电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，仿真结果与实际测得的结果一致.描述了振镜的工艺流程及封装方式，并制备了振镜.实验测得振镜在120 mA静态电流驱动下，慢轴和快轴分别能达到的最大转角为±4.5°及±5°，慢轴及快轴的谐振频率分别为348 Hz及660 Hz，并得到在此谐振频率下的李萨如图形.将器件用于激光成像系统之中，使得散斑对比度下降到4.2%，激光成像质量得到很大提升.关键词：微机电系统 激光散斑 ......阅读全文
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（三）
4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13]，即当一束激光照射至扫描镜表面，当扫描镜静止时，激光会发生反射，同时在接收屏上形成激光光斑，当扫描镜振动时，激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S，扫描线的长度为L，扫描线顶端到基准点的距离为H，则扫描角度可以表示为θmax
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（二）
扫描振镜的运动过程可以采用质量-阻尼-弹簧的二阶振动系统方程来表达，运动方程为T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T为驱动力力矩，Im为振镜的转动惯量，C为阻尼系数，Ks为扭转轴的弹性常量，θ为转动角度.扭转轴的弹性常量计算公式为Ks=2[5.33−3.36ba(1−b412a4)]ab3GLf
MEMS激光扫描投影技术
你能想象现在的科学技术已经可以把之前几十公斤重的激光雷达塞进一块比指甲盖还小的芯片中而且还能完成同样的工作吗?利用新世纪的集成电路和 3D 加工技术，一块小小的芯片能够承载比我们以往任何时代都多的功能，而这一技术的潜在应用领域也让芯片业巨头挤破了头去收购相关技术。 2012 年，微机电系统(MEM
二维扫描振镜－2D－MEMS－LASER－SCANNING－MIRROR
MEMS（微机电系统）反射镜是由微型马达驱动的一维或二维小型固态反射镜（片上反射镜）。 指向镜面的激光束被扫描镜精确地偏转和转向，以在特定时间到达目标点。技术特点：快速静电（ES）执行器，功耗最低。 ES执行器在镜面的自谐振频率下工作，是高扫描频率（几十KHz）的理想选择。强而精确的电磁（EM）执行
尺寸/成本优势兼具，MEMS光谱传感器亮相
微机电系统(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美国西部光电展(SPIE Photonics West 2015)上发布第一款MEMS光谱感测器(Spectral Sensor)，可用以设计手持式近红外线(Near Infra-Red, NIR)光谱分析仪，协助农夫
扫描电化学显微镜的探针驱动电路
引言 扫描电化学显微镜(SECM)是80年代发展起来的一种电化学现场检测新技术。该技术驱动非常小的电极(探针) 在靠近样品处进行扫描,样品可以是金属、半导体、高分子、生物基底等材料。SECM具有化学灵敏性，可测量微区内物质氧化或还原所产生的电化学电流，从而获得对应的微区电化学和相关信息。它主要由电
电磁驱动的运动精度
由于电磁驱动台的驱动是以磁场为介质的，因此磁场的分析和设计是电磁微动台整体结构设计的前提。尽管目前学者已经对磁场分析、电磁力计算等重要问题进行了相关研究，但是还未形成一套完整的电磁微动台磁场分析和设计的理论。特别是对边端效应、局部饱和、推力波动等影响定位性能的重要因素，以及如何实现长行程、大推力和
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中
大炉膛尺寸箱式气氛炉
