基于MEMS磁传感器设计及制作（二）
Langfelder等制备了具有电容读出的MEMS磁场传感器，该传感器可检测与谐振结构表面垂直方向（z轴） 的磁场。它由一组固定定子和两根细梁悬挂的梭子组成，形成2个差分平行板敏感电容器C1和C2，见图4。具有传感器共振频率的梁，在通有电流时与磁场相互作用，从而使2个细梁受到洛伦兹力作用。这个力垂直于磁场和交流电流所构成的平面，导致梁和平行板产生位移，该位移可以通过差分电容的变化来检测。传感器在峰值驱动电流为250 μA时的总灵敏度为150 μV·μT^（-1）、理论噪声为557. 2 μV·Hz^（-1/2）、分辨率为520 nT·mA^（-1）·Hz^（-1/2）、品质因子约328、共振频率为28.3 kHz。 M. Li等设计了由弯曲梁谐振器（1200 μm x 680 μm x 40 μm）组成的磁场传感器。弯曲梁谐振器与载有电流的Si梁通过微杠杆机制耦合，谐振器借助弯曲梁的每一侧的30个叉指电极实现静......阅读全文
传感器的广泛应用
传感器技术广泛用于新型无人机技术及解决方案中 加速度计 加速度计用于确定位置和无人机的飞行姿态。像任天堂Wii控制器或iPhone屏幕位置，这些小的MEMS传感器在维持飞行控制中起到关键的作用。MEMS加速度传感器有多种方式感知运动姿态，一种类型的技术能够感知微型集成电路的微小运动。 另一种
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（二）
扫描振镜的运动过程可以采用质量-阻尼-弹簧的二阶振动系统方程来表达，运动方程为T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T为驱动力力矩，Im为振镜的转动惯量，C为阻尼系数，Ks为扭转轴的弹性常量，θ为转动角度.扭转轴的弹性常量计算公式为Ks=2[5.33−3.36ba(1−b412a4)]ab3GLf
使用Tanner在物联网边缘智能器件设计中融合CMOS－IC与MEMS
简介创建基于传感器的物联网（IoT）边缘器件会涉及多个设计领域，因此极具挑战性（图1）。但是，在同一硅片上创建一个既有采用传统CMOS IC流程制作的电子器件，又有MEMS传感器的边缘器件似乎不大现实。实际上，许多IoT边缘器件会在单个封装中集成多个芯片，将电子器件与MEMS设计分开。Tan
基于FPGA的高速数据采集及处理系统设计
由于FPGA的高速和并行处理特性,使其广泛应用在高速信息处理系统中.以X射线能谱的前端数据处理为对象,提出了基于FPGA实现对高速数据的采集与处理的方法.同时讨论了电子测量系统中的补偿措施.
高温超导技术在微磁传感器中的应用（二）
目前，对高温SQUID的研究主要集中在两个方面： 一是高温超导SQUID基本理论的研究，主要指高温超导SQUID 电压与电流特性，电压与磁通之间的变换系数等数值仿真；二是各种高温超导SQUID 器件的研制以及在相关领域实现对微弱磁场信号的检测。近几年，超导薄膜技术的提高使得薄膜质量有显著提高，将超导
半导体所MEMS器件低成本圆片级低温键合方法研究获进展
基于Au-Sn二元系中富Sn区域的圆片级局域加热键合及其中间层相组成 封装是微纳机电系统（MEMS/NEMS）产业化前最后的但决定器件成败的最关键的一步加工技术，最近几年已经引起了越来越多的关注。当前国际上MEMS/NEMS较为成熟的封装工艺为键合工艺，几个发展比较成熟的键
显微镜下确定MEMS传感器的问题
MEMS传感器的研发总会使人兴奋，但与此同时也会面临着很大的压力。当研发一种新的MEMS传感器制造工艺时，最初的几片晶圆通常不会量产可工作的器件。根据工艺的复杂性和创新性，将需要几个星期、几个月甚至几年的时间去得到为数不多的好芯片。您可能会问自己这样一个问题：怎样才能使MEMS传感器工艺研发进度更加
2024MEMS传感器展上海。展会日期:2024
2024中国（上海）国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间：2024年11月18日-20日 地点：上海新国际博览中心联系人：李主任 手 机：136
