光刻机的曝光度
a.接触式曝光（Contact Printing）：掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当，设备简单。接触式，根据施加力量的方式不同又分为：软接触，硬接触和真空接触。1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住（类似于匀胶机的基片放置方式），掩膜盖在基片上面；2.硬接触 是将基片通过一个气压（氮气），往上顶，使之与掩膜接触；3.真空接触 是在掩膜和基片中间抽气，使之更加好的贴合（想一想把被子抽真空放置的方式）软<硬<真空 接触的越紧密，分辨率越高，当然接触的越紧密，掩膜和材料的损伤就越大。缺点：光刻胶污染掩膜板；掩膜板的磨损，容易损坏,寿命很低（只能使用5～25次）；容易累积缺陷；上个世纪七十年代的工业水准，已经逐渐被接近式曝光方式所淘汰了，国产光刻机均为接触式曝光，国产光刻机的开发机构无法提供工艺要求更高的非接触式曝光的产品化。b.接近式曝光（Proximity Printing）:掩膜板与光刻......阅读全文
谭久彬院士：解决了核心问题，我国装备自然就会高大上
我国装备制造要由中低端向中高端迈进，首先要解决制造质量问题，其核心关键是解决超精密测量能力问题。没有超精密测量，就不会有高质量的高端装备制造。我国现阶段须迫切完成的任务是，补齐精密测量能力，追平超精密测量能力，在完整精度阶段胜出。只有从根本上解决整体测量能力问题，才能从根本上解决高端装备制造质量
中紫外直接光刻设备研制成功
近日，一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在国内研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中紫外照明技术，结合光敏玻璃材料，实现基于光敏玻璃基底的微细结构直接加工，能够极大简化工艺流程，将有力促进光敏玻璃微细结构的光刻工艺技术“革命”，目前在国内尚未见有此类产
Transmission－Electron－Microscope－(TEM)
所谓TEM，就是一个放大镜叠加了一台照相机。这台放大镜的放大倍数比较高，可高达一百万倍。当然，抛开分辨率谈放大倍数都是耍流氓，那么，TEM的分辨率有多高呢？答案是 it depends。一般来说，TEM的分辨率要在1到2个纳米，STEM更高，但是STEM得成像技术类似于SEM，但用的不是二次电子。我
极紫外光刻新技术问世
据日本冲绳科学技术大学院大学（OIST）官网最新报告，该校设计了一种极紫外（EUV）光刻技术，超越了半导体制造业的标准界限。基于此设计的光刻设备可采用更小的EUV光源，其功耗还不到传统EUV光刻机的十分之一，从而降低成本并大幅提高机器的可靠性和使用寿命。 在传统光学系统中，例如照相机、望远镜和
透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么？
所谓TEM，就是一个放大镜叠加了一台照相机。这台放大镜的放大倍数比较高，可高达一百万倍。当然，抛开分辨率谈放大倍数都是耍流氓，那么，TEM的分辨率有多高呢？答案是 it depends。一般来说，TEM的分辨率要在1到2个纳米，STEM更高，但是STEM得成像技术类似于SEM，但用的不是二次电子。我
Mini－LED－－Micro－LED差异解析（三）
2．市场发展分析苹果与Sony抢先布局，瞄准两种极端尺寸应用：苹果：专攻小尺寸 Micro LED 应用，2016 年已实验性点亮了 6 寸 Micro LED 显示器。Sony ：专攻大尺寸的 Micro LED 屏幕，早在 2012 年推出“Crystal LED Display”（像素间距约
中国半导体的困境，国人的“芯”痛
在半导体这个领域，许多人只是知道中国一直处于弱势，但是反过来想想，中国需要挑战的是，西方上百年积累起来的工业体系！ 中国半导体一直都是在敌人的炮火中匍匐前进，现在这场无硝烟的战争已经进入白热化阶段，面对国际芯片巨头的围追堵截，令国人“芯”痛不已。 美国的统治地位 1957年，晶体管之父肖克
清华开办“十三五”科技创新成就展，包含了这些成果
3月9日下午，行健不息——清华大学“十三五”科技创新成就展在清华大学开幕。 该展览展出了“十三五”期间清华大学涌现出的38项创新成果，涵盖新型能源、基础物理、生命健康、地学环境、冬奥专项、公共安全、机械控制、信息科学和化学化工等多个领域。 据清华大学科学博物馆馆长吴国盛介绍，2021年10月
芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁优秀新产品二等奖
芯源公司“集束型匀胶显影设备”获辽宁省优秀新产品二等奖 近日，经第八届辽宁省优秀新产品奖评审委员会审查，省政府批准，中科院沈阳自动化研究所持股公司芯源公司申报的“集束型匀胶显影设备”被授予辽宁省优秀新产品二等奖。在本届辽宁省新产品评选中，共有31项产品获得一等奖，二等奖59项。评选省
光刻技术首次绘出银纳米结构
德国柏林亥尔姆茨材料和能源研究中心与联邦材料测试与研究机构合作，首次在银材料底层上完成光刻纳米结构，为未来光计算机数据处理、新型电子器件制造开辟了新的途径。这项成果刊登在美国化学学会的《应用材料和界面》杂志上。 要想在材料表面获得精细结构图样，最佳选择是采用电子显微镜扫描技术，利用电子束在其
折叠式过滤器特点
本机体积小、重量轻、使用方便、过滤面积大、堵塞率低、过滤速度快、无污染、热稀稳定性及化学稳定性好。 此滤器能滤除绝大部分微粒，所以广泛应用于精滤和除菌工艺。 滤筒内可装有1芯、3芯、5芯、7芯、9芯、11芯、13芯、15芯等 折叠式滤芯长度有10、20、30、40 英寸 滤芯材质聚四乙烯
减震台的适用领域和工作原理
减震台适用于各种精密类仪器，作业是为仪器减少震动，从而减少测量误差，减震台是一款紧凑型有源减振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。减震台适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子
AML晶圆键合机共享应用
仪器名称：晶圆键合机仪器编号：13003988产地：英国生产厂家：AML型号：AWB-04出厂日期：201208购置日期：201303所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>封装工艺放置地点：微电子所新所一楼微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：郑瑶（010-62798268,13811
基因测序设备第一股来了！华大智造科创板IPO过会
登上月球与治愈癌症，哪个更容易？ 1949年，盖洛普对美国人进行了一项民意调查，询问他们认为在1999年前会发生哪些科学进步，有88%的人相信癌症会被治愈，却只有15%的人认为人类会在月球上行走。 结果我们都知道，仅仅20年后，1969年，美国宇航员尼尔·阿姆斯特朗就在月球上迈出了他的一小步
惠民生，促经济！2021年这些分析领域关税发生变革
部分信息技术产品最惠国税率表#aabbccdd2 td{border:1px solid #66666;} #aabbccdd2 td{border:1px solid #666666}序号税则号列信息技术产品名称2021年1月1日至 6月30日最惠国税率（%）2021年7月1日至 12月31日最惠
近3.6亿！中科院多家院属单位11月、12月仪器采购意向
近期，中国科学院院属单位发布多项仪器采购意向。本批整理中含中国科学院8家院属单位，采购预算金额共计35960.4万元，采购包括测序仪、质谱仪、显微镜、透射电子显微成像、光谱仪、激光共聚焦显微镜等仪器设备。具体采购情况以各单位发布的采购公告和采购文件为准。采购单位序号采购项目名称预算金额(万元)预计采
干福熹：突破衍射极限的研究待加强
“目前，信息技术已经进入纳米时代，其中纳米光学和光子学的发展尤为重要，例如在纳米光刻、纳米成像和纳米信息存储等信息技术中，都有很重要的应用。” 在近日于上海举行的以“突破光学衍射极限的机制及应用”为主题的第188期东方科技论坛上，中科院院士干福熹在题为《突破光学衍射极限，发展纳米光学和光子
郑永飞委员：制造业“卡脖子”非科学技术问题
“科学、技术和工程在国家经济社会建设和发展中各自发挥着不可或缺的作用。但是，在实际工作中，人们常常将三者混为一谈。”两会期间，全国政协委员、中国科学院院士郑永飞在接受《中国科学报》采访时强调，制造业中的“卡脖子”问题是工程技术问题，而非科学技术问题。 郑永飞介绍，如传统制造业中的发动机、减速器
中科院金属研究所仪器采购8台仪器设备
近日，中国政府采购网发布中科院金属研究所仪器设备采购项目招标公告，具体详情如下： 中国仪器进出口(集团)公司(采购代理机构)受中科院金属研究所委托，对下述货物及服务进行国内公开招标。现邀请合格的投标人前来投标。 1.招标编号：13CNIC03-8008 2.项目名称：中科院金属研
Nature：高分辨X射线发光扩展成像机制获解析