大炉膛尺寸箱式气氛炉用途还原炉适用于电子陶瓷与高温结构陶瓷的烧结、玻璃的精密退火与微晶化、晶体的精密退火、陶瓷釉料制备、粉末冶金、纳米材料、荧光粉的烧结、金属零件淬火及一切需快速升温工艺要求的热处理，应用于电子元器件、新型材料及粉体材料的真空气氛处理，材料在还原、惰性气氛环境下进行烧结。大炉膛尺寸箱
大炉膛尺寸箱式气氛炉
大炉膛尺寸箱式气氛炉用途还原炉适用于电子陶瓷与高温结构陶瓷的烧结、玻璃的精密退火与微晶化、晶体的精密退火、陶瓷釉料制备、粉末冶金、纳米材料、荧光粉的烧结、金属零件淬火及一切需快速升温工艺要求的热处理，应用于电子元器件、新型材料及粉体材料的真空气氛处理，材料在还原、惰性气氛环境下进行烧结。
大尺寸物体的波动行为
自从物理学者演示出光子与电子具有波动性质之后，对于中子、质子也完成了很多类似实验。在这些实验里，比较著名的是于1929年奥托·施特恩团队完成的氢、氦粒子束衍射实验，这实验精彩地演示出原子和分子的波动性质。近期，关于原子、分子的类似实验显示出，更大尺寸、更复杂的粒子也具有波动性质，这在本段落会有详细说
原子力显微镜（AFM）拼接缝合技术分析大尺寸表面
摘要本篇应用文章介绍了Nanosurf Nanite AFM脚本文件界面与Nanosurf报告专家分析软件结合的全自动拼接缝合技术特点。LCD面板上的AFM测量作为一个例子，演示如何拼接能够简单高效的得到大尺寸表面区域的高分辨率形貌图像。 介绍高分辨率成像技术例如AFM常常会受制于他们的zui大扫描
原子力显微镜扫描样品表面形貌,通过什么方式驱动探针
原子力显微镜：是一种利用原子,分子间的相互作用力来观察物体表面微观形貌的新型实验技术.它有一根纳米级的探针,被固定在可灵敏操控的微米级弹性悬臂上.当探针很靠近样品时，其顶端的原子与样品表面原子间的作用力会使悬臂弯曲，偏离原来的位置.根据扫描样品时探针的偏离量或振动频率重建三维图像.就能间接获得样品表
显微镜样本尺寸如何呢？
您的样本尺寸如何呢？显微镜样本尺寸包括：长度、宽度和高度。鉴于组织切片等样本仅在 X、Y 轴上成像，还有些应用领域需要在 Z 轴上获取图像。要实现活细胞的三维成像，建议配备电动物镜转换器，其能够引导样本逐步穿过焦点。成像软件应能够重建单幅图像，以实现三维观察。 针对活细胞，必须考虑尺寸、时间。在这种
10毫米大口径压电MEMS快反镜问世
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员武震宇、助理研究员王栎皓团队，开发了一种高性能的10毫米大口径压电MEMS（微机电系统）快反镜，能够实现更精确的激光光束闭环控制，可满足激光星间链路对高精度、快速响应与稳定性的需求，为卫星通信终端提供小型化高性能解决方案。相关研究近日发表于《微系统与纳米
扫描电子显微镜概览（一）
扫描式电子显微镜的电子束不穿过样品，仅在样品表面扫描激发出次级电子。放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子，通过放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度。显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描，这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像，这与工业电视机的工作原 理相类
APEX压痕划痕仪电磁驱动传感器
电磁驱动传感器三板电容传感以超高精确度检测位移针尖几何形状为berkovich、球体、或立方隅角的压痕检测器微纳压痕检测信息图案化，信息完整全面可选择线性成像(推荐3D轮廓仪)检测效率高，重复性好选择先进的原位传感器用户自定义数据分析算法或分析模型，精确检测材料机械性能符合 ASTM, DIN和IS
固态激光雷达原理和工作优劣