mems振荡器到底是不是传感器？
电路当中，实现分频比较容易，倍频的话，就会产生噪声，所以MENS硅在高速通信系统中无法使用。石英振荡器振荡的频率源来自石英，石英可以产生压电效应，是一种高值元件，振荡频率非常稳定，但是，如果同样对这样的频率进行倍频，也会产生噪声，总之，倍频会产生更多的噪音，更何况硅谐振源本身与石英振荡源比较，还是稍
显微镜下确定MEMS传感器的裂纹
裂纹大多数裂纹都可以在光学显微镜下看到，但是，在某些情况下，由于分辨率的局限性，细的“发际线”裂缝是不可见的。常见的检查方法/设备:探针台电性测试声学显微镜基于探针的微机械测试
MEMS气压传感器在物联网中的应用
据麦姆斯咨询报道，气压传感器是一类非常有用的MEMS器件。它们在物联网（IoT）中有非常广泛的应用，从气象监测到室内资产跟踪。压力传感器虽然不常被看见，但它们的影响无处不在。压力传感器有多种不同的应用，其中最常见的应用是气象监测。压力传感器现在已非常普遍。它现在可能就存在你的口袋里！是的，在
PCR引物设计及评价实验（二）
5. 按照搜寻结果显示，在主窗口中检查该引物对的二级结构情况，逐条分析，依次筛选。下面进行序列筛选：点击其中一对引物，如第21#引物，在“Peimer Premier”主窗口，如图所示：该图分三部分，最上面是图示PCR模板及产物位置，中间是所选的上下游引物的一些性质，最下面是四种重
利用磁涡旋结构实现高性能磁传感器
许多现代技术应用均是基于磁性技术，例如在电动汽车中的动力部件，或存储数据的硬盘。另外，磁场探测也会作为传感器的功能之一。目前，采用半导体技术制造的磁场传感器市场规模已达到16.7亿美元，并将持续增长势头。在汽车电子行业中，将更精确的磁场传感器应用于ABS系统中不仅可以检测速度与位置，还可以间接检测轮
闭环霍尔方案以及磁通门方案——电流传感器（二）
闭环霍尔方案和磁通门方案都是用于电流测量的先进技术，它们各自具有独特的工作原理和应用优势。闭环霍尔方案基本原理：闭环霍尔电流传感器基于开环原理，引入了补偿电路。待测电流Ip在磁芯中产生磁场后，通过霍尔元件感应出的霍尔电压经过放大电路产生副边电流Is。副边电流流过缠绕在磁芯上的线圈，产生与原边电流相反
MEMS技术在海洋观测中的应用（四）
⒊ 基于MEMS的惯性传感器惯性（加速度）传感器是一种技术比较成熟，应用比较广泛的MEMS传感器，主要应用于波浪观测。目前国内外波浪测量浮标通常采用传统的加速度传感器，这些传感器体积大、重量重、价格昂贵，从而使浮标的制作成本增加。近年来，随着基于MEMS的惯性传感器的技术逐渐成熟，MEMS惯
MEMS技术在海洋观测中的应用（二）
二、MEMS现状基于各种原因，许多MEMS产品在商业上取得了巨大成功，其中许多器件已经获得广泛应用。汽车工业是MEMS技术的主要驱动力之一。例如MEMS振动结构陀螺仪，是一款新的相当便宜的设备，目前用于汽车防滑或电子稳定控制系统中。村田电子的SCX系列MEMS加速度计、陀螺仪和倾斜仪，以及将这些功能
压延机的设计制作相关介绍
两辊开放式压延机设计的关键是辊型结构、材料选择及辊面处理和技术参数确定，其次是功能的配置。在辊型结构方面，我们采取了不同于橡塑制品行业的超大辊径中高度设计,中高度=(D－d)/2，如图7所示。目的是补偿因轧制应力产生的轧辊挠曲变形，并提高轧辊中间部位的轧制力，强制磁粉颗粒向两边流动，同时针对压延
压延机的设计制作相关介绍
两辊开放式压延机设计的关键是辊型结构、材料选择及辊面处理和技术参数确定，其次是功能的配置。在辊型结构方面，我们采取了不同于橡塑制品行业的超大辊径中高度设计,中高度=(D－d)/2，如图7所示。目的是补偿因轧制应力产生的轧辊挠曲变形，并提高轧辊中间部位的轧制力，强制磁粉颗粒向两边流动，同时针对压延
高性能气敏器件宏量制作及其生化战剂检测应用获进展
