简介氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理,以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡,与室内气体碰撞,氦气泄漏进入室内,电离成正离子,正离子在加速电场的作用下进入人体磁场,当洛伦兹力效应偏转时,电弧形成,加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。 氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。 氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时,氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后,由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力,因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上,通过标准的泄漏量比较,可以得到氦气的泄漏量。 根据氦气储气库位置与样品的不同关系,氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法,总结了这4种氦质谱法......阅读全文
简介氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理,以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡,与室内气体碰撞,氦气泄漏进入室内,电离成正离子,正离子在加速电场的作用下进入人体磁场,当洛伦兹力效应偏转时,电弧形成,加速电压的变化
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高,用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是: 检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪( Helium Mass Spectrometer Leak Detector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将
氦质谱检漏仪简介
氦气检漏仪是氦质谱检漏仪((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗称,运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室,使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后,不同质荷比的离子在场中彼此分开,而相同质荷比的离子在场中汇聚在一
氦质谱检漏仪原理
一、为什么要检漏泄漏和密封相对应很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气
氦质谱检漏仪工作原理
由于氦气分子颗粒小,渗透性好,而且氦质谱检漏仪对氦气敏感,所以微漏也能检出来
氦质谱检漏仪工作原理
由于氦气分子颗粒小,渗透性好,而且氦质谱检漏仪对氦气敏感,所以微漏也能检出来
氦质谱检漏仪工作原理
第二炮兵工程学院 作者:孙开磊 氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气,用质谱检漏仪在不腔体外,不同部位检测,如果密封存在问题,则有氦气泄漏,被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪,对分辨率和检测的质量范围要求很低,但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气,用质谱检漏仪在不腔体外,不同部位检测,如果密封存在问题,则有氦气泄漏,被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪,对分辨率和检测的质量范围要求很低,但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
介绍氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪原理: 氦质谱检漏仪是基于质谱法原理,以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡,与室内气体碰撞,氦气泄漏进入室内,电离成正离子,正离子在加速电场的作用下进入人体磁场,当洛伦兹力效应偏转时,电弧
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气,用质谱检漏仪在不腔体外,不同部位检测,如果密封存在问题,则有氦气泄漏,被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪,对分辨率和检测的质量范围要求很低,但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液
氦质谱检漏仪的氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质
氦质谱检漏仪氦质谱检漏方法描述
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
简介氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度:5~35℃ 相对湿度:
氦质谱检漏仪工作原理与结构
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以HZJ—l型仪器为例.介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。 在质谱室内有:由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器;由
氦质谱检漏仪单位
氦质谱检漏仪单位是kg。氦质谱检漏仪、为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。
氦质谱检漏仪测定漏率型简介
1、充氦法 充氦法也称负压法 ,一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐,将被检零件装入一个气室,开始关闭氦气罐阀门,机械泵把气室先抽成真空,然后关闭真空泵阀门,打开氦气罐阀门给气室充氦,并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙,氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开,取出被检器件,用压缩空气
简介氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏仪查漏原理及其应用
1、氦质谱检漏仪查漏原理 氦质谱检漏是一种精度很高的不停机查漏方法,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境) 、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。以日本的HEL IOT- 303AS氦质谱查漏仪进行真空系统查漏为例,其连接图见图1。图1 真空系统查漏连接图
氦质谱检漏仪查漏原理及其应用
湖北省电力试验研究院 作者:高满生 介绍了氦质谱检漏仪查漏的原理,通过分析湖北省内3台机组真空系统氦质谱检漏仪查漏的情况及真空状况的改善,指出提高汽轮机真空,是提高机组运行经济性和出力,实现节能
深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中,如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪的介绍
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦质谱检漏仪热管检漏
热管需要检漏原因: 热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能,如果热管本身存在漏点,首先会影响热管的导热性能;其次由于热管都是安装在设备内部,如果发生泄漏,里面封装的液体就会流出,严重污染和影响设备的正常运转,所以热管生产企业,都会采用氦质谱检漏仪对热管进行检漏。 热管检漏方法: 该企业热管
氦质谱检漏仪的介绍
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦质谱检漏仪产品介绍
氦质谱检漏仪利用磁偏转原理制成的、对示漏气体氦反应灵敏的、用于检漏的质谱仪。氦质谱检漏仪气体工业名词术语,用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体
氦质谱检漏仪的优点
(1)便携式:很多小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 (2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。 (3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制
氦质谱检漏仪是什么?
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