氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体?
氦质谱检漏仪以及氦质谱检漏,在实际应用中,氦质谱检漏顾名思义一般都会采用氦气作为最主要的示漏气体,这是为什么呢? 氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名,但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等,主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体,原因主要有以下几点: 1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。 2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。 3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。 以上这些因素都为提高氦质谱检漏仪器的灵敏度创造了良好条件。另外,氦气作为一种惰性气体,性质不活泼,不与真空器件起化学反应,无毒,也......阅读全文
氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体?
氦质谱检漏仪以及氦质谱检漏,在实际应用中,氦质谱检漏顾名思义一般都会采用氦气作为最主要的示漏气体,这是为什么呢? 氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名,但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等,主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体,原因主要有以下几点: 1、氦气的质量轻
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患;价格低。 质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体,主要原因如下:1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少(在空气中约含5.2ppm
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的质量为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25K,临界压力为2.26×105Pa,1atm压力下的沸点为4.214K,熔点为0.9K,三相点温度为
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的质量为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25K,临界压力为2.26×105Pa,1atm压力下的沸点为4.214K,熔点为0.9K,三相点温度为
氦质谱检漏仪原理
一、为什么要检漏泄漏和密封相对应很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气
氦质谱检漏法常见四种检测原理、优缺点及应用
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方
氦质谱检漏法常见四种检测原理、优缺点及应用
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可
氦质谱检漏技术与仪器的相关技术指标
中国电子科技集团公司第四十研究所 作者:赵锐敏氦质谱检漏仪的工作原理 氦质谱检漏仪是一种用来检漏的对比仪器。它是一种质谱分析仪,检漏时以氦气作为示踪介质,当氦气与其它气体一同进入仪器内部时即被电离,并在质谱室的电磁场中作圆周运动;由于各种
氦质谱检漏仪常用检漏方法及标准
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
氦质谱检漏仪的真空压力法检漏
检漏仪检漏的原理有两种方式可以检测出泄漏:1. 示踪气体 A 放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,容器周边是否有气体 A,如果容器外有气体 A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面,用仪器去
博为氦质谱检漏仪在电子半导体密封性检测中的检漏应用
一、前言 半导体电子产品由于密封不良,将会造成产品的漏气漏液,从而降低使用性能,有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象,甚至使产品破坏丧失全部功能,以致造成巨大的或不可挽回的损失。根据使用条件不同,应对产品提出不同的密封要求,国家则出具了统一的密封标准。 近年来由于电子行业的发展以及空
深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏技术历史及原理
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期,美国为了制造原子弹,在田纳西州的橡树岭(Oak Ridge)建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔,1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯
深度揭秘氦质谱检漏技术-——发展历史及原理
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期,美国为了制造原子弹,在田纳西州的橡树岭(Oak Ridge)建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔,1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯
氦质谱检漏仪测定漏率型简介
1、充氦法 充氦法也称负压法 ,一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐,将被检零件装入一个气室,开始关闭氦气罐阀门,机械泵把气室先抽成真空,然后关闭真空泵阀门,打开氦气罐阀门给气室充氦,并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙,氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开,取出被检器件,用压缩空气
氦质谱检漏仪漏率最小是多少
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)是用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析
氦质谱检漏仪查漏原理及其应用
1、氦质谱检漏仪查漏原理 氦质谱检漏是一种精度很高的不停机查漏方法,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境) 、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。以日本的HEL IOT- 303AS氦质谱查漏仪进行真空系统查漏为例,其连接图见图1。图1 真空系统查漏连接图
氦质谱检漏仪查漏原理及其应用
湖北省电力试验研究院 作者:高满生 介绍了氦质谱检漏仪查漏的原理,通过分析湖北省内3台机组真空系统氦质谱检漏仪查漏的情况及真空状况的改善,指出提高汽轮机真空,是提高机组运行经济性和出力,实现节能
氦质谱检漏仪的主要配置
1. 检漏仪专用分子泵 2. 机械泵或者干泵 3. 定制检漏仪专用电磁阀 4. 内置标准漏口 5. 放大器 6. 采用质谱专用模块
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容
深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏的各种方法
利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多,而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的,因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再
深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏的各种方法
利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多,而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的,因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再
常见的几种氦质谱检漏方法
第二炮兵工程学院 作者:孙新利 氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各
氦质谱检漏仪的性能指标及工作原理
近年来,随着科学技术的飞速发展,氦质谱法检漏及其应用技术不断发展和完善。 世界各地的制造商推出了各种类型的氦质谱检漏仪,广泛应用于航空航天、电力电子、汽车、制冷和医药等行业。 综观新型氦质谱检漏仪的性能特点,氦质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展,这些特点满足
氦质谱检漏仪在350MW汽轮机真空系统检漏中的应用
0 引言 凝汽器真空是影响机组经济性、稳定性的一个重要指标,而真空系统的严密性是影响汽机真空的重要原因之一。 一方面,真空严密性下降将使汽机真空下降,即会导致机组有效焓降减少,使其出力下降,汽耗增大,又会导致排汽温度上升,使冷源损失增加,循环热效率下降;另一方面空气进入凝汽器导致凝结水溶
氦质谱检漏仪在低温容器行业应用
一、低温容器检漏原因低温容器主要储存液态气体,出于安全及成本方面考虑,会对低温容器有较高的漏率(如表1所示)要求,因此对低温容器的检漏尤为必要,如杜瓦瓶,LNG储罐,Perma, 冷槽罐都需要使用氦质谱检漏仪检测。表1体积 L10-50100以上真空夹层漏率Pa*m³/s≤2×10E-8≤6×10
华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
华尔升氦质谱检漏仪应用广泛,在检漏作业中,根据不同产品对密封的要求多采用负压法,正压法和压氦法三种检漏方法。 1、负压法检漏 负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器