近期，中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所微纳技术与器件研究室的微纳气体传感器研究团队在高性能气敏器件的宏量制作及其生化战剂检测应用研究方面取得了新进展，相关研究成果已发表在国际期刊《化学通讯》和《科学报告》上 。 半导体氧化物电阻型薄膜气体传感器，由于其成本低廉、制作简单及使
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，
显微镜下确定MEMS传感器的粘滞作用
粘滞作用像悬臂梁、薄膜、梭形阀这些机械结构可能由于结构的释放会和底层基板粘连，导致器件永久性失效。如果MEMS传感器结构和衬底之间的距离非常小，那么通过显微镜观察曲率是不可见的。如果您想要好芯片，恐怕只有在封测环节来挑选了。常见的检查方法/设备:探针台电性测试（如电容传感器）基于探针的微机械测试
风向风速记录仪中新型传感器的工作原理
风向风速记录仪，其关键部件就是传感器的设计，所以关于风向风速记录仪的研究，其核心也是关于其感应风向和风速的传感器的研究，下面我们一起看下一种新型的传感器的研发过程。风速和风向参数是气象观测的基本要素。基于MEMS的微型测风传感器具有体积小、重量轻、成本低和灵敏 度高等优点，可以满足航空航天、航海和环
基于微功耗IC设计功能更齐全心率监护仪(HRM)（二）
在主信号链中，微功耗仪表放大器后接一个积分器反馈网 络，利用4.7 μF电容和100 kΩ电阻实现，用以设置高通滤波 器的?3 dB截止频率。它抑制电极的半电池超电势可能产生 的差分直流失调。微功耗运算放大器提供13倍的额外增益 以便放大弱信号。一个有源二阶低通贝塞尔滤波器消除约 50
智能传感器技术特点及发展趋势
随着物联网、移动互联网等新兴产业的快速发展，智能传感器的市场份额将以约36％的年均复合增长率（CAGR）增长，预计在2020年达到104.6亿美元。智能传感器由传感元件、信号调理电路、控制器（或处理器）组成，具有数据采集、转换、分析甚至决策功能。智能化可提升传感器的精度，降 低 功耗和体积，实现
面积测量仪的相关传感器及设计
面积测量仪有同步测量或异步测量方式可供选择。所谓同步测量方式(转速检测)是指在线检测电机的速度,根据电机速度计算出被测物体移动的线速度。异步测量方式是根据电机额定转速计算出被测物体移动的线速度,但电网电压的波动将影响测量精度。面积测量仪对于速度检测方法大体有3种:其一是脉冲盘式角度数字转换器,特点是
压电传感器原理及应用（二）
二、压电MEMS传感器1、压电MEMS喷墨打印头喷墨打印为个人文档打印提供了灵活、经济的解决方案，目前仍在家庭和小型办公环境中大量应用。同时，CAD和图形艺术应用的大型宽幅打印将喷墨打印作为单次打印和小批量打印的技术选择。MEMS技术为之带来了“诱人”的解决方案：每个喷墨打印头拥有更高的喷嘴
场发射真空传感器简介
场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析， 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下， 可以
显微镜下确定MEMS传感器的粘附力问题
粘附力问题MEMS传感器结构内层与层之间的粘附力可能很微小，光学显微镜也许会看到分层迹象，但微小的粘结层是观察不到的。常见的检查方法/设备:声学显微镜基于探针的微机械测试（破坏性的测试）
集成滤光窗的－MEMS－红外传感器电子封装（一）
摘要传感器半导体技术的开发成果日益成为提高传感器集成度的一个典型途径，在很多情况下，为特殊用途的MEMS（微机电系统）类传感器提高集成度的奠定了坚实的基础。本文介绍一个MEMS光热传感器的封装结构以及系统级封装（SIP）的组装细节，涉及一个基于半导体技术的红外传感器结构。传感器封装以及其与传
量子领域“MEMS智能微传感器芯片”项目落户浙江桐乡
2016年9月，广泛应用于量子领域的“MEMS智能微传感器芯片”项目签约落户浙江桐乡，成为桐乡市引进的第三个量子应用技术大项目。该项目由中科院地质与地球物理研究所于连忠等4位国家千人计划专家领衔开发，产品应用于加速度仪、陀螺仪、量子网关等，是现代物联网的核心器件，是智能制造业的发动机，广泛应用于