EpiQuest真空互联分子束外延系统(金属）共享
仪器名称：真空互联-分子束外延系统(金属）仪器编号：21028618产地：日本生产厂家：EpiQuest Inc型号：RC2100Me出厂日期：购置日期：2021-11-18所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点：微电子学研究所南平房实验室108号固定电话：010-62784044固定手机：13051135063固定email：zygao@mail.tsinghua.edu.cn联系人：分类标签：微纳 半导体 薄膜技术指标：◇主腔真空： 1.5×10–10 Torr◇ 源炉数量： 8个◇ 样品台最高温度： 900 °C◇ RHEED最高电压及电流： 30 KV/1.55 A◇ 冷却方式：液氮冷屏◇ 原位束流即时监控系统，束流控制稳定度优于1%知名用户：材料学院宋成教授课题组技术团队：集成电路学院功能特色......阅读全文
EpiQuest真空互联分子束外延系统(金属）共享
仪器名称：真空互联-分子束外延系统(金属）仪器编号：21028618产地：日本生产厂家：EpiQuest Inc型号：RC2100Me出厂日期：购置日期：2021-11-18所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点：微电子学研究所南平房实验室108号固定电话：010-62784044固
EpiQuest真空互联分子束外延系统(半导体）共享应用
仪器名称：真空互联-分子束外延系统(半导体）仪器编号：21028773产地：日本生产厂家：EpiQuest Inc型号：RC2100Se出厂日期：购置日期：2021-11-18所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>真空互联放置地点：微电子学研究所南平房实验室108号固定电话：010-62784044