金属多靶磁控溅射机
金属多靶磁控溅射机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器,于2014年1月1日启用。 1)真空系统:复合分子泵+直联旋片无油机械泵抽真空系统;真空极限:优于5.0×10E-5Pa ;抽速:从大气开始抽气,溅射室25分钟可达到10E-4Pa;系统漏率≤ 5×10-7PaL/s,系统停泵关机12小时后真空度≤5Pa;2)基片台:可镀4基片,4样片内膜厚200nm的不均匀度≤±5%;样品基台可加热,室温~500℃,控温精度±1oC;3)溅射靶及电源:直径小于/等于3英寸,标配3个材料靶加一盲靶;各靶兼容直流溅射/中频溅射/射频溅射;靶之间相互不干扰/污染; 电源配置:配有2台数字式500w直流溅射电源和1台500w全自动匹配射频溅射电源。......阅读全文
金属多靶磁控溅射机
金属多靶磁控溅射机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器,于2014年1月1日启用。 1)真空系统:复合分子泵+直联旋片无油机械泵抽真空系统;真空极限:优于5.0×10E-5Pa ;抽速:从大气开始抽气,溅射室25分钟可达到10E-4Pa;系统漏率≤ 5×10-7PaL/s,系统停泵关机1
超高真空多靶磁控溅射镀膜仪
超高真空多靶磁控溅射镀膜仪是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器,于2010年2月21日启用。 技术指标 双室磁控溅射系统,极限压力:主溅射室,6.67*10-6Pa,2、永磁靶5套,三个直流电源,两个射频电源,靶材直径60mm;3、6个样品工位,尺寸直径30mm,基片加热最高600度,退火
多靶位磁控溅射系统共享应用
仪器名称:多靶位磁控溅射系统仪器编号:21012328产地:美国生产厂家:科特·莱斯科公司型号:PVD75出厂日期:购置日期:2021-07-12所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:62781090固定手机:13661079620固定email:
清华大学仪器共享平台科特·莱斯科-多靶位磁控溅射系统
仪器名称:多靶位磁控溅射系统仪器编号:21012328产地:美国生产厂家:科特·莱斯科公司型号:PVD75出厂日期:购置日期:2021-07-12所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:62781090固定手机:13661079620固定email:
磁控溅射镀膜机共享
仪器名称:磁控溅射镀膜机仪器编号:13001328产地:中国生产厂家:创世威纳科技公司型号:MSP-3200T出厂日期:201301购置日期:201301所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:一楼平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090,19
磁控溅射镀膜机共享应用
仪器名称:磁控溅射镀膜机仪器编号:13001328产地:中国生产厂家:创世威纳科技公司型号:MSP-3200T出厂日期:201301购置日期:201301所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:一楼平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090,19
AJA-真空互联磁控溅射镀膜机共享应用
仪器名称:真空互联-磁控溅射镀膜机仪器编号:20004165产地:美国生产厂家:AJA型号:ATC-2200-UHV SPUTTER SYSTEM出厂日期:购置日期:2020-06-05项目名称计价单位费用类别价格备注材料溅射元/小时自主上机机时费460.0Au等贵金属加收100元/10nm所属单位
贵金属集团国家重点实验室在镍铂靶材结瘤形成机制研究中取得新突破
