电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，仿真结果与实际测得的结果一致.描述了振镜的工艺流程及封装方式，并制备了振镜.实验测得振镜在120 mA静态电流驱动下，慢轴和快轴分别能达到的最大转角为±4.5°及±5°，慢轴及快轴的谐振频率分别为348 Hz及660 Hz，并得到在此谐振频率下的李萨如图形.将器件用于激光成像系统之中，使得散斑对比度下降到4.2%，激光成像质量得到很大提升.关键词：微机电系统 激光散斑 ......阅读全文
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（三）
4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13]，即当一束激光照射至扫描镜表面，当扫描镜静止时，激光会发生反射，同时在接收屏上形成激光光斑，当扫描镜振动时，激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S，扫描线的长度为L，扫描线顶端到基准点的距离为H，则扫描角度可以表示为θmax
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（二）
扫描振镜的运动过程可以采用质量-阻尼-弹簧的二阶振动系统方程来表达，运动方程为T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T为驱动力力矩，Im为振镜的转动惯量，C为阻尼系数，Ks为扭转轴的弹性常量，θ为转动角度.扭转轴的弹性常量计算公式为Ks=2[5.33−3.36ba(1−b412a4)]ab3GLf
MEMS激光扫描投影技术
你能想象现在的科学技术已经可以把之前几十公斤重的激光雷达塞进一块比指甲盖还小的芯片中而且还能完成同样的工作吗?利用新世纪的集成电路和 3D 加工技术，一块小小的芯片能够承载比我们以往任何时代都多的功能，而这一技术的潜在应用领域也让芯片业巨头挤破了头去收购相关技术。 2012 年，微机电系统(MEM
尺寸/成本优势兼具，MEMS光谱传感器亮相
微机电系统(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美国西部光电展(SPIE Photonics West 2015)上发布第一款MEMS光谱感测器(Spectral Sensor)，可用以设计手持式近红外线(Near Infra-Red, NIR)光谱分析仪，协助农夫
二维扫描振镜 2D MEMS LASER SCANNING MIRROR
MEMS（微机电系统）反射镜是由微型马达驱动的一维或二维小型固态反射镜（片上反射镜）。 指向镜面的激光束被扫描镜精确地偏转和转向，以在特定时间到达目标点。技术特点：快速静电（ES）执行器，功耗最低。 ES执行器在镜面的自谐振频率下工作，是高扫描频率（几十KHz）的理想选择。强而精确的电磁（EM）执行
电磁驱动的运动精度
由于电磁驱动台的驱动是以磁场为介质的，因此磁场的分析和设计是电磁微动台整体结构设计的前提。尽管目前学者已经对磁场分析、电磁力计算等重要问题进行了相关研究，但是还未形成一套完整的电磁微动台磁场分析和设计的理论。特别是对边端效应、局部饱和、推力波动等影响定位性能的重要因素，以及如何实现长行程、大推力和
扫描电化学显微镜的探针驱动电路
引言 扫描电化学显微镜(SECM)是80年代发展起来的一种电化学现场检测新技术。该技术驱动非常小的电极(探针) 在靠近样品处进行扫描,样品可以是金属、半导体、高分子、生物基底等材料。SECM具有化学灵敏性，可测量微区内物质氧化或还原所产生的电化学电流，从而获得对应的微区电化学和相关信息。它主要由电
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中
首个由蚯蚓肌肉驱动的生物MEMS微芯片阀门
日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中心（BDR）的科学家利用能够持续提供数分钟高收缩力的蚯蚓肌肉组织，开发出了第一个由活细胞驱动的MEMS微芯片阀门，并且与电控阀门不同，这款微芯片阀门不需要电池等任何外部电源。 据麦姆斯咨询报道，日本理化学研究所（RIKEN）生物系统动力学研究中