固态激光雷达原理和工作优劣，说到雷达就是一个信息传送的装置，但是固态激光雷达就是现代可以关键的传感技术，在现在5G时代,无人机，无人驾驶的车和智慧城市都需要推动着作用，因为传感器就是他们的眼睛了，在5G的大时代一定是前途光明!小编就带大家一起了解固态激光雷达原理了。固态激光雷达是什么？固态激光雷达是
大尺寸化趋势明显－电视面板价格进一步回暖
进入4月份，电视面板价格延续涨势，大尺寸电视面板价格刷新本轮周期新高。TrendForce集邦咨询4月8日发布的调研数据显示，4月上旬65吋电视面板均价为172美元，较前期上涨1美元。 TrendForce集邦咨询研究副总邱宇彬在接受《证券日报》记者采访时表示：“在面板企业拉高电视面板
压电MEMS超声波换能器设计（一）
本文为OnScale与Mentor合作推出，由行业专家撰写，文章详细介绍了压电MEMS超声波换能器产品的设计过程，包括传感器的仿真、设计以及它与整个系统的集成。了解系统我们正在开发一种槽罐液位监测系统。该系统可以安装在啤酒厂、酿酒厂和其他饮料厂的物联网边缘设备中，用以收集液位的状态，并可主动通知技术
无人机/VR－无处不在的MEMS如何应用？（一）
虽然大部分人对MEMS（Microelectromechanicalsystems， 微机电系统/微机械/微系统）还是感到很陌生，但是其实MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了ME
氧化锆造粒机性能尺寸大揭秘
氧化锆造粒机在行业中的性能使用状况好，对于生产来讲能够进行混合与造粒工作，形成在更短时间内的造粒生产，完成颗粒均质统一的要求，避免混合不均匀的情况，还可以解决物料比重不同引起的其他问题。 氧化锆造粒机内部设计了独特的刮板工具，起到刮离作用，保证颗粒在原始状态下的均匀混合工作，设备工艺性能强，可
大尺寸LBO晶体技术取得重要突破
“十一五”863计划支持大尺寸LBO晶体技术取得重要突破 在“十一五”863计划“新一代激光显示技术工程化开发”重点项目的支持下，中国科学院理化研究所承担的“激光晶体、非线性晶体材料工程技术开发”课题取得重要突破，生长出世界上最大尺寸的LBO晶体，近日顺利通过验收。 中国科学院理化研
这块米粒般的微镜芯片，给机器人带来“好视力”
北理工学子研制的MEMS微镜芯片。 陈静怡摄偌大的车间正紧锣密鼓开展生产，却鲜有工人在机器之间穿梭在智能生产线里，机器人代替传统人力，在流水线上完成着工作任务。机器人结构庞大，但并不“莽撞”精准完成定位、抓取、装配、焊接等工步。为机器人赋予光明视野的，是藏身在机械臂上的一块小巧的MEMS微镜芯片。仅
激光雷达的行业趋势
市场需求：L3级以上无人驾驶的必备传感器激光雷达是高精度的传感器，但是有与过于昂贵，无人驾驶业界对激光雷达的存废之争一直没有停止过。非激光雷达阵营主要是以特斯拉为代表的的传统车企，他们倾向于渐进式路线，从ADAS辅助驾驶逐渐升级过度到自动驾驶，以端到端的深度学习砍掉传统的激光雷＝雷达，激光雷大阵营主
估价1070万！中国工程物理研究院材料研究所采购大尺寸扫描电镜
近日，中国工程物理研究院材料研究所发布《中国工程物理研究院材料研究所大尺寸扫描电镜【第3次】竞争性磋商公告》项目公告，预计花费10700000.00元采购大尺寸扫描电镜。详细信息如下：一、项目基本情况：1.项目编号：1507SB221015402.项目名称：大尺寸扫描电镜【第3次】3.采购方式：竞争
显微镜下确定MEMS传感器的裂纹
裂纹大多数裂纹都可以在光学显微镜下看到，但是，在某些情况下，由于分辨率的局限性，细的“发际线”裂缝是不可见的。常见的检查方法/设备:探针台电性测试声学显微镜基于探针的微机械测试
显微镜下确定MEMS传感器的问题
MEMS传感器的研发总会使人兴奋，但与此同时也会面临着很大的压力。当研发一种新的MEMS传感器制造工艺时，最初的几片晶圆通常不会量产可工作的器件。根据工艺的复杂性和创新性，将需要几个星期、几个月甚至几年的时间去得到为数不多的好芯片。您可能会问自己这样一个问题：怎样才能使MEMS传感器工艺研发进度更加