专用ICPMS半导体杂质检测应用

专用ICPMS半导体杂质检测应用

利用ICPMS对半导体级盐酸中的杂质进行分析

在半导体设备的生产过程中，许多流程中都要用到各种酸类试剂。其中最重要的是盐酸（HCl），其主要用途是与过氧化氢和水配制成混合物用来清洁硅晶片的表面。由于半导体设备尺寸不断缩小，其生产中使用的试剂纯度变得越来越重要，这是因为即使是少量杂质也会导致设备的失效。国际SEMI 标准规定的是金属杂质的最大浓度

利用ICPMS对半导体级盐酸中的杂质进行分析

在半导体设备的生产过程中，许多流程中都要用到各种酸类试剂。其中zui重要的是盐酸（HCl），其主要用途是与过氧化氢和水配制成混合物用来清洁硅晶片的表面。由于半导体设备尺寸不断缩小，其生产中使用的试剂纯度变得越来越重要，这是因为即使是少量杂质也会导致设备的失效。国际SEMI 标准规定的是金属杂质的最大

含杂质半导体的定义

相对于无杂质半导体，含有杂质的半导体叫做含杂质半导体（extrinsic semiconductor）。

无杂质半导体的定义

无杂质半导体（intrinsic semiconductor，亦称作i型半导体）是指未掺入杂质的半导体。半导体制作过程中的一个重要步骤就是掺入杂质（doping）。

含杂质半导体的原理

半导体中的杂质对电阻率的影响非常大。半导体中掺入微量杂质时，杂质原子附近的周期势场受到干扰并形成附加的束缚状态，在禁带中产加的杂质能级。例如四价元素锗或硅晶体中掺入五价元素磷、砷、锑等杂质原子时，杂质原子作为晶格的一分子，其五个价电子中有四个与周围的锗（或硅）原子形成共价结合，多余的一个电子被束缚于

半导体专用检测仪器设备的作用

　　半导体产业是国民经济中基础性、关键性和战略性的产业。半导体检测从设计验证到最终测试都不可或缺，贯穿整个半导体制造过程，具有无法替代的重要地位。　　半导体检测设备的核心功能是用来检测晶圆制造和芯片成品的质量，辅助降本、提高良率和增强客户的订单获取能力。

半导体专用检测仪器设备的分类

　　广义上的半导体检测设备，分为前道量测（又称半导体量测设备）和后道测试（又称半导体测试设备）。　　半导体设备占整线投资的80%左右；半导体检测设备占半导体专用设备17%左右，其中前道量测设备占比8.5%左右，后道测试设备占比8.3%左右。　　前道量检测主要用于晶圆加工环节，目的是检查每一步制造工艺

检测技术学习篇ICPMS检测半导体级样品注意事项

　　ICP-MS可适用于ppt级的元素和亚ppt级的元素剖析，因而常用于半导体行业，剖析超痕量的杂质。如下引见主要的影响要素。 　　仪器运转环境 　　ICP-MS在干净室内运用，其前级真空泵最好放置在干净室外部，只将仪器主机放置在干净室。用于冷却仪器的空气从外流到内，并从上部的排风管排出，使灰尘

半导体专用影像测量仪

半导体专用影像测量仪它是影像测量技术的高级阶段，具有高度智能化与自动化特点。其软硬件性能让坐标尺寸测量变得便捷而惬意，拥有基于机器视觉与过程控制的自动学习功能，依托数字化仪器高速而准确的微米级走位，可将测量过程的路径，对焦、选点、功能切换、人工修正、灯光匹配等操作过程自学并记忆。半导体专用影像测量仪

聚光科技全面布局半导体精密检测－－－ICPMS新进展

聚光科技ICP-MS（等离子体质谱分析仪）自2020年全力推进半导体领域，近期，部分产品（科学仪器）实现集成电路制造头部企业测试，目前产品稳定运行。公司于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台，针对半导体行业检测需求，推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统，

