氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分
氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离,电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场,离子束在磁场力的作用下,旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极,此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后,经小电流放大器、微处理器,控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。......阅读全文
氦质谱检漏仪的发展史
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。 集中体现在如下几个方面: (1)便携式:最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 (2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益
氦质谱检漏仪的发展及其应用
在科学技术的不断发展的时代,氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定:一方面,检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身的更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1、氦质谱检漏仪的进展经过
简介氦质谱检漏仪的使用环境
环境温度:5~35℃ 相对湿度:
氦质谱检漏仪的注意事项
1.设备应在施工工作完成后进行本测试,测试完成后不得进行焊缝的修磨等。 2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。 3.因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上,由近而远的顺序进行。 4.检漏过程中,如发现大量氦气进人质谱检漏仪,应立即移去
氦质谱检漏仪的概念是什么
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷
氦质谱检漏仪的应用领域
(1)航空航天高科技工业 例如火箭发动机及姿态发动机,过去是打压刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏,采用正压吸枪与氦罩法结合,使检漏灵敏度大大提高,从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法
氦质谱检漏仪的简析及使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析: 1、为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散。 2、另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状
氦质谱检漏仪六种常见氦检方法
检漏与现代工业生产、维修、科研等领域密不可分,传统的检漏有泡泡检漏(Bubble Test)、压差检漏等,但这些方法有许多局限性和不足,如精度差、效率低等。氦检(Helium Leak Test)作为国际公认精度最高的测漏方法,已广泛应用于真空领域。上海伯东依据大量客户实际应用总结出常见六种
氦质谱检漏仪常用检漏仪检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。 一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪要注意经常校准
年泄漏率大的标准漏孔,要注意经常校准。如果发现异常,要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测,都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔,对温度特别敏感。温度每变化1℃,标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如,夏天,室温达到30℃,这种标准漏孔的漏率误差增加30%。 高压强
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
兰州物理研究所 作者:赵澜 目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等,这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用,刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因:镀膜机需要在高真空环境下工作,真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪现场校准方法研究
目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学
SFJ211型氦质谱检漏仪
产品介绍:SFJ-211型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口,性能稳定可靠。它不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换,达到目前国际上先进水平。主要技术指标:最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s漏率显示范
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等,这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用,刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因:镀膜机需要在高真空环境下工作,真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪杜瓦瓶检漏
杜瓦瓶由不锈钢内胆、外胆,高真空绝热夹层、内置式汽化器、阀门管路系统等组成,用于储存和使用低温液化气体产品(液氮、液氧、液氩、液化天然气、液态二氧化碳)并能自动提供连续的气体,该产品具有以下优点:1.储气量大;2.使用、储存压力低、安全性好、无高压爆炸危险;3.外表美观、洁净卫生,无充装、环境污染;
氦质谱检漏仪试验方法研究
在生产生活中,我们往往通过密封元器件的方式,来避免事先充入的保护气体外漏,同时防止外部的有害气体漏入。但是,想要无限期的防止外界有害气体漏入是难以实现的,因为平常我们所使用的气密封装材料包括玻璃、陶瓷或者金属,只能通过冲入氮气的方式来避免出现污染现象。由此可见,密封对电子元器件的重要性不言而喻,
氦质谱检漏仪工作原理与结构
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 ①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 现以HZJ—l型仪器为例.介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。 在质谱室内有:由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器;由
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中
氦质谱检漏仪性能试验方法
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高,用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在
氦质谱检漏仪发展历程及其应用
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年,一次世界大战期间,欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏,并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作,直到1941年,当时正处于第二次世界大战期中。当时,科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪性能试验方法
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于最佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备,热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉), 掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备
深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始,氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展,使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始,到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及
氦质谱检漏仪的真空压力法检漏
检漏仪检漏的原理有两种方式可以检测出泄漏:1. 示踪气体 A 放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,容器周边是否有气体 A,如果容器外有气体 A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面,用仪器去
简介氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
关于氦质谱检漏仪的发展相关介绍
1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。 2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。 3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次