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近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展：通过采用遗传算法，实现了Φ200mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于±0.1%，镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1nmRMS，相关指标达到国际先进水平。相关结果在线发表于近期的Optics Letters（dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958）上。 极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻系统的核心光学元件。极紫外光刻系统需要高性能的极紫外多层膜，包括高反射率，低应力，高稳定性和高均匀性。对于极紫外光刻系统中的投影物镜，必须对镀制在其上的极紫外多层膜进行超高精度的膜厚分布控制，以便实现波长匹配和减小镀膜引起的面形误差。 该研究团队采用遗传算法，完成了磁控溅射溅射源特性参数的反演和用于控制膜厚分布的公转调速曲线的反演，避免了直接测量磁控溅射速率空间分布的繁琐过......阅读全文
近日，“极紫外（EUV）光刻关键技术研究”项目验收会在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（以下简称长春光机所）召开，验收会由“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（02专项）实施管理办公室组织。 会上，评审专家组肯定了项目取得的一系列成果，一致同意项目通过验收，认为该项目的
1月21日，长春光学精密机械与物理研究所“十二五”基建申报项目——高精尖大口径重大光电设备研发及特种光电材料加工测试保障平台项目(以下简称“项目”)可行性研究报告通过评估。 项目包含光电装备装调与检测实验楼、应用光学及专项光学装备研发楼、特种光学材料加工工艺研究与试制楼三栋实验楼，总建筑面
——长春光机所李晓天副研究员专访 分析测试百科网讯 光谱技术已迈过百年历史长河，中国的光谱分析技术亦可追溯到上个世纪50年代，今日中国的光谱技术已从国际上“跟跑”跃升到部分领域领跑的地位。在这背后，老中青科学家，克服了严峻的挑战、付出了辛勤的汗水。伴随着将在成都召开
8月6日至8日，光学前沿——第三届全国信息光学与光子器件学术会议（CIOC2010）在广西桂林召开。大会由中国科学院上海光学精密机械研究所主办，广西师范大学与中国激光杂志社联合承办。上海光机所干福熹院士、长春光机所王家骐院士、桂林市副市长巫家世、广西师范大学副校长李传起教授等到会并
7月17日，习近平到中国科学院考察工作。这是习近平在实验室了解科研人员利用同步辐射装置开展科研的情况。 ●这一年，习近平总书记足迹遍布广东、河北、湖北、辽宁、湖南等9省(市)，考察中多次论及对实施创新驱动发展战略的思考;中央政治局集体学习首次将“课堂”搬到红墙外，在中关村“顶层设计”推动创新驱
分析测试百科网讯 2017年6月29日-30日，2017中国光谱仪器前沿技术研讨会在北京紫玉饭店举办，会议由中国仪器仪表学会主办，中国仪器仪表行业协会支持，《现代科学仪器》编辑部承办。来自光谱领域的专家学者200余人参加了本次会议。分析测试百科网作为支持媒体参加。2017中国光谱仪器前沿技术研讨
一、实验室简介 应用光学国家重点实验室是我国设立最早的国家重点实验室之一，始建于1986年，于1990年完成正式验收。依托单位为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。 应光室一直坚持面向国际学科发展前沿开展应用基础及关键技术研究，积极面向国家需求承担大科学工程任务，在实际研究工作中解决了