ICPMS分析技术在半导体高纯材料分析中的应用

电感耦合等离子体质谱分析法是将电感耦等离子体(ICP)技术和质谱(MS)技术结合起来， 利用等离子体作为离子源，由接口将等离子体中被 电离了的试样离子引入质谱仪，用质谱仪对离子进行质量分析(按m／Z比值将不同的离子分开)并检测记录，根据所得质谱图进行定性定量分析。具有以下几个优点：(1)灵敏度高：I

多种检测方法在检测亚硝胺类基因毒性杂质的应用

众所周知亚硝胺类化合物是强致癌物，是主要要的化学致癌物之一，也是四大食品污染物之一。继去年沸沸扬扬的沙坦类药物爆出N-亚硝基二甲胺(NDMA)基因毒性杂质，近期基因毒性杂质风波再起，2019年9月13日美国FDA发表声明在常用胃药雷尼替丁中也发现该基因毒性杂质，并紧急发布的检测的方法。亚硝胺一时间在

ICPMS的应用

9.3.5.1 定性分析ICP-MS是一种非常有用、快速而且比较可靠的定性检测手段。采用扫描方式能在很短时间内获得全质量范围或所选质量范围内的质谱信息。依据谱图上出现的峰可以判断存在的元素和可能存在的干扰。如果分析前对样品基体缺乏了解，可以在定量分析前先进行快速的定性检查。商品仪器提供的定性分析软件

强强联手－英格尔安捷伦共建半导体联合检测中心

　　分析测试百科网讯 2020年6月28日，由英格尔&安捷伦举办的“2020年高纯电子材料测试分析技术研讨会”及“高纯电子材料检测中心”启动仪式在浦东卓美亚喜玛拉雅酒店开幕。活动现场　　此次会议邀请中国电子材料行业协会、中国电子化工新材料联盟、上海集成电路协会、上海市政府部门、半导体制造产业链企业，

莱伯泰科发布首款ICPMS质谱－首攻医疗和半导体方向

　　——莱伯泰科董事长胡克博士专访　　分析测试百科网讯 师从全球ICP-MS发明人的胡克博士，创办了前处理仪器的领先企业莱伯泰科并成功上市。不忘初心的胡克再次出发，5月20日推出莱伯泰科的首款质谱仪——LabMS 3000 ICP-MS，标志着莱伯泰科成为高端质谱的研发制造企业，这是同其已积累的前处

单颗粒ICPMS在纳米颗粒检测中的应用

随着纳米颗粒在消费品中的使用越来越广泛，纳米颗粒与人体的接触与迁移也越来越受到关注，并由此带来一个问题：消费品中的纳米颗粒会迁移到人体中吗？人们主要通过身体接触来与这些产品发生互动，所以有必要了解纳米颗粒是如何通过身体接触实现向人体迁移的。本文探讨了纳米材料表面上的纳米颗粒如何迁移到抹布上，并集中讨

药物杂质检测药物杂质的来源、方法及计算

一、药物杂质的来源及其种类1、药物杂质的来源药品质量标准中杂质的检查项目是根据可能存在的杂质来确定的。因此,了解药物中杂质的来源,才能有针对性地制定出杂质检查的项目,选择适当的检查方法。药物中存在的杂质主要有两个来源:一是在生产过程中引入的杂质;二是在贮藏过程中产生的杂质。在合成药物的生产过程中,不

半导体的应用介绍

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。

半导体的应用介绍

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。

CryoSAS－是半导体材料质量控制专用机型英文介绍

CryoSAS 是半导体材料质量控制专用机型，主要应用在光伏和电子工业领域。CryoSAS: Cryogenic Silicon Analysis SystemThe Bruker Optics` Cryogenic Silicon Analysis System (CryoSAS) is a

莱伯泰科这款ICPMS荣获半导体领域国产－ICPMS－先行者Antop奖

伴随着夏日骄阳，又到了一年一度的Antop奖揭晓时刻。历经全网投票和专家评审后，莱伯泰科申报的LabMS 3000 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪正式获得ANTOP奖——半导体领域国产 ICPMS 先行者。奖项名称：半导体领域国产 ICPMS 先行者奖项主体：LabMS 3000 ICP-MS电