柔性平板探测器历来是X射线平板探测器开发的技术瓶颈，福州大学教授杨黄浩、陈秋水课题组提出了高能量X射线光子诱导缺陷产生长余辉发光的机理，打破传统X射线平板探测器的固有限制，为制备新一代柔性X射线成像设备提供了新思路和途径。2月18日，《自然》在线发表了他们的合作研究论文《高分辨X射线发光扩展成像
面临海外供应链安险－国产半导体向“专”而行－“精”益求精
至诚财经APP获悉，中金发布研究报告称，半导体产业链呈全球化分工，中国大陆以承接低附加值的封测为主，制造端上游设备、材料、EDA工具及设计等与海外技术差距仍较大，面临海外供应链安全风险。该行认为，国产替代对于中国大陆在科技领域“破局”有着举足轻重的战略意义，同时也需通过“专精”企业的研发转化帮助企
中电科二所在碳化硅激光剥离技术方面取得进展
日前，中国电子科技集团公司第二研究所宣布碳化硅激光剥离设备研发项目通过专家评审论证，正式立项、启动。 碳化硅半导体材料具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高饱和电子漂移速率、化学性能稳定等优点，对电动汽车、高压输变电、轨道交通、通讯基站、卫星通讯、国防军工等领域的发展有重要意义。然而，碳化硅材料
接近真实皮肤，东大团队研发全属性凝胶电子皮肤
近日，东南大学电子科学与工程学院教授吴俊课题组研发了一种水驱动机械性能可调的全属性凝胶电子皮肤，可以实现多信息的集成耦合。其最新成果已在国际著名学术期刊ACS Nano在线发表。据吴俊介绍，电子皮肤包括两层含义，首先要具备皮肤一样的特征，形态柔软、可拉伸等，同时也具备皮肤一样的功能，能够感知到温度、
2024中国上海国际集成电路与半导体产业展览会_材料_制造_
上海半导体展，半导体产业展，半导体设备展，上海半导体设备展，上海半导体产业展，上海集成电路展，集成电路展2024上海国际半导体产业展览会时间：2024年11月18-20日 参展咨询：021-5416 3212大会负责人：李经理 136 5198 3978地点：上海新国际博览中心展会介绍：2024上
2024半导体展｜2024上海国际半导体封装测试展览会「半导体展会」
上海半导体展，半导体产业展，半导体设备展，上海半导体设备展，上海半导体产业展，上海集成电路展，集成电路展2024上海国际半导体产业展览会时间：2024年11月18-20日 参展咨询：021-5416 3212大会负责人：李经理 136 5198 3978地点：上海新国际博览中心展会介绍：2024上
151万！广西师范大学凝聚态物理科研设备采购项目发布！
近日，广西师范大学发布了凝聚态物理科研设备采购项目，计划以151万元预算采购无掩模板紫外光刻机、气相色谱仪等仪器。详情如下： 一、项目基本情况 项目编号：GXZC2022-J1-002004-GXJX 项目名称：广西师范大学凝聚态物理科研设备采购项目 采购方式：竞争性谈判 预算总金额（元）
「半导体展会」2024上海国际半导体技术设备展览会官网
上海半导体展，半导体产业展，半导体设备展，上海半导体设备展，上海半导体产业展，上海集成电路展，集成电路展2024上海国际半导体产业展览会时间：2024年11月18-20日 参展咨询：021-5416 3212大会负责人：李经理 136 5198 3978地点：上海新国际博览中心展会介绍：2024上
让摩尔定律一再放缓－晶圆厂的cycle－time是什么？（一）
从平面器件到finFET的转变使得芯片制造商能够将工艺和器件从16nm/14nm向更密集的方向发展，但是行业在每个节点处都面临诸多挑战。成本问题和技术问题都是明显的挑战。此外，cycle time也在逐渐增加，这是芯片尺寸缩小公式中的一个关键但很少宣传的因素，这为芯片制造商和客户带来了更多
坐标上海，事业编！“双一流”高校招聘近百人
上海大学微电子学院成立于2019年11月，坐落于上海大学嘉定校区，为上海大学与上海微技术工业研究院、中国科学院上海分院、集成电路全产业链创新企业共建，积极探索新机制，集聚社会优质资源，打造国际领先的集成电路泛摩尔人才培养高地。微电子学院前身是1958年嘉定校区成立的半导体器件与物理专业，历经60年发
中国电子设备展|2024上海国际单晶炉展览会「点击咨询」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间： 2024年11月18-20日 地点： 上海新国际博览中心主办：中国电子器材有限公司协办：香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景：电子