长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展
近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展：通过采用遗传算法，实现了Φ200mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于±0.1%，镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1nmRMS，相关指标达到国际先进水平。相关结果在线发表于近期的Optics Letters（dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958）上。 极紫外多层膜反射镜是极紫外光刻系统的核心光学元件。极紫外光刻系统需要高性能的极紫外多层膜，包括高反射率，低应力，高稳定性和高均匀性。对于极紫外光刻系统中的投影物镜，必须对镀制在其上的极紫外多层膜进行超高精度的膜厚分布控制，以便实现波长匹配和减小镀膜引起的面形误差。 该研究团队采用遗传算法，完成了磁控溅射溅射源特性参数的反演和用于控制膜厚分布的公转调速曲线的反演，避免了直接测量磁控溅射速率空间分布的繁琐过......阅读全文
长春光机所“十二五”基建申报项目可行性报告通过评估
1月21日，长春光学精密机械与物理研究所“十二五”基建申报项目——高精尖大口径重大光电设备研发及特种光电材料加工测试保障平台项目(以下简称“项目”)可行性研究报告通过评估。 项目包含光电装备装调与检测实验楼、应用光学及专项光学装备研发楼、特种光学材料加工工艺研究与试制楼三栋实验楼，总建筑面
长春光机所首次承担国家重大科研仪器设备研制专项
2013年1月15日，由国家自然科学基金委员会支持、中科院长春光学精密机械与物理研究所承担的国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”在长春召开项目启动会。 长春光机所所长宣明、中国科学院计划财务局副局长曹凝、吉林省科学技术厅基础处处长张危宁分别代表项目承担单位
长春光机所提出傅里叶叠层恢复算法
傅里叶叠层成像（FPM）是近年提出的一个可以获得大视场、高分辨率图像的测量方法。FPM的装置类似光学显微镜，只是将光源替换成一个LED阵列，通过按特定顺序点亮单个LED照明时在相机端获得一系列低分辨率（LR）图像，由于不同低分辨率图对应着样本频谱中的特定子区域，故可以通过优化算法在频域中将低分辨
长春光机所组织召开项目质量工作经验交流培训
为进一步提升研究所项目质量管理水平，提高全员质量意识，中科院长春光学精密机械与物理研究所质量管理处于12月15日组织召开了项目质量工作经验交流培训。所领导，各部门领导、项目负责人、分系统负责人及职工243人参加了培训。 任建岳研究员、刘金国研究员和徐抒岩研究员就所负责项目的质
美国光学学会与长春光机所洽谈国际合作
2010年12月9日至11日，中科院长春光机所派成员到上海与美国光学学会洽谈国际合作事宜。 参加会议的人员有长春光机所科研三处国际合作业务主管张凌童、编辑部主任白雨虹与英文编辑王卉;美国光学学会主席James C.Wyant，首席执行官Elizabeth A. Rogan与高级
“中科院长春光机所华南产业基地”将在佛山建立
4月20日，中科院长春光机所、南海区政府、佛山中国科学院产业技术研究院举行战略合作签约仪式，三方合作共建“中科院长春光机所华南产业基地”。所长贾平、所长助理孙守红、知识产权与成果转化处处长褚明辉参加了签约仪式。 中科院长春光机所华南产业基地聚焦光学仪器与装备、微电子装备和智能制造装备、无人机平
中科院长春光机所：天绘一号的背后
①天绘一号测绘相机 ②彝良地震后天绘一号融合影像 ③钓鱼岛卫星图 ④鸟巢天绘一号融合影像 贾平 目前，已经升空的天绘一号01星、02星、03星工作状态相同，就像三只“千里眼”，获取了大量高分辨率影像资料，主要用于科学试验、国土资源普查、地图测绘、农作物估产及防灾减灾等领域。 近日
长春光机所研制出发光碳纳米点复合材料
近日，中国吉林网、吉刻APP记者从中科院长春光机所获悉，曲松楠研究员课题组首次研制出基于碳纳米点的超稳定、强荧光复合材料，这种复合材料在开发基于碳纳米点的光电器件领域具有重要的应用前景。 曲松楠研究员对中国吉林网、吉刻APP记者说，“以往的发光材料主要是有机和无机的，有机材料通过一些小分子的合
