离子束加工跟等离子体加工的原理有何不同
1、离子束加工的基本原理 所谓离子束抛光，就是把惰性气体氩、氮等放在真空瓶中，用高频电磁振荡或放电 等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用 5 千至 10 万伏高电压对这些正离 子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能 量密度离子流， 在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工 件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法对工件表面进行深度从 100 埃到 10 微 米左右的精密加工。 2、等离子体加工的基本原理 等离子体加工又称为等离子弧加工，是利用电弧放电使气体电离成过热的等离子气 体流束，靠局部熔化及气体去除材料的。等离子体又被成为物质的第四种状态。 等离子体是高温电离的气体，它由气体原子或分子在高温下获得能量电离之后，理 解成带正电荷的离子和带负电荷的自由电子，整体的正负离子数目和正负电荷仍相等， 因此称为等离子体，具有极高的能量密度。......阅读全文
聚焦离子束显微镜(FIB)机台和测试方法简介
工作原理聚焦离子束显微镜(FIB)的利用镓(Ga)金属作为离子源，再加上负电场 (Extractor) 牵引尖端细小的镓原子，而导出镓离子束再以电透镜聚焦，经过一连串可变孔径光阑，决定离子束的大小，再经过二次聚焦以很小的束斑轰击样品表面，利用物理碰撞来进行特定图案的加工，一般单粒子束的FIB(Sin
中科院离子束诱变技术破解水稻秸秆还田难题
农作物秸秆还田利用一直是困扰农业生产的难题。中科院合肥物质研究院专家利用离子束诱变技术，改变水稻茎秆细胞结构，使之在田间脆而不易倒伏，成熟收获时普通收割机耕过，这种“脆秆”随即“粉身碎骨”，就地还田肥地。 农作物秸秆还田可以让氮、磷等有效营养元素返回土壤，提高土壤肥力。但由于作物秸秆柔韧，
碳离子束辐照诱变大豆效应及育种研究获进展
重离子束是一种新型育种诱变剂，相比于其他诱变源，重离子具有较高的传能线密度（Linear Energy Transfer，简称LET）和生物学效应（Relative Biological Effectiveness，简称RBE），可以在较高的存活率下获得相对较高的突变率和较宽的突变谱，由此创造优
清华大学仪器共享平台Gatan－离子束镀膜刻蚀系统
仪器名称：离子束镀膜刻蚀系统仪器编号：14012804产地：美国生产厂家：Gatan型号：682出厂日期：201308购置日期：201407样品要求：尺寸要求：最大尺寸直径32mm、高度10mm样品其他要求：真空下不能有挥发物。所属单位：材料学院>材料中心 >电镜中心放置地点：主楼11-127固定电
碳离子束辐射对拟南芥基因组诱变效应研究获进展
重离子辐射诱变育种是植物品种改良的重要手段，辐射诱变效应及分子机制的研究是涉及多学科交叉的重要共性课题。目前，对重离子辐射诱变效应的研究集中在表型、染色体畸变、遗传物质多态性及特定基因序列分析等方面，而分子水平的突变特征研究仍相对薄弱，欠缺全基因组水平大视角、多方位及大样本量数据支持。 中国科
氩离子束抛光系统消除您的实验室苦恼
氩离子束抛光系统是在Gatan公司经典的691离子减薄仪技术上发展而来。它的问世改变了此前人们用手动或机械研磨的方法对样品进行研磨抛光的局限性。 氩离子抛光系统采用两支具有低能聚集的小型潘宁离子枪，可提供快速柔和的抛光效果。低至100eV的离子束提供更柔和的抛削效果，用于样品的终极抛光。新
离子束加工跟等离子体加工的原理有何不同
1、离子束加工的基本原理 所谓离子束抛光，就是把惰性气体氩、氮等放在真空瓶中，用高频电磁振荡或放电 等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用 5 千至 10 万伏高电压对这些正离 子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能 量密度离子流， 在计算机的控制
东方超环中性束注入系统成功引出3兆瓦离子束
近日，中科院合肥物质科学研究院等离子体所承担的大科学工程“东方超环”（EAST）辅助加热中性束注入系统（NBI）兆瓦级强流离子源分别完成了氢离子束功率3兆瓦（MW）、脉冲宽度毫秒500（ms）的高能量离子束引出实验，以及束功率1MW、脉冲宽度4s的长脉冲离子束引出实验。本轮实验获
聚焦离子束技术使电镜分析从二维走向三维
人类对于微观世界的认知有着漫长的历史。自300年前第一台显微镜问世以来，人们便开启了探索微观世界的大门。随着科学技术的发展，光学显微镜、透射电子显微镜和扫描电镜逐渐作为工具被人们熟知，并且，应科学发展的需求，各项技术均在不断的创新与发展。如今，作为材料分析的重要工具，电镜技术已广泛应用于材料、化工、
估计600万！东北大学本级采购聚焦离子束扫描电镜
近日，东北大学本级发布《东北大学本级聚焦离子束扫描电镜（进口）公开招标公告》，预计花费6000000.00元采购聚焦离子束扫描电镜（进口）。详细信息如下： 一、项目基本情况 项目编号：DDZK202303 项目名称：聚焦离子束扫描电镜（进口） 预算金额：600.0000000 万元（人民币）
