非图形计算？（一）
谜一样的GPU 手机，现在已经是人手一部甚至两部了，餐厅酒吧、地铁巴士、马路街边随处可见的低头族大家早就见惯不怪，在饭桌上如果你发现没有人低头看手机的话反而会怀疑自己是不是到了外星球。 吸引人们对手机目不转睛的自然是它显示的内容， 相对于个人电脑刚刚问世时候只能呈现有限的文字以及低分
我国科学家首次获得纳米级光雕刻三维结构
14日夜，国际顶级学术期刊《自然》发表了我国科学家在下一代光电芯片制造领域的重大突破。南京大学张勇、肖敏、祝世宁领衔的科研团队，发明了一种新型“非互易飞秒激光极化铁电畴”技术，将飞秒脉冲激光聚焦于材料“铌酸锂”的晶体内部，通过控制激光移动的方向，在晶体内部形成有效电场，实现三维结构的直写和擦除。这一
结合盘式光学谐振器与PTIR技术，AFM实现纳米级精确测量
大多数测量仪器都受制于测量精度和测量速度之间的权衡，因为测量越精确，所需的时间就越长。可是，纳米尺度上出现的许多现象既快又小，因此，针对它们的测量系统必须能够在时间和空间上捕捉到它们的精确细节。上图为与光学谐振器集成的纳米级原子力显微镜(AFM)探针的彩色电子显微照片，这种盘式光学谐振器扩展了A
纳米级砂磨机必须具备的条件
1、零污染条件基于砂磨机的分散机理，当微珠在撞击和摩擦固体颗粒的同时对粉碎腔体及腔体内的搅拌装置的磨损破坏强度也是很大的，所以要保证腔体及搅拌组件的材料必须有超高的耐磨耗性能；否则因其磨损而污染了原料，不仅造成设备使用寿命很短，更重要的是该污染源造成所分散的原料再次团聚从而无法达到纳米级细度及正态分
纳米级砂磨机必须具备的条件
1、零污染条件 基于砂磨机的分散机理，当微珠在撞击和摩擦固体颗粒的同时对粉碎腔体及腔体内的搅拌装置的磨损破坏强度也是很大的，所以要保证腔体及搅拌组件的材料必须有超高的耐磨耗性能；否则因其磨损而污染了原料，不仅造成设备使用寿命很短，更重要的是该污染源造成所分散的原料再次团聚从而无法达到纳米级
热扫描探针光刻技术消除二维半导体材料
二维半导体材料，比如二硫化钼（MoS2），表现出了诸多新奇的特性，从而使其具有应用于新型电子器件领域的潜力。目前，研究人员常用电子束光刻的方法，在此类仅若干原子层厚的材料表面定域制备图形化电极，从而研究其电学特性。然而，采用此类方法常遇到的问题之一是二维半导体材料与金属电极之间为非欧姆接触，且
纳米级磁共振成像仪“出世”
美国IBMIBM公司研究中心和斯坦福大学纳米探索中心的科学家们共同开发出一种磁共振成像仪(MRI)，其分辨率要比常规MRI高出1亿倍。发表在《美国国家科学院院报》的这项研究成果，标志着为在纳米级研究复杂3D结构提供分子生物学和纳米技术工具方面迈出了重大一步。 通过将MRI的分辨率扩展到如此
我国科学家实现原子级石墨烯可控折叠
探索新型低维碳纳米材料及其新奇物性是世界前沿的科学问题之一。二维的石墨烯晶格结构被认为是其他众多碳纳米结构的母体材料，受局域空位、增原子、边界等缺陷结构的影响，在单原子层次上精准构筑和调控基于石墨烯的低维碳纳米结构仍存在巨大挑战。 最近，北京凝聚态物理国家研究中心高鸿钧研究团队首次实现了原子级
世界上第一个纳米级驱动电机制成
荷兰代尔夫特理工大学研究人员制造出世界上最小的流量驱动电机。受荷兰标志性风车和生物马达蛋白的启发，研究人员构建出一种通过DNA自我配置的流动驱动转子，可将电能或盐梯度的能量转化为有用的机械功。这一成果为在纳米尺度上设计主动机器人开辟了新的途径。相关论文发表在最近的《自然·物理》杂志上。 几千年来，
电镀设备的工艺要求
1. 镀层与基体金属、镀层与镀层之间，应有良好的结合力。 2. 镀层应结晶细致、平整、厚度均匀。 3. 镀层应具有规定的厚度和尽可能少的孔隙。 4. 镀层应具有规定的各项指标，如光亮度、硬度、导电性等。 5. 电镀时间及电镀过程的温度，决定镀层厚度的大小。 6.环境温度为-10℃～60
研究实现全氟碳微液滴中软X射线触发纳米级相变的原位观测
全氟碳化合物因具有优异生物相容性，在生物医学和工业领域应用价值显著。其中，低沸点全氟碳（PFCs）微液滴在生理条件下稳定，可在能量刺激下实现液滴-气泡快速相变，不仅为肿瘤靶向超声成像与药物递送提供新思路，也是研究微尺度相变的理想模型体系。然而，传统技术难以实现多尺度、多相态、纳米级分辨的原位观测，同