新闻发布|Tescan推出全新FemtoChisel飞秒激光平台,全面升级半导体样品制备流程

捷克布尔诺,2025年11月18日消息 —— Tescan 宣布推出 FemtoChisel,这是一款新一代飞秒激光平台,旨在以更高的速度、更优的精度和更稳定的重复性,为半导体样品制备带来全面升级。FemtoChisel 将在美国加州帕萨迪纳举办的 ISTFA 2025 上正式亮相。 从设备到流程:FemtoChisel 为半导体样品制备提速 FemtoChisel 面向半导体研发和失效分析领域,在这些场景中,高通量与灵活性至关重要。它将纳米级加工精度与高效智能激光处理相结合,可获得极为洁净的加工表面,并显著减少后续 FIB 抛光步骤,从而大幅缩短研究和分析周期,适用于当前乃至未来的新型半导体材料。 半导体研究和失效分析团队始终面临快速、可靠地获取不同材料层信息的压力。FemtoChisel 正是我们为解决这一难题、优化大体积半导体工作流程而推出的创新方案。它不仅是一台新设备,更是工作流程的加速器。通过结合超快飞秒激光......阅读全文

FROG频率分辨光学开关助力中红外飞秒激光器研究

MesaPhotonics的FROG以其速度快,精度高得到用户的青睐,其结果得到各大研究机构的信赖,创始人Dan是FROG算法发明人,MesaPhotonics的FROG产品结果已经在多篇论文中得到承认。固润光电是MesaPhotonics中国的代理,负责MesaPhotonics国内的技术服务。固

J100飞秒激光剥蚀进样系统的原理及应用

——来自美国劳伦斯伯克利国家实验室的顶级飞秒剥蚀产品J100飞秒激光剥蚀系统(Femoto LA)是ASI公司融汇美国劳伦斯伯克利国家实验室(Lawrence Berkeley National Laboratory)80余年激光基础理论研究成果而推出的顶级飞秒剥蚀进样系统(实际上,ASI公

上海光机所在双光束飞秒激光组束研究中取得进展

  近期,中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理实验室研究员梁晓燕课题组在基于钛宝石啁啾脉冲放大器(CPA)结构的低重频双光束相干组束研究中取得新进展,为相干组束技术在超强超短激光领域的应用提供了理论和实验指导。相关成果发表在[Optics Letters 44, 17, 4379 (2019

少周期飞秒激光脉冲相干合束技术研究取得进展

大能量的少周期飞秒激光在强场物理研究中具有重要应用价值。相干合束技术是提升该类激光能量直接且高效的方案之一,而少周期飞秒脉冲具有独特的时域特性,其相干合束的效率和稳定性易受到束间CEP差异与时间同步抖动的干扰。因此,对这两个因素的测量和控制是进行稳定高效相干合束的关键。近日,中国科学院上海光学精密机

飞秒激光可使金属具备超疏水性能-防水还能自动清洁

  无需化学涂层和其他工艺,仅仅借助激光器就能为普通金属增加防水、防锈、防冰冻和自我清洁的特性,美国罗切斯特大学的科学家日前对外公布了这项新技术。相关论文发表在1月20日出版的《应用物理学》杂志上。  负责这项研究的该校光学教授郭春雷(音译)表示,目前,绝大多数的疏水材料都依靠化工涂料来实

中红外实现飞秒激光脉冲-波长覆盖6.816.4μm波段

  扩展激光波长范围是光谱学的重要内容之一,得益于超快光学的快速发展,目前人们已产生了振荡频率覆盖从太赫兹、红外、可见、极紫外乃至X射线的相干辐射,极大地推进了光科学挑战极限的能力。特别是近年来在阿秒脉冲激光、光学频率梳、超强物理等研究中,红外飞秒激光作为取得新突破的基础和关键,引起了人们

飞秒瞬态吸收测试方案

飞秒瞬态吸收技术(Femtosecond Transient Absorption Spectroscopy, 简称FTAS)是一种强大的光学手段,用于研究物质在飞秒时间尺度内的动力学过程。该技术结合了飞秒激光脉冲和光谱学技术,能够在原子和分子层面上实时观察物质的微观结构变化。飞秒瞬态吸收技术的核心

上海光机所在飞秒拍瓦激光系统色差补偿方面取得进展

  近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室研究员朱健强课题组在飞秒拍瓦激光系统色差补偿研究方面取得进展,提出了一种能够实现对全系统色差的动态、精确预补偿方案,并在SG-II 5PW飞秒激光系统上获得了实验验证。相关研究成果发表在[Optics Express 27, 12,(

飞秒级超短脉冲激光束整形技术在美国获突破

    美国普度大学的工程专家近日在《自然光子学》网络版上宣称,他们可以对超短光脉冲的光谱性质进行精细调控,从而为制造更先进的传感器和更精密的实验室仪器、研发更高效的通讯技术奠定基础。    在高速摄影中,常使用闪光灯来将快速运动的物体(如子弹)瞬间定格。激光脉冲与闪光灯有点类似,但速度要比闪光灯快