长春光机所绝对式光栅尺研制获重大突破
2009年，中科院长春光学精密机械与物理研究所在国内率先实现满足数控机床闭环控制的单码道绝对式光栅尺关键技术突破，打破了绝对式光栅尺需求完全依赖进口的被动局面。一年多以来，该所光电研发中心科研人员继续就提升产品性能、完善生产工艺等进行攻关，目前，该尺在精度、响应速度、加速度等方面均达到国外同类产
长春展示中国光学科研史：从“单反”到“极紫外相机”
中新网长春4月23日电 (记者 李彦国)新中国第一台单反相机如今看来依然精致，楼下嫦娥三号极紫外相机与其呼应。短短的几米距离，见证了半个世纪以来中国光学研发水平的发展历程。市民参观天绘一号高分辨率相机 市民参观吉林一号卫星初样 张瑶 摄 23日，在首个“中国航天日”前一天，中科院长春光机所举
中紫外直接光刻设备研制成功
近日，一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在国内研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中紫外照明技术，结合光敏玻璃材料，实现基于光敏玻璃基底的微细结构直接加工，能够极大简化工艺流程，将有力促进光敏玻璃微细结构的光刻工艺技术“革命”，目前在国内尚未见有此类产
打造精密仪器与装备创新研究基地
9月12日，“创响中国”长春站——中科院长春光机所双创示范基地揭牌仪式暨科技创新高峰论坛在长春光机所举行。 中国科学院长春光机所所长贾平在接受《中国科学报》记者采访时说：“创新创业的基因深深植根于长春光机所的历史血脉中。” 作为中国光学事业摇篮，进入知识创新工程以来，长春光机所始终坚持以科技
长春光机所永磁同步电机转矩脉动抑制方法研究获进展
随着大型光学望远镜口径的增加，其探测能力和成像分辨力的不断提升对望远镜跟踪精度要求也越来越高。 为了满足大口径望远镜低速、平稳跟踪的需要，伺服控制系统的驱动单元通常采用具有转动惯量比高、功率密度高、可靠性高、调速范围宽的永磁同步电机直接驱动。然而，由于齿槽转矩、磁通谐波以及电流检测误差等因素
微纳光学工程国际会议在长春光机所召开
6月13日至14日，由中科院长春光学精密机械与物理研究所、IEEE光子学会、美国光学学会联合主办的微纳光学工程国际会议（International Conference on Micro/Nano Optical Engineering，ICOME）在长春光机所召开。会议得到了国家科学技术部、国
长春光机所周哲获“中国科技期刊青年编辑骏马奖”
5月28日，第六届“中国科技期刊青年编辑骏马奖”评选结果揭晓，中科院长春光学精密机械与物理研究所期刊联合编辑部周哲喜获该奖，并将于7月份赴贵阳参加颁奖仪式。据悉，本届评比中共有153名青年编辑被授予该项奖励。 长春光机所期刊编辑部主任白雨虹曾于2005年荣获第五届“中国科技期
长春光机所在激光光谱气体传感领域取得新进展
光学频率梳（Optical Frequency Comb，OFC）提供了一把测量频率和时间的标尺，从根本上解决了光频计量问题，极大促进了前沿基础物理研究领域的发展。OFC在频域上表现为一系列相等频率间隔的梳状频谱线，与气体分子作用后进行频域解析，在获得宽光谱覆盖范围的同时亦可获得极高的光谱分辨率，为
长春光机所某研制保障条件建设项目档案通过专项验收
4月27日，由中科院办公厅、中科院军工项目管理中心、中科院档案馆、中科院电子所等单位专家组成的验收组，对长春光学精密机械与物理研究所承担的某研制保障条件建设项目进行了档案专项验收。中科院办公厅、长春光机所相关负责人及项目负责人等参加了验收会。 项目档案专项验收会由中科院档案馆
极紫外线光刻机和简介和功能
极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。 2018年4月，中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV（极紫外线）光刻机，预计将于2019年初交货。 功能 光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备
奥普光电对于晶体材料用于紫外光刻回应
有投资者在投资者互动平台提问：请问公司CaF2晶体材料是否可用于紫外光刻？奥普光电（002338.SZ）2月27日在投资者互动平台表示，公司生产的CaF2晶体材料未用于紫外光刻。
光刻技术与纳米光刻简介
