氦质谱检漏器的主要性能指标
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。 2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后,电子系统和真空系统需要一定的响应时间,漏率指示器可以达到较大值,漏率指示器不能立即恢复到零,需要一定时间下降,通常由于氦的吸附和解吸,去除时间略长于响应时间。 3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间......阅读全文
氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见方法
石家庄安瑞科气体机械有限公司 作者:苏桂玲 介绍两种生产上常用的氦质谱检漏仪检漏方法: 氦罩法和喷吹法。1、氦罩法 氦罩法是用一个检验罩把被检件包起来, 检漏时先排除罩内空气, 然后充入100kPa的氦气。当检漏仪输出指示
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
氦质谱检漏仪检漏时的误差来源有哪些
氦质谱检漏是一种灵敏度很高且常用的检漏技术。螺杆真空泵厂家已经介绍过氦质谱检漏仪,这次我们来了解下氦质谱检漏时的误差来源有哪些,以便更好地降低或消除测量误差。氦质谱检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:第一,氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法,用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速,在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,其旋转半径
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可
氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
1、负压法检漏 负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。 根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子,比如管壳的检漏。检漏仪正常工作后
氦质谱检漏仪的技术参数
1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间:≤5min 4. 响应时间:≤1s 5. 检漏口的最高压力:1500Pa 6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A 7. 工作环境:5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏仪的性能相关介绍
①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的
氦质谱检漏仪的概念是什么
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷
氦质谱检漏仪的注意事项
1.设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。 2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。 3.因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上,由近而远的顺序进行。 4.检漏过程中,如发现大量氦气进人质谱检漏仪,应立即移去
简介氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度:5~35℃ 相对湿度:
氦质谱检漏仪的结构-(技术贴)
氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中,如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪的应用领域
(1)航空航天高科技工业 例如火箭发动机及姿态发动机,过去是打压刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏,采用正压吸枪与氦罩法结合,使检漏灵敏度大大提高,从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法
氦质谱检漏仪的发展史
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。 集中体现在如下几个方面: (1)便携式:最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 (2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益
氦质谱检漏仪的技术指标
1. 最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间:≤5min 4. 响应时间:≤1s 5. 检漏口的最高压力:1500Pa 6. 电源要求:220v,50Hz,单相,10A 7. 工作环境:5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的发展及其应用
氦质谱检漏仪的发展及其应用目前氦质谱检漏仪的发展及其应用在科学技术的不断发展的时代,氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5min 响应时间:
继电器的氦质谱背压法检漏
目前军用密封继电器的漏率检测主要依据是GJB 360A - 96的112实验程序。在GJB 360A - 96的112实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤,其中检漏步骤分为细检漏和粗检漏。本文介绍的背压法检漏是其中的细检漏,粗检漏不属于本文的讨论范围。继电器的背压法检漏 背压法检
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5min 响应时间:
氦质谱检漏仪的发展及其应用
在科学技术的不断发展的时代,氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1、氦质谱检漏仪的进展经过
氦质谱检漏仪的进展及其应用
在科学技术的不断发展的时代,氦质及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1.氦质谱检漏仪的进
氦质谱检漏仪六种常见氦检方法
检漏与现代工业生产、维修、科研等领域密不可分,传统的检漏有泡泡检漏(Bubble Test)、压差检漏等,但这些方法有许多局限性和不足,如精度差、效率低等。氦检(Helium Leak Test)作为国际公认精度最高的测漏方法,已广泛应用于真空领域。上海伯东依据大量客户实际应用总结出常见六种
氧化锌避雷器密封性能的氦质谱检漏
氧化锌避雷器是七十年代发展起来的一种新型避雷器,它主要由氧化锌压敏电阻构成。每一块压敏电阻从制成时就有它的一定开关电压(叫压敏电压),在正常的工作电压下(即小于压敏电压)压敏电阻值很大,相当于绝缘状态,但在冲击电压作用下(大于压敏电压),压敏电阻呈低值被击穿,相当于短路状态。然而压敏电阻被击后,
氧化锌避雷器密封性能的氦质谱检漏
氧化锌避雷器是七十年代发展起来的一种新型避雷器,它主要由氧化锌压敏电阻构成。每一块压敏电阻从制成时就有它的一定开关电压(叫压敏电压),在正常的工作电压下(即小于压敏电压)压敏电阻值很大,相当于绝缘状态,但在冲击电压作用下(大于压敏电压),压敏电阻呈低值被击穿,相当于短路状态。然而压敏电阻被击后,是可
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备,热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉), 掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备
深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始,氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展,使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始,到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及
氦质谱检漏仪试验方法研究
在生产生活中,我们往往通过密封元器件的方式,来避免事先充入的保护气体外漏,同时防止外部的有害气体漏入。但是,想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的,因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属,只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见,密封对电子元器件的重要性不言而喻,