“高能离子束与物质相互作用的微观机理研究”总结会召开
总结会现场 国家重点基础研究发展计划(973)项目“高能离子束与物质相互作用的微观机理研究”中期总结会，于7月23日在陕西杨凌召开。会议由中国科学院近代物理研究所主办，来自国内高等学校和科研院所9家单位的40多位专家、学者参加了会议。 该项目首席科学家肖国青研究员致欢迎
中科院重离子束辐射生物医学重点实验室开放课题
关于申请2016年度中国科学院重离子束辐射生物医学重点实验室开放课题的通知 中国科学院重离子束辐射生物医学重点实验室2016年度开放课题申请现已开始，欢迎国内外科研人员申请课题。 申请者请查阅附件中的“开放课题申请指南”和“开放课题管理办法”，下载“开放课题申请表”。 “开放课题申请表”纸质一
离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜的研究
本文利用超高真空离子束辅助沉积技术在Si(100)基底上设计合成ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜。利用表面轮廓仪和纳米力学测试系统研究薄膜的机械性能,包括表面硬度、弹性模量以及薄膜与基底的附着力;还通过X射线衍射(XRD),俄歇电子能谱仪(AES)和扫描电子显微镜(SEM)等分析手
1300万！厦门大学采购聚焦离子束扫描电子显微镜
项目概况 厦门大学化学化工学院聚焦离子束扫描电子显微镜 招标项目的潜在投标人应在网页免费下载：https://ztbzx.xmu.edu.cn/info/1172/23883.htm获取招标文件，并于2023年12月20日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编
973项目“高能离子束与物质相互作用的微观机理研究”
研讨会会场 国家重点基础研究发展计划(973)项目“高能离子束与物质相互作用的微观机理研究”2012年度进展研讨会，于8月18日至20日在大连理工大学召开。来自北京大学、清华大学、北京师范大学、大连理工大学、山东大学、中科院近代物理所、中科院上海应用物理所、中科院微系统
X射线能谱分析法测定重离子束注入小麦种子的深度
用110 keV Fe1+离子束对小麦种子进行注入处理,以扫描电镜-X射线能谱分析法测定Fe1+离子的注入深度。测定结果表明:Fe1+离子虽已进入种皮,但未达到胚部,最大注入深度为72μm。
动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜的俄歇电子能谱研究
本文介绍的动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜系在不锈钢基体上进行1keV氩离子束溅射沉积铬(同时通入一定量的O),并用100keV的氩离子束或氧离子束轰击该样品。对两种离子束轰击形成的氧化铬薄膜进行了X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)和俄歇电
聚焦离子束在LiNbO_3及KTP等晶体上的亚微米刻蚀研究
正聚焦离子束(focused ion beam,简写FIB)是一个微纳加工和观察分析设备。在强电场下金属离子溢出液态离子源,形成束流,经光圈限束、加速、聚焦、象散校正、偏转,打到样品指定点上。利用其溅射效应,FIB可用于样品表面亚微米尺寸的刻蚀,控制其扫描路径可以在无掩模下刻蚀任意正聚焦离子
聚焦离子束显微镜在芯片设计及加工过程中的应用介绍
1.IC芯片电路修改用FIB对芯片电路进行物理修改可使芯片设计者对芯片问题处作针对性的测试,以便更快更准确的验证设计方案。 若芯片部份区域有问题,可通过FIB对此区域隔离或改正此区域功能,以便找到问题的症结。FIB还能在最终产品量产之前提供部分样片和工程片,利用这些样片能加速终端产品的上市时间。利用
泰斯肯中标吉林大学聚焦离子束电镜光谱制样联用系统
分析测试百科网讯 近日，吉林大学聚焦离子束电镜光谱制样联用系统（JLU-ZC19100）招标采购项目评标工作已结束，功能扩展性要求投标产品可扩展安装飞行二次质谱仪（TOF-SIMS）或拉曼光谱单元（需提供证明文件及至少两名国内用户）。此次采购共计1套，中标品牌：TESCAN SOLARIS，中标
聚焦离子束技术可为客户解决的产品质量问题及注意事项
可为客户解决的产品质量问题：（1）在IC生产工艺中，发现微区电路蚀刻有错误，可利用FIB的切割，断开原来的电路，再使用定区域喷金，搭接到其他电路上，实现电路修改，最高精度可达5nm。（2）产品表面存在微纳米级缺陷，如异物、腐蚀、氧化等问题，需观察缺陷与基材的界面情况，利用FIB就可以准确定位切割，制
徕卡EM－TIC3X三离子束切割抛光仪在地质样品中的应用
用于扫描电镜分析的地质样品有油页岩、煤层、矿石、土壤和沉积物等多种类型，而对这些样品进行制样处理的主要操作就是获得一个无损伤的平整面。机械切割和机械磨抛很难避免处理过程中造成样品的微观组织破坏和磨料污染现象。特别是在扫描电镜高放大倍数的形貌观察下，地质样品的微观结构破坏非常明显，如下图1所示：图1.