近日,贵金属集团稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室靶材研发团队在贵金属靶材应用基础研究领域取得了重要进展。其项目研究为深入理解磁控溅射过程中镍铂靶材表面结瘤的形成机制提供了全新的视角,为解决溅射镀膜中的关键技术难题提供了理论依据。 据了解,磁控溅射过程中镍铂靶材表面结瘤影响着镀膜质量和靶材寿
清华大学仪器共享平台磁控溅射镀膜机
仪器名称:磁控溅射镀膜机仪器编号:13001328产地:中国生产厂家:创世威纳科技公司型号:MSP-3200T出厂日期:201301购置日期:201301所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:一楼平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:魏治乾(010-62781090,19
磁控溅射技术应用的现状
磁控溅射技术不仅是科学研究和精密电子制造中常用的薄膜制备工艺技术,经过多年的不断完善和发展,该技术也已经成为重要的工业化大面积真空镀膜技术之一,广泛应用于玻璃、汽车、医疗卫生、电子工业等工业和民生领域。例如,采用磁控溅射工艺生产镀膜玻璃,其膜层可以由多层金属或金属氧化物祖成,允许任意调节能量通过
磁控溅射的相关介绍
磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅
磁控溅射种类的介绍
磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。 靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源镀膜均匀,非平衡式靶源镀膜膜层和基体结合力强。平衡靶源多
磁控溅射原理的相关介绍
磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生的二次电子会受到电场和磁场作用,
磁控溅射技术的工艺历史发展
1852年,格洛夫发现了阴极溅射,由于该方法要求工作气压高、基体温升高和沉积速率低等,阴极溅射在生产中并没有得到广泛的应用。20世纪三十年代,J.Chapin发明了平衡磁控溅射,使高速、低温溅射成为现实,磁控溅射真正意义上发展起来。 上世纪五十年代Schneider等采用离化溅射和平衡磁控溅射
铁金属检测机
铁金属检测机产品型号:产品品牌:梅特勒-托利多产品价格:电询 该系列产品主要针对食品行业,对金属膜包装产品进行铁杂质的检测,如方便食品、糖果、酸奶、牛奶和休闲食品等。 独特的产品信号取消功能,能够记录和屏蔽铝膜等金属膜包装材料的信号,提高金属检测性能。 检测头满足客户的特殊要求,有多
金属探测机简介
通常金属探测机由两部分组成,即金属探测机与自动剔除装置,其中检测器为核心部分。检测器内部分布着三组线圈,即中央发射线圈和两个对等的接收线圈,通过中间的发射线圈所连接的振荡器来产生高频可变磁场,空闲状态时两侧接收线圈的感应电压在磁场未受干扰前相互抵消而达到平衡状态。
研究构建高亮度、多靶点荧光探针
近日,中国科学院大连化学物理研究所研究员徐兆超、副研究员乔庆龙团队提出基于氮杂环丁烷甲酰胺的荧光配体偶联策略,在同一分子框架内一体化实现了荧光探针亮度提升以及与靶向配体多样性偶联,为活细胞超分辨荧光成像提供了兼具高亮度、多靶点适配性的新一代分子工具。相关成果发表于《德国应用化学》。 荧光配体偶
我国科学家提出多靶点、多功效药物设计新方法
3月28日,《细胞》(Cell)在线发表了中国科学院分子细胞科学卓越创新中心汪胜研究组联合上海科技大学iHuman研究所程建军团队、中国科学院上海药物研究所徐华强团队完成的题为Flexible Scaffold-based Cheminformatics Approach for Polypharm
我国科学家提出多靶点、多功效药物设计新方法
3月28日,《细胞》(Cell)在线发表了中国科学院分子细胞科学卓越创新中心汪胜研究组联合上海科技大学iHuman研究所程建军团队、中国科学院上海药物研究所徐华强团队完成的题为Flexible Scaffold-based Cheminformatics Approach for Polypharm