距离理查德·菲利普斯·费曼著名的演讲“There’s plenty of room at the bottom”有将近60年历史。在他的论文中，他曾问到：“我们怎么样写小？”在今天的科学技术研究中，仍有同样的问题。虽然自上世纪60年代以来，科研技术已经大大进步，半导体行业中使用的线宽已经大幅度下
光刻技术与纳米光刻简介
距离理查德·菲利普斯·费曼著名的演讲“There’s plenty of room at the bottom”有将近60年历史。在他的论文中，他曾问到：“我们怎么样写小？”在今天的科学技术研究中，仍有同样的问题。虽然自上世纪60年代以来，科研技术已经大大进步，半导体行业中使用的线宽已经大幅度下
光刻技术与纳米光刻简介
距离理查德·菲利普斯·费曼著名的演讲“There’s plenty of room at the bottom”有将近60年历史。在他的论文中，他曾问到：“我们怎么样写小？”在今天的科学技术研究中，仍有同样的问题。虽然自上世纪60年代以来，科研技术已经大大进步，半导体行业中使用的线宽已经大幅度下
长春光机所在表面等离激元模式耦合研究中取得进展
近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心光学与功能薄膜研究组，基于等离激元杂化模式，提出了一种在保证低欧姆损耗的同时，能对光场产生强烈束缚作用的复合光栅纳米结构。研究成果发表在Advanced Optical Materials上。该工作获得了国家自然科学基金重点项目和面上项目的
全国人大教科文卫调研组参观长春光机所
4月7日上午，由全国人大教科文卫委员会副主任委员吴恒带领的调研组来到中科院长春光学精密机械与物理研究所，就修订促进科技成果转化法进行专题调研。吉林省人大常委会委员、教科文卫委员会主任委员吴佩军，吉林省科技厅副厅长陈维友等陪同参观调研。长春光机所党委书记、副所长贾平等接待了调研组一
中国科大长春光机所超精密控制与系统联合实验室揭牌
5月8日上午，中国科学技术大学、中科院长春光学精密机械与物理研究所共同创建的超精密控制与系统联合实验室在中国科大举行了揭牌仪式。长春光机所所长宣明、副所长申德振，中国科大党委书记许武、校长侯建国等出席了揭牌仪式。仪式由中国科大副校长朱长飞主持。 侯建国与宣明共同为超精密控制与
中国科协书记处书记王春法调研长春光机所
7月20日，中国科协书记处书记王春法，全国政协常委、中国科协决策咨询委主任齐让等一行4人到中科院长春光学精密机械与物理研究所就科研产业进展和科协决策咨询进行考察调研。吉林省科协副主席曹军等陪同调研。长春光机所党委书记、副所长贾平等热情接待王春法一行。 王春法一行参观了长春光机所空间试验场地
长春光机所在碳纳米点发光动力学研究中取得进展
近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所曲松楠研究员课题组与荷兰阿姆斯特丹大学张宏教授合作，利用偏振相关的飞秒瞬态吸收光谱技术，研究了杂元素掺杂碳纳米点各项异性的发光以及碳纳米点偶极与极性分子偶极之间的相互作用，分析了其偶极发光中心的来源。相关工作发表在在国际期刊《Advanced Opti
长春光机所在表面等离激元模式耦合研究中获得进展
近日，中科院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心先进光学薄膜与功能薄膜技术研究组基于等离激元杂化模式，提出了一种在保证低欧姆损耗的同时，能对光场产生强烈束缚作用的复合光栅纳米结构。相关研究成果发表在国际期刊《先进光学材料》(Advanced Optical Materials, DOI: 1
长春光机所上转换纳米材料光子动力学精准调控获进展
稀土离子上转换发光纳米材料在生物医学、信息和能源等领域有着巨大的应用前景。然而，由稀离子光子动力学复杂过程决定的光子能量上转换效率过低挑战问题的限制，其应用基础研究进展极其缓慢，自稀土上转换发光概念提出以来未能获得实质性突破。因此，深入地揭示和生动地描绘上转换光子动力学的清晰图像，是突破光子能
中科院长春光机所发光碳纳米粒子获新成果
曲松楠科研团队的研究不仅证实了碳纳米粒子在绿光波段的发光为本征发光，还在绿光波段实现碳纳米粒子光泵浦激光。这个发现将直接影响碳纳米粒子的应用领域及应用前景。 (a)碳纳米粒子原子力扫描图;(b)碳纳米粒子乙醇溶液不同泵浦强度下的发射光谱;(c)碳纳米粒子激光远场光斑;(d)碳纳米点激光强度随偏