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人类对于微观世界的认知有着漫长的历史。自300年前第一台显微镜问世以来，人们便开启了探索微观世界的大门。随着科学技术的发展，光学显微镜、透射电子显微镜和扫描电镜逐渐作为工具被人们熟知，并且，应科学发展的需求，各项技术均在不断的创新与发展。如今，作为材料分析的重要工具，电镜技术已广泛应用于材料、化工、医学、生物等多个领域。整体而言，电镜技术发展到今天，在技术上获得极大的发展，主要表现在几个方面，来自武汉大学电子显微镜中心主任王建波对此进行了简单介绍：第一，核心技术空间分辨率越来越高，借助辅助的技术手段，已经可以提供多尺度和多维度的信息；第二，计算机技术介入电镜领域，带来速度上的飞跃。正是结合了计算机技术，漂移校正变得简单，数据处理、记录、转移等方面速度变快，大大提高了分析的速率；第三，多种新型探测技术如CMOS等技术的出现，使电镜技术的动态响应范围、分析速度等获得革命性提高；第四，电场、光场、力场等外场技术的联用，可联合表征某些曾......阅读全文
纳米科技是当今国际上的一个热点。纳米测量学在纳米科技中起着信息采集和分析的不可替代的重要作用，纳米加工是纳米尺度制造业的核心，发展纳米测量学和纳米加工的一个重要方法就是电子束，离子束技术。近年来发展起来的聚焦离子束纳米加工系统用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，结合扫描电子显微镜实时观察，开辟了从
1.引言 随着纳米科技的发展，纳米尺度制造业发展迅速，而纳米加工就是纳米制造业的核心部分，纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束（FIB）技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工，配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显
概述兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSR)由主环(CSRm)和实验环(CSRe)组成,每个环有一套电子冷却装置。电子冷却是通过以相同平均速度运动的离子束与强流电子束的库仑碰撞将离子束的横向振荡与纵向振荡能量转移到电子束,从而降低储存环中离子束横向发射度和纵向动量散度、提高束流品质目的的方法
现代半导体制造业迅速发展，对产品的质量要求越来越高，对相关的微分析技术的要求也越来越高。除了IC 制造以外，纳米结构在新元件上应用越来越多，特别是纳米光子和纳米光学。聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB）系统是在常规离子束和聚焦电子束系统研究的基础上发展起来的，除具有扫描电子显微镜具
聚焦离子束(FIB)是一种微纳米加工技术，其基本原理与扫描电子显微镜(SEM)类似，采用离子源发射的离子束经过加速聚焦后作为入射束，高能量的离子与固体表面原子碰撞的过程中可以将固体原子溅射剥离，因此，FIB更多的是被用作直接加工微纳米结构的工具。结合气体注入系统(GIS)，FIB可以辅助进行化学气相
现代微束分析技术的进步，一方面，显著提高了分析精度，它甚至可以达到采用化学法分离和纯化处理后的测量精度; 另一方面，显著提升了空间分辨能力，其分析束斑的大小从微米级进入亚微米或纳米级. 在离子探针方面，最新型号Cameca IMS- 1280HR以高分析精度为特色，而Cameca NanoSIMS
二次离子质谱仪原理简介二次离子质谱仪（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）又称离子探针（Ion Microprobe），是一种利用高能离子束轰击样品产生二次离子幵迚行质谱测定的仪器，可 以对固体或薄膜样品迚行高精度的微区原位元素和同位素分析。由于地学样品的复杂
聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。目前商用系统的离子束为液相金属离子源，金属材质为镓(Ga)，因为镓元素具有低熔点、低蒸气压及良好的抗氧化力；典型的离子束显微镜包括液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦
本文介绍的动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜系在不锈钢基体上进行1keV氩离子束溅射沉积铬(同时通入一定量的O),并用100keV的氩离子束或氧离子束轰击该样品。对两种离子束轰击形成的氧化铬薄膜进行了X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)和俄歇电子
聚焦离子束显微镜FIB主要用途: 芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。聚焦离子束显微镜FIB应用范围: 1.定点切割 2.穿透式电子显微镜试片 3.IC线路修补和布局验证 4.制程上异常观察分析 5.晶相特性观察分析 6.故障位置定位用被动电压反差分析。在各类应用中，以线路修补和布局验证这一
1 引 言 二次离子质谱（Secondary ion mass spectrometry, SIMS） 是目前灵敏度最高的表面化学分析的手段之一。它具有10－9量级的灵敏度, 能分析几乎所有的导体、半导体和绝缘体材料, 甚至还可以检测不易挥发的有机分子等[1～3]。通常,
氩离子抛光是一种精细抛光制样技术，在材料科学、石油地质学等领域有着非常广泛的应用，尤其对于成分、软硬度不均匀的样品有着非常好的抛光效果，且具有加工速度快、可以选择我们需要观察的位置进行定点抛光等优点。获得的纳米级的抛光截面和平面样品以便进行电子显微学的观察和分析。本次讲座，展示了氩离子抛光技术在石油
液态金属离子源离子源是聚焦离子束系统的心脏，真正的聚焦离子束始于液态金属离子源的出现，液态金属离子源产生的离子具有高亮度、极小的源尺寸等一系列优点，使之成为目前所有聚焦离子束系统的离子源。液态金属离子源是利用液态金属在强电场作用下产生场致离子发射所形成的离子源[1、2]。液
