离子迁移率的应用扩展

离子迁移率谱仪，所述离子迁移率谱仪具有离子过滤器，所述离子过滤器为至少一条离子通道的形式，所述离子通道具有多个电极。施加到导电层上的随时间变化的电势使得所述过滤器选择性地允许离子种类进入。所述电势具有驱动分量和横向分量，并且在优选实施方案中，所述电极中的每一个均参与产生所述驱动电场和横向电场的分量。可以在没有漂移气流的情况下使用所述装置。本发明描述了微制造技术以制造作为谱仪的各种应用的微尺度谱仪。