针对有机半导体粉料和金属粉料蒸发温度低的特点,设计并制作了新型低温辐射式薄膜加热蒸发器,通过对有机粉料的蒸发及溅射时样片衬底的加热实验,取得了良好效果,通过观测装置,可以观测到,薄膜监控测厚仪未能反映出的10纳米薄膜厚度。其制作成本低,加热效率高,同时又提高了设备功效;是一种多功能辐射式加热器,在物理教学和相关的科研生产中有着广泛的应用前景。在真空中使固体表面(基片)上沉积一层金属、半导体或介质薄膜的工艺通常称为真空镀膜。早在19世纪,英国的Grove和德国的Plucker相继在气体放电实验的辉光放电壁上观察到了溅射的金属薄膜,这就是真空镀膜的萌芽。后于1877年将金属溅射用于镜子的生产;1930年左右将它用于Edison唱机录音蜡主盘上的导电金属。以后的30年,高真空蒸发镀膜又得到了飞速发展,这时已能在实验室只制造单层反射膜、单层减反膜和单层分光膜,并且在1939年由德国的Schott等人镀制出金属的Fairy-Perot干涉滤波片,1952年又做出了高峰值、窄宽度的全介质干涉滤波片。真空镀膜技术历经一个多世纪的发展,目前已广泛用于电子、光学、磁学、半导体、无线电及材料科学等领域,成为一种不可缺少的新技术、新手段、新方法。
液相法
(a) 溶胶-凝胶法.该方法制备纳米薄膜的基本步骤如下:首先用金属无机盐或有机金属化合
物制备溶胶,然后将衬底(如SiO2玻璃衬底等)浸入溶胶后以一定速度进行提拉,结果溶胶附着在衬底上,经一定温加热后即得到纳米微粒的膜.膜的厚度控制可通过提拉次数来控制。
液相法
(b) 电沉积法.一般Ⅱ-Ⅵ族半导体薄膜可用此法制备。
气相法
高速超微粒子沉积法(气体沉积法).基本原理是用蒸发或溅射等方法获得基本原理是:用蒸发或溅射等方法获得超微粒子,用一定气压的惰性气体作载流气体,通过喷嘴,在基板上沉积成膜.
直接沉积法是当前制备纳米薄膜普遍采用的方法,?基本原理:把纳米粒子直接沉淀在低温基片上.制备方法主要有三种:惰性气体蒸发法、等离子溅射法和辉光放电等离子诱导化学气相沉积法.基片的位置、气体的压强、沉淀速率和基片温度是影响纳米膜质量的重要因素.
2025年12月25日,全球知名分析测量仪器制造商岛津制作所(Shimadzu)正式宣布,将收购间接持有TescanGroupa.s.(以下简称“Tescan”)全部股份的GlassHoldCos.r......
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外交部发言人林剑主持例行记者会。法新社记者提问,美国贸易代表调查结果称“中国实行了不公平的措施,企图主导半导体产业”,美国拟自2027年起对中国半导体产业加征关税。中方对此有何评论?林剑表示,中方坚决......
有记者问:近期有媒体报道称,安世东莞厂的晶圆库存目前处于较低水平,开始导致包括在中国的中外汽车制造商出现芯片短缺。请问您对此有何评论?此外,上周闻泰科技与安世荷兰进行了协商,请问协商进展如何?答:我注......
根据公司官微新闻,近日,国内前沿半导体技术企业盖泽科技完成近亿元人民币战略融资。本轮融资由知名产业投资机构金雨茂物领投,老股东苏高新金控和苏创投集团共同跟投。本轮融资所得资金将主要用于现有产品的持续技......
捷克布尔诺,2025年11月18日消息——Tescan宣布推出FemtoChisel,这是一款新一代飞秒激光平台,旨在以更高的速度、更优的精度和更稳定的重复性,为半导体样品制备带来全面升级。Femto......
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当地时间2025年11月1日,美国白宫官网发布中美经贸协议情况说明书,单方面详细披露10月下旬中美元首在韩国釜山会晤达成的经贸共识,双方就农产品、关税、稀土管制、半导体供应链等明确14项具体承诺。美方......
问:近期,各界关注安世半导体相关问题,请问商务部对此有何评论?答:此前,中方已就安世半导体相关问题回应了有关记者的提问。我想强调的是,荷兰政府对企业内部事务的不当干预,导致了目前全球产供链的混乱。中国......