全自动磁控溅射系统共享应用
仪器名称:全自动磁控溅射系统仪器编号:12024341产地:中国生产厂家:金盛微纳科技有限公司型号:MSP-150B出厂日期:201112购置日期:201211所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:刘建设(,,zh
AI平台合成出32种潜在多靶点药物
美国加州大学圣迭戈分校科学家开发了一种机器学习算法,来模拟药物发现早期阶段耗时的化学过程,其可以显著简化研发流程,同时也为前所未有的治疗找到新途径。科学家借助这一工具,已合成出32种治疗癌症的新候选药物。相关研究成果发表在新一期《自然·通讯》上。 识别候选药物以进行进一步优化,通常需要数千次单
AI平台合成出32种潜在多靶点药物
科技日报北京5月14日电 (记者张梦然)美国加州大学圣迭戈分校科学家开发了一种机器学习算法,来模拟药物发现早期阶段耗时的化学过程,其可以显著简化研发流程,同时也为前所未有的治疗找到新途径。科学家借助这一工具,已合成出32种治疗癌症的新候选药物。相关研究成果发表在新一期《自然·通讯》上。识别候选药物以
矩形孔径金属检测机
概述梅特勒-托利多R系列矩形金属检测机可集成到传输带等产品输送系统中。 非常适合检测工艺中或生产线最后的散料、散装或包装产品。 广泛的产品范围可确保提供满足各种应用需求的解决方案。用于实现最大合规性的高级金属检测梅特勒-托利多金属检测机使用复杂的技术来提供高级金属检测解决方案,能够检测所有金属类型,
立式应用金属检测机
概述梅特勒-托利多T和ST系列立式金属检测机可集成到立式制袋、填充和封口(VFFS)工艺中以检测自由落体产品。 这些立式应用金属检测解决方案尤其适合使用金属薄膜包装材料的应用。优化的系统性能为了最大程度减少由于金属污染物导致的产品召回风险,最新的梅特勒-托利多T和ST系列立式金属检测机系统配备了eD
金属拉力试验机
金属拉力试验机主要用于钢丝、钢带、钢材等金属材料制成品抗拉强度测试,另加夹具也可用于非金属、复合材料制品拉伸、压缩、弯曲、剪切、撕裂等。金属拉力试验机有着强大的数控显示系统,可以做100000N以内整个材料中拉伸、压缩、弯曲、剥离、刺破等试验,全液晶数控设定所需参数,曲线、位移、力值能动态显示在数显
金属拉伸机的构造
金属拉力试验机环境实验设备种类单一,但运用普遍的环境实验设备爲低温、高温、干冷实验箱,而现今比拟盛行是集合了低温、高温、干冷爲一体的实验箱—冷热冲击实验机,它的修缮难度较其它环境实验设备大,且具有代表性。上面就冷热冲击实验机爲例,谈一谈冷热冲击实验机的结构及一些稀有缺陷和扫除办法。(一)、稀有 冷热
制药金属检测机系统
概述梅特勒-托利多制药金属检测机完全符合制药行业的标准和规定,提供完全集成的片剂、胶囊、粉末和颗粒产品检测和剔除解决方案。 系统设计可检测所有金属污染类型,包括铁、非铁以及非常难以检测的非磁性不锈钢(316等级)。多功能性与可移动性Tablex工业金属检测机经过设计在生产区域内具有最高灵活性。
金属检测机的特征
1、具备学习功能,产品效应抑制功能,可以适应对不同产品的检测 2、具有200种产品存储功能,可以迅速更换产品参数 3、外壳和直接接触产品部分的金属材质都采用食品级不锈钢制造 4、避免产品堆积,阻塞而造成发霉 5、通过剔除系统进行快速剔除,能减少物料损失,不会干扰正常的生产
RB系列金属检测机
RB系列金属检测机产品型号:RB系列产品品牌:梅特勒-托利多产品价格:电询 为检测散料产品设计,RB系列窗口式金属检测机能够方便的接入任何加工生产线。 优良的检测性能和稳定性是目前最先进的在线金属检测产品之一。 高频检测线圈技术和先进的检测头外观设计,结合最新的信号过滤技术获得优良的
金属异物检测机简介
通常金属异物检测机由两部分组成,即金属异物检测机与自动剔除装置,其中检测器为核心部分。检测器内部分布着三组线圈,即中央发射线圈和两个对等的接收线圈,通过中间的发射线圈所连接的振 下落式金属异物检测机 荡器来产生高频可变磁场,空闲状态时两侧接收线圈的感应电压在磁场未受干扰前相互抵消而达到平衡状态