利用三维飞秒激光光刻技术制备纳米晶体结构

  材料本身的光学性质不仅取决于其化学性质,还取决于其亚波长结构。由此而来的诸如光子晶体和超材料等,拓展了人们对于光学结构和光学材料的认识,展现出不同于自然材料的新奇现象和功能。然而,在过去的研究中,光学晶体的纳米结构集中于材料的二维表面。这是因为应力诱导的裂纹形成和传播使得高精度的三维体积加工具有

商用石墨烯飞秒光纤激光器问世-两项指标创纪录

  记者从近日在江苏泰州举行的中国石墨烯标准化论坛上获悉,泰州巨纳新能源有限公司研制的世界首台商用石墨烯飞秒光纤激光器Fiphene问世,同时创造了脉冲宽度最短(105fs)和峰值功率最高(70kW)两项石墨烯飞秒光纤激光器世界纪录。   飞秒光纤激光器的应用领域非常广阔,包括激光成像、全息光谱及

飞秒激光“刀”开辟新一代显示和存储技术新方向

飞秒激光三维直写玻璃中钙钛矿纳米晶的彩色发光图案和全息显示。(浙大供图)上世纪80年代,科学家发明了一种奇特的激光——飞秒激光,它具有超快、超强和超宽频谱的特点,现在很多眼科近视矫正手术都用到了飞秒激光。不过,飞秒激光与物质相互作用的机理错综复杂,仍然存在很多疑问,连科研人员都琢磨不透它的“脾气”。

飞秒激光多光子聚合增材制造加工精度调控研究中获进展

  近期,中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室在优化飞秒激光多光子聚合(MPP)增材制造加工精度调控研究中取得进展。科研人员利用对光刻胶中引发剂浓度的调控实现对聚合产物极限尺寸的有效控制,揭示了多光子聚合光化学反应过程中的扩散行为,相关研究成果发表在《光学材料》上。  基于飞秒激光多光子聚

412万元!吉林大学发布飞秒激光系统采购项目公告

近期,吉林大学发布《吉林大学飞秒激光系统中标公告》,相干(北京)商业有限公司中标该项目,具体信息如下:一、项目编号:GXTC-A1-22680206、[JLU-WT22256](招标文件编号:GXTC-A1-22680206、[JLU-WT22256])二、项目名称:飞秒激光系统三、中标(成交)信息

激光扫描20秒诊断疟疾

  它是对抗疟疾的武器—— 一次激光扫描便能在数秒内给出准确的诊断,并且无须划破皮肤,就像电影《星际迷航》中虚幻的三录仪。  它通过将能量以脉冲的形式注入一个人的手腕或耳垂中的血管而发挥作用。激光的波长不会伤害人体器官,但会被恶性疟原虫以血液为食所产生的废弃晶体——疟原虫色素吸收。  当晶体吸收这种

激光雷达原理秒懂

说到无人车,就不得不提到激光雷达,简称光达。在硅谷的小伙伴应该都见过光达。它就是无人车上不停旋转的那顶帽子。 特斯拉的老大Elon Musk声称,唯有特斯拉的车不需要激光雷达(lidar)。特斯拉只需用摄像头和雷达(radar)传感器,就可以做到像人眼一样观察四周路况。这真的可行吗?秒懂光达原理光达

物理所利用高对比度飞秒激光产生超强极短X射线源

  中科院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室(筹)光物理重点实验室张杰研究组的陈黎明研究员等,与日本原子力研究所合作在激光硬X射线源研究方面取得重要进展。研究成果发表在Physical Review Letters 104, 215004(2010)上。   飞秒脉冲强激光与靶物质

郑美玲团队等在飞秒激光直写三维无机纳米结构获进展

  近年来,三维(3D)无机纳米结构的精确可控制备技术是研究热点,在航空航天、微电子器件、量子芯片、太阳能电池和结构材料等领域具有重要作用。无机材料前驱物容易结晶,导致难以一次性直接制备3D无机微纳结构。激光3D打印技术是制备三维无机微结构的重要手段之一,但在制备无机微结构时,其特征尺寸和加工分辨率

物理所飞秒激光场原子分子动力学研究取得新进展

  原子或分子在强激光场中会发生电离,电离电子在激光场的驱动下有机会返回母离子并与其发生碰撞,由此产生一系列的强场效应:当电子碰撞并与母离子再结合时,它辐射高次谐波光子;当电子与母离子发生弹性碰撞时,它将从激光场中吸收更多的光子发生高阶阈上电离;当电子与母离子发生非弹性碰撞时,母离子

飞秒激光无掩膜光刻拓扑结构及细胞球浸润机制新进展

随着组织工程领域的发展,生物材料界面与细胞的相互作用及物理机制成为研究热点。生物界面的拓扑形貌可以有效调控细胞行为并影响细胞功能。而体内的一些生理过程如胚胎发育、免疫应答和组织更新与重塑等往往涉及多细胞的集体行为。肿瘤的侵袭和转移也与集体细胞的协调运动有关。细胞球作为一种体外三维细胞培养模型,具有强