物理所基于聚焦离子束技术构建三维纳米结构研究获进展
作为信息社会进步基础的微电子器件与电路的发展历程突出表现为小型化、高密度和多功能化的趋势。当平面器件的发展遇到技术与理论上的瓶颈时，三维立体器件与电路成为必然的发展方向。三维器件与电路不仅体积小、集成度高, 更重要的是三维结构的引入使之具有更优越的性能、更新颖的效应，以及更广泛的功能。因此，
近物所用重离子束诱变育种技术选育出药材和甜高粱新品种
中科院近代物理研究所生物物理组科研人员与定西市旱作农业科研推广中心合作，对中药材党参和黄芪进行了诱变育种。经过兰州重离子加速器提供的碳离子束对药材进行诱变处理，旱农中心科研人员筛选，得到了性状稳定、药用价值高的药材新品种“渭党3号”和“陇芪3号”，通过了甘肃省农作物品种审定委
石油地质勘探：电镜制样解决方案
SEM样品制备流程 TEM样品制样流程 应用实例砂岩样品，离子束切割，放大倍数300倍 砂岩样品，离子束抛光，放大倍数500倍 油页岩样品，离子束切割，放大倍数80倍 油页岩样品，离子束抛光，放大倍数12000倍 油页岩样品，离子束切割，放大倍数40000倍 油页岩样品，离子束切割，放大倍数
实验室分析仪器ICPMS离子流的动力学特征
离子锥通过截取锥，在接口室与离子透镜系统之间压差的作用下，迅速膨胀，膨胀过程受气体动力学而非电动力学控制。主要原因之一为离子采样过程中，因德拜波长比双锥锥孔小，离子束与锥孔之间静电作用弱，同时离子之间的相互作用较小。因此离子束通过接口区域时，其组分完整性得以保持。受透镜低压影响，电子从离子束中扩散。
转荷型和溅射型负离子源的介绍
1、转荷型负离子源 利用正离子束转荷产生负离子的装置。正离子束与固体物质表面相互作用，或通过气体靶俘获电子就能转化成负离子束。正离子束可以由小型双等离子体离子源提供。如果采用高频离子源，只要把引出电极的孔道加长，就能得到负离子束。 2、溅射型负离子源 用正离子束去轰击工作物质，就能得到该种
束流收集器的束流位置测量系统
概述兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSR)由主环(CSRm)和实验环(CSRe)组成,每个环有一套电子冷却装置。电子冷却是通过以相同平均速度运动的离子束与强流电子束的库仑碰撞将离子束的横向振荡与纵向振荡能量转移到电子束,从而降低储存环中离子束横向发射度和纵向动量散度、提高束流品质目的的方法
叙述离子源的应用介绍
① 离子掺杂与离子束改性 从20世纪60年代开始，人们将一定量的硼、磷或其他元素的离子注入到半导体材料中，形成掺杂。掺杂的深度可用改变离子的能量来控制；掺杂的浓度可通过积分离子流强度来控制。离子注入方法的重复性、可靠性比扩散法好。离子注入掺杂在半导体大规模集成电路的生产中已成为重要环节，用离子
原位电性能测试
聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。目前商用系统的离子束为液相金属离子源，金属材质为镓(Ga)，因为镓元素具有低熔点、低蒸气压及良好的抗氧化力；典型的离子束显微镜包括液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦测器、5