莱伯泰科申报“半导体领域ICPMS”ANTOP奖进入专家评审阶段。

“连雨不知春去，一晴方觉夏深”六月已至，伴随着美好时节，2023年第一期ANTOP奖的申报和评审工作也正在如火如荼地开展中。由北京莱伯泰科仪器股份有限公司申报的“半导体领域ICPMS”ANTOP奖进入专家评审阶段。北京莱伯泰科仪器股份有限公司成立于2002年，是一家专业从事实验分析仪器的研发、生产和

ICPMS法测定石英砂中十四种痕量杂质元素

　　石英砂特别是SiO2含量99.99%以上的高纯石英砂，广泛用于半导体技术、原子能、光纤通讯等高科技领域。其杂质对产品质量影响极大，故其痕量分析技术成为近年来的热点。 　　石英砂痕量元素的传统分析方法以原子吸收火焰法（FAS）和石墨炉法（GAS）为主[1]，均为单元素测定，FAS法精密度虽好，但检

莱伯泰科－LabMS－3000－ICPMS－等离子体质谱仪申报ANTOP奖啦！

四月的风景是清爽，是万紫千红，是祥和的云，是柔情的风。四月阳光沐浴下的万物，朝气蓬勃而生机盎然，宁静的湖水清波荡漾。2023年ANTOP奖的申报和评审工作如火如荼的开展。由北京莱伯泰科仪器股份有限公司申报的“半导体领域中国无机质谱开创者”ANTOP奖，现在进入大众评审阶段，诚邀各位伙伴们的投票！　　

莱伯泰科－LabMS－3000－ICPMS－等离子体质谱仪申报ANTOP奖啦！

四月的风景是清爽，是万紫千红，是祥和的云，是柔情的风。四月阳光沐浴下的万物，朝气蓬勃而生机盎然，宁静的湖水清波荡漾。2023年ANTOP奖的申报和评审工作如火如荼的开展。由北京莱伯泰科仪器股份有限公司申报的“半导体领域中国无机质谱开创者”ANTOP奖，现在进入大众评审阶段，诚邀各位伙伴们的投票！　　

重金属元素检测中ICPMS技术的应用

当前我国经济发展迅速，人民的生活水平也在不断提高，因此，仅仅吃饱已不能满足人们的需求，更重要的是吃高质量的食品，这样食品检验检测工作在日常生活中就显得更加重要。诚然，保障社会的和谐稳定与人民群众的身体健康已成为政府义不容辞的责任和义务，因此政府对食品的要求标准也在不断改变。例如，限量的严格要求等。由

莱伯泰科重磅发布三重四极杆质谱，持续进军半导体行业

北京莱伯泰科仪器股份有限公司（股票代码：688056.SH，以下简称“莱伯泰科”）在自主研发创新领域再获重大突破。3月10日，“致知力行 踵事增华--莱伯泰科半导体行业三重四极杆质谱新品发布会”在莱伯泰科北京总部隆重举行，重磅推出针对于半导体行业研发生产的LabMS 5000 ICP-MS/MS。来

实验室分析仪器ICPMS检测半导体级样品的注意事项

ICP-MS可适用于ppt级的元素和亚ppt级的元素分析，因此常用于半导体行业，分析超痕量的杂质。如下介绍主要的影响因素。仪器运行环境半导体设备中出现污染，会使产品性能恶化。碱金属、碱土金属造成的污染降低击穿电压，过渡金属造成的污染缩短载流子寿命，增加暗电流。因此必须控制污染。但是，这些污染存在于大

稀磁性半导体的应用

稀磁性半导体是指非磁性半导体中的部分原子被过渡金属元素取代后形成的磁性半导体，因兼具有半导体和磁性的性质，即在一种材料中同时应用电子电荷和自旋两种自由度，因而引起广泛关注，尚处于研究阶段。