二次离子质谱（secondary ion mass spectroscopy），是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子,通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。中文名 二次离子
2013年12月24日， 2013年度北京市电子显微学年会在北京天文馆隆重召开，会上，来自中科院、北京大学、北京工业大学、北京建筑大学、钢铁研究总院等多位专家学者带来了关于电镜在教学科研、纳米材料、生物医药、探伤等方面应用的精彩报告，科扬、FEI、蔡司、布鲁克、牛津
同位素质谱最初是伴随着核科学与核工业的发展而发展起来的，同位素质谱是同位素地质学发展的重要实验基础。当前我国同位素质谱技术已深入到矿床同位素地球化学、岩石年代学、有机稳定同位素地球化学、无机稳定同位素地球化学等各个方面，并在国家一系列重大攻关和研究课题中发挥重大作用，如金矿和石油天然气研究、水资
二次离子质谱Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)1 引言:离子探针分析仪，即离子探针（Ion Probe Analyzer，IPA），又称二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrum，SIMS），是利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加
作为世界领先的离子束技术和系统制造商，牛津仪器等离子部的应用和技术团队会定期发布技术白皮书，现在最新版的离子束蚀刻白皮书已经面世。 本期白皮书由公司的离子束应用技术资深专家Sebastien Pochon博士和Dave Pearson博士执笔，全面介绍了离子束蚀刻技术并阐述了其在蚀刻工
工作原理聚焦离子束显微镜(FIB)的利用镓(Ga)金属作为离子源，再加上负电场 (Extractor) 牵引尖端细小的镓原子，而导出镓离子束再以电透镜聚焦，经过一连串可变孔径光阑，决定离子束的大小，再经过二次聚焦以很小的束斑轰击样品表面，利用物理碰撞来进行特定图案的加工，一般单粒
近期，以离子束生物工程学重点实验室余增亮、黄青研究员为通讯作者的论文“微生物油脂花生四烯酸产生菌离子束诱变和发酵调控”作为“特邀论文”，发表在《科学通报》2012年第11期上。文章介绍说，余增亮研究团队利用离子束诱变获得了富含花生四烯酸油脂的新菌株，并实现工业规模的生产，为微生物油脂产业发展探索
背景技术：传统的原子力显微镜探针是由微电子机械技术加工而成，其材料成分为硅或者氮化硅，其缺点是缺乏韧性，容易破损。本发明引入聚合物通过紫外固化、并引入金、镍纳米颗粒，使得探针既有一定硬度，亦有一定的韧性。技术实现要素：目的：为了克服现有技术的缺陷，本发明提供一种原子力显微镜探针及其制备方法，既可以增
报告会现场 中科院合肥物质科学研究院技术生物与农业工程研究所与连云港市农科院共建“连云港市离子束生物工程技术研究中心”和“中国科学院离子束生物工程学重点实验室连云港实验室”合作签字仪式于2013年1月6日在连云港举行。技术生物所所长吴跃进、国家林业局能源林研究中心主任吴丽芳研究
随着集成电路技术的不断发展，其芯片的特征尺寸变得越来越小，器件的结构越来越复杂，与之相应的芯片工艺诊断、失效分析、器件微细加工也变得越来越困难，传统的分析手段已经难以满足集成电路器件向深亚微米级、纳米级技术发展的需要。FIB技术的出现实现了超大规模集成电路在失效分析对失效部位的精密定位，是大规模集成
报告题目：GL-69系列离子减薄仪的最新进展 报告人：钢铁研究总院钢拓冶金技术研究所李树强先生 钢铁研究总院钢拓冶金技术研究所 李树强 先生 在透射电子显微学的研究领域，样品制备技术是极为重要的环节。目前用离子减薄技术制备透射电镜的薄膜样品是最为理想的方法，主要有一下几个优
二次离子质谱是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，它是通过高能量的一次离子束轰击样品表面，使样品表面的分析吸收能量而从表面发生溅射产生二次粒子，通过质量分析器收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品表面信息的图谱。它利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚
发布会同期还举行了关于日立IM4000离子研磨系统的技术介绍与现场指导。日立推出的IM4000离子研磨仪既可以对样品进行氩离子截面切割，又可以进行氩离子平面研磨，是截面样品制备和平面样品无应力抛光的理想工具。天美(中国)科学仪器有限公司应用工程师 高敞先生 天美(
三维纳米结构既可具有纳米材料与结构所赋予的量子效应、尺寸效应与表面效应等新奇物性，又可通过三维几何结构实现电声子输运与耦合、自旋极化、激子行为、波阵面调控等物性的协同调制，获得平面器件不具有的功能。目前，三维纳米结构的可控加工方法明显不足，阻碍了三维纳米器件的发展，并制约着高端纳米产业化技术的形
核工业北京地质研究院分析测试研究中心是以核能材料、放射性标准物质的制备、地质矿产和环境分析测试技术研究与服务为主的综合性检测实验室技术机构，也是核工业地质行业的仲裁分析测试实验室，是地质行业同位素分析、微束分析等领域的权威机构。 核工业北京地质研究院分析测试研究中心采购了两台特殊的质谱仪，今年
几种新型号二次离子质谱仪采用的新技术 本文简要叙述法国CAMECA公司,德国IONTOFGmbH 公司新型的NanoSIMS50 IMSWFIMSSCUITRATOFSIMSIV 型二次离子质谱的特色,着重介绍这些仪器改进过的和新增加的 仪器部件的原理、性能及功用。关键词 二次离
本记者从中科院合肥物质研究院了解到，我国新一代“人造太阳”实验装置EAST中性束注入系统（NBI）测试台近日在进行大功率离子束引出实验过程中，首次成功获得兆瓦级强流离子束。 负责这项研究工作的研究员胡纯栋介绍，EAST中性束注入系统（NBI）测试台在实验过程中，成功获得束能量5