光刻机的曝光度
a.接触式曝光(Contact Printing):掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接触式,根据施加力量的方式不同又分为:软接触,硬接触和真空接触。1.软接触 就是把基片通过托盘吸附住(类似于匀胶机的基片放置方式),掩膜盖在基片上面;2.硬接触 是将基片通过一个气压(氮气),往上顶,使之与掩膜接触;3.真空接触 是在掩膜和基片中间抽气,使之更加好的贴合(想一想把被子抽真空放置的方式)软<硬<真空 接触的越紧密,分辨率越高,当然接触的越紧密,掩膜和材料的损伤就越大。缺点:光刻胶污染掩膜板;掩膜板的磨损,容易损坏,寿命很低(只能使用5~25次);容易累积缺陷;上个世纪七十年代的工业水准,已经逐渐被接近式曝光方式所淘汰了,国产光刻机均为接触式曝光,国产光刻机的开发机构无法提供工艺要求更高的非接触式曝光的产品化。b.接近式曝光(Proximity Printing):掩膜板与光刻......阅读全文
2024电子制造设备展会|2024中国上海开关和控制继电器制造设备博览会「官网」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
电真空器件展|2024年上海电真空器件展览会
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
上海元器件成型设备展会|2024上海国际电子制造设备展览会
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
中国电子设备展|2024上海国际电子元件及机电组件生产设备展览会「点击咨询」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
2024上海集成电路生产设备展2024年11月1820日
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
贴片机展|2024年上海印刷机展览会
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
2024上海光刻胶展「2024中国大型光刻胶博览会」
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
2024上海磁性材料及器件设备展2024年11月1820日
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
2024上海国际电子元件及机电组件生产设备展【亚洲半导体第一大展】
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
2024上海半导体材料展「2024中国大型氧化设备博览会」
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
2024电子制造设备展会|2024中国上海电子元件及机电组件生产设备博览会「官网」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
上海点胶设备展会|2024上海国际电子制造设备展览会
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
2024上海国际线束线缆加工设备展【亚洲半导体第一大展】
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
欢迎来到2025中国(深圳)光学仪器及设备展览会
2025深圳国际电子生产设备展览会时间:2025年4月9日-11日 地 点:深圳会展中心(福田)指导单位:中华人民共和国工业和信息化部、广东省工业和信息化厅、深圳市工业和信息化局主办单位:中国电子器材有限公司、中电会展与信息传播有限公司执行机构:中电会展与信息传播有限公司参展范围1、电子元件及机电组
2024电子制造设备展会|2024中国上海线束线缆加工设备博览会「官网」
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半导体器件展丨2024上海半导体器件展览会「电子展」「官网11月1820日」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
半导体展会2024上海半导体展|半导体设备展|2024半导体材料展
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
中国电子设备展|2024上海国际磁性材料及器件设备展览会「点击咨询」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
2024上海半导体材料展「2024中国大型装片机博览会」
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
电子制造设备展会|2024上海印制电路板生产设备展览会「上海电子制造设备展」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
2024第14届上海国际开关和控制继电器制造设备展览会
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
欢迎来到2025中国(深圳)原子力显微镜展览会
2025深圳国际电子生产设备展览会时间:2025年4月9日-11日 地 点:深圳会展中心(福田)指导单位:中华人民共和国工业和信息化部、广东省工业和信息化厅、深圳市工业和信息化局主办单位:中国电子器材有限公司、中电会展与信息传播有限公司执行机构:中电会展与信息传播有限公司参展范围1、电子元件及机电组
2024第14届上海国际半导体器件及集成电路生产设备展览会
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
电子展|上海电子展|半导体封测展|电子制造展|SMT展|PCBA展
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
欢迎来到2025中国(深圳)电真空器件展览会
2025深圳国际电子生产设备展览会时间:2025年4月9日-11日 地 点:深圳会展中心(福田)指导单位:中华人民共和国工业和信息化部、广东省工业和信息化厅、深圳市工业和信息化局主办单位:中国电子器材有限公司、中电会展与信息传播有限公司执行机构:中电会展与信息传播有限公司参展范围1、电子元件及机电组
中国电子设备展|2024上海国际开关制造设备展览会「点击咨询」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
欢迎来到2025中国(深圳)封装检测展览会
2025深圳国际电子生产设备展览会时间:2025年4月9日-11日 地 点:深圳会展中心(福田)指导单位:中华人民共和国工业和信息化部、广东省工业和信息化厅、深圳市工业和信息化局主办单位:中国电子器材有限公司、中电会展与信息传播有限公司执行机构:中电会展与信息传播有限公司参展范围1、电子元件及机电组
电子制造设备展会|2024上海传感器制造设备展览会「上海电子制造设备展」
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子
CVD/PVD-设备展|2024年上海CVD/PVD-设备展览会
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
2024第14届上海国际IC-制造设备展览会
2024上海国际电子制造设备展览会 时间: 2024年11月18-20日 地点: 上海新国际博览中心主办:中国电子器材有限公司协办:香港贸易发展局 台湾区电机电子工业同业公会 韩国电子产业振兴会 日本电子展协会 中国电子元件行业协会展会背景:电子