物理所碳化硅晶体产生中红外飞秒激光研究获进展

  中红外激光(3-5μm)在环境监控、气体分子识别、相干断层成像、军事等领域有着重要应用,特别是近年来在高次谐波产生单个阿秒脉冲的研究中,由于周期量级中红外飞秒激光能获得更高截止能量的谐波阶次,有望获得更短的阿秒脉冲和更高的时间分辨率,因此倍受人们的青睐。但受限于激光增益介质,目前较难在室温下直接

一例飞秒激光角膜内皮移植并超声乳化人工晶状体植入...

一例飞秒激光角膜内皮移植并超声乳化人工晶状体植入术诊疗分析患者,女,75岁。因“右眼视物不清伴反复异物感1年”于2013年10月11日于我院就诊。眼部检查:右眼矫正视力0.2,左眼矫正视力0.25。右眼上方角膜透明,瞳孔区下方3 mm×3 mm区域内白色混浊,见角膜上皮大疱,对应角膜基质层水肿,后弹

飞秒强激光驱动金属丝波导螺旋波荡器产生强太赫兹辐射

            导读: 近日,中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室提出飞秒激光驱动金属丝波导螺旋波荡器新概念,与南开大学现代光学研究所合作开展实验,首次利用这一全新的波荡器方案实现了强THz辐射输出。                       在电磁波谱上,介于微波与

物理所飞秒超快激光法制备超小尺寸银纳米孔取得进展

  尽管光学衍射极限极大地限制了纳米结构的光学方法制备,但是这方面的努力和进步一直都没有停止过。在这样的进程中超快激光起到了重要的作用,“用超快制备超小结构”成为其特色。目前这方面的努力大致可以分成三类:(1)光束聚焦时以光子作为辅助,即非线性光学效应;(2)光束聚焦时以金属探针针尖作为辅助;(3)

飞秒激光与固体靶相互作用产生的硬X射线能谱测量研究

强场物理是最近几年迅速发展起来的惯性约束聚变(ICF)的研究新方向。与传统惯性约束聚变中心点火方式不同,它提出“快点火”的概念。“快点火”的许多优点显示用超短脉冲实现惯性约束聚变是有前景的,也是最经济的。根据“快点火”概念的设想,超短脉冲与等离子体相互作用产生的超热电子能有效地点燃热核燃料,所以超热

科学家观测到飞秒强激光驱动的原子核同质异能态

强激光Kr83同质异能态实验装置示意图 近日,上海交通大学张杰院士团队与复旦大学马余刚院士团队合作,首次在实验中观测到飞秒激光驱动产生的原子核同质异能态。相关研究以《飞秒泵浦时抖动电子与离子库伦碰撞所产生的同质异能态》为题,在《物理评论快报》上发表。 近年来,随着强激光技术的发展,强激光驱

“人造石墨烯”有望打开激光器应用大门

  荷兰卢森堡乌得勒支大学、德国马普学会的研究人员对传统半导体材料的纳米晶体进行了“人造石墨”的理论研究,他们认为人造石墨有潜力应用于激光器、LEDs、光伏以及电子设备。   研究人员研究了晶格周期小于10nm的结构,发现其具有传统半导体的结构特性,研究的半导体包括岩盐铅硫族化合物和闪锌矿镉硫化合

物理所成功产生中红外波段高平均功率近周期飞秒激光脉冲

  扩展激光波长范围是光谱学的重要内容之一,得益于超快光学的快速发展,目前人们已产生了振荡频率覆盖从太赫兹、红外、可见、极紫外乃至X射线的相干辐射,极大地推进了光科学挑战极限的能力。特别是近年来在阿秒脉冲激光、光学频率梳、超强物理等研究中,红外飞秒激光作为取得新突破的基础和关键,引起了人们越来越广泛

理化所飞秒激光双光子聚合水凝胶3D微结构分辨率研究

水凝胶具有类似于细胞外基质的理化性质,具备良好力学性能、自愈合能力和响应性,可用于构建组织再生的微纳米仿生结构,并提供微米尺度的表面形态来调节细胞行为,如细胞粘附、迁移或生存增殖分化因子的释放。因此,水凝胶被广泛应用于组织工程和药物递送等领域。然而,制备高精度的三维(3D)任意生物相容性水凝胶支架颇

J200飞秒激光进样系统小束斑(20ΜM)原位单点锆石同位...

J200飞秒激光进样系统-小束斑(20ΜM)原位单点锆石同位素比值准确性研究前言激光进样-电感耦合等离子体质谱分析技术(LA-ICP-MS)自上世纪80年代中后期被应用以来,逐渐成为固体微区分析领域的研究热点。此技术有效避免了酸溶、消解等复杂样品前处理带来的二次污染和可能的误差引入,真正实现了微损、