专用ICPMS半导体杂质检测应用

专用ICPMS半导体杂质检测应用

利用ICPMS对半导体级盐酸中的杂质进行分析

在半导体设备的生产过程中，许多流程中都要用到各种酸类试剂。其中最重要的是盐酸（HCl），其主要用途是与过氧化氢和水配制成混合物用来清洁硅晶片的表面。由于半导体设备尺寸不断缩小，其生产中使用的试剂纯度变得越来越重要，这是因为即使是少量杂质也会导致设备的失效。国际SEMI 标准规定的是金属杂质的最大浓度

利用ICPMS对半导体级盐酸中的杂质进行分析

在半导体设备的生产过程中，许多流程中都要用到各种酸类试剂。其中zui重要的是盐酸（HCl），其主要用途是与过氧化氢和水配制成混合物用来清洁硅晶片的表面。由于半导体设备尺寸不断缩小，其生产中使用的试剂纯度变得越来越重要，这是因为即使是少量杂质也会导致设备的失效。国际SEMI 标准规定的是金属杂质的最大

含杂质半导体的定义

相对于无杂质半导体，含有杂质的半导体叫做含杂质半导体（extrinsic semiconductor）。

无杂质半导体的定义

无杂质半导体（intrinsic semiconductor，亦称作i型半导体）是指未掺入杂质的半导体。半导体制作过程中的一个重要步骤就是掺入杂质（doping）。

含杂质半导体的原理

半导体中的杂质对电阻率的影响非常大。半导体中掺入微量杂质时，杂质原子附近的周期势场受到干扰并形成附加的束缚状态，在禁带中产加的杂质能级。例如四价元素锗或硅晶体中掺入五价元素磷、砷、锑等杂质原子时，杂质原子作为晶格的一分子，其五个价电子中有四个与周围的锗（或硅）原子形成共价结合，多余的一个电子被束缚于

半导体专用检测仪器设备的作用

　　半导体产业是国民经济中基础性、关键性和战略性的产业。半导体检测从设计验证到最终测试都不可或缺，贯穿整个半导体制造过程，具有无法替代的重要地位。　　半导体检测设备的核心功能是用来检测晶圆制造和芯片成品的质量，辅助降本、提高良率和增强客户的订单获取能力。

半导体专用检测仪器设备的分类

　　广义上的半导体检测设备，分为前道量测（又称半导体量测设备）和后道测试（又称半导体测试设备）。　　半导体设备占整线投资的80%左右；半导体检测设备占半导体专用设备17%左右，其中前道量测设备占比8.5%左右，后道测试设备占比8.3%左右。　　前道量检测主要用于晶圆加工环节，目的是检查每一步制造工艺

检测技术学习篇ICPMS检测半导体级样品注意事项

　　ICP-MS可适用于ppt级的元素和亚ppt级的元素剖析，因而常用于半导体行业，剖析超痕量的杂质。如下引见主要的影响要素。 　　仪器运转环境 　　ICP-MS在干净室内运用，其前级真空泵最好放置在干净室外部，只将仪器主机放置在干净室。用于冷却仪器的空气从外流到内，并从上部的排风管排出，使灰尘

半导体材料与器件分析检测技术培训班：推动行业发展－培养专业人才

　　2024年7月17日，由中国科学院人事局资助、中国科学院上海硅酸盐研究所主办、上海无机非金属材料分析测试专业平台和上海材料与制造大型仪器区域中心协办的“半导体材料与器件分析检测技术”培训班在上海举办。分析测试百科网作为本次培训班的支持媒体进行会议报道。“半导体材料与器件分析检测技术”培训班参会人

聚光科技全面布局半导体精密检测－－－ICPMS新进展

聚光科技ICP-MS（等离子体质谱分析仪）自2020年全力推进半导体领域，近期，部分产品（科学仪器）实现集成电路制造头部企业测试，目前产品稳定运行。公司于2015年分拆自身质谱业务成立子公司谱育科技。谱育科技已掌握多个质谱分析技术平台，针对半导体行业检测需求，推出一系列高精度检测仪器及在线监测系统，

ICPMS分析技术在半导体高纯材料分析中的应用

电感耦合等离子体质谱分析法是将电感耦等离子体(ICP)技术和质谱(MS)技术结合起来， 利用等离子体作为离子源，由接口将等离子体中被 电离了的试样离子引入质谱仪，用质谱仪对离子进行质量分析(按m／Z比值将不同的离子分开)并检测记录，根据所得质谱图进行定性定量分析。具有以下几个优点：(1)灵敏度高：I

半导体专用影像测量仪

半导体专用影像测量仪它是影像测量技术的高级阶段，具有高度智能化与自动化特点。其软硬件性能让坐标尺寸测量变得便捷而惬意，拥有基于机器视觉与过程控制的自动学习功能，依托数字化仪器高速而准确的微米级走位，可将测量过程的路径，对焦、选点、功能切换、人工修正、灯光匹配等操作过程自学并记忆。半导体专用影像测量仪

多种检测方法在检测亚硝胺类基因毒性杂质的应用

众所周知亚硝胺类化合物是强致癌物，是主要要的化学致癌物之一，也是四大食品污染物之一。继去年沸沸扬扬的沙坦类药物爆出N-亚硝基二甲胺(NDMA)基因毒性杂质，近期基因毒性杂质风波再起，2019年9月13日美国FDA发表声明在常用胃药雷尼替丁中也发现该基因毒性杂质，并紧急发布的检测的方法。亚硝胺一时间在

元素杂质检测

　　新版中国药典对于包括催化剂在内的元素杂质检测方法的进行了研究与修订，继续加强对各类杂质控制的研究，提高方法的准确性。对于已上市产品中元素杂质控制，将根据ICH Q3D增订元素杂质检测。ICHQ3D对于元素杂质的分类及毒性评估等做了详尽的阐述，对于不同分类的金属杂质又专门做了不同的风险评估等要求。

半导体封锁下的国产力量：国产仪器公司怎么应对？有什么突破？

12月2日，美国商务部工业和安全局（BIS）更新了《出口管理条例》（EAR），将140个中国半导体行业相关实体纳入“实体清单”，限制中国在人工智能和先进半导体领域的发展。这是美国近三年来第三次对中国半导体行业实施限制措施。被列入“实体清单”的企业，将面临无法采购美国生产的电感耦合等离子体质谱仪（IC

半导体材料与器件量测和检测技术培训班：聚焦检测技术前沿与应用突破

在半导体产业蓬勃发展的当下，检测技术作为保障半导体材料与器件质量的关键环节，正不断向高精度、高灵敏度方向迈进。2025年10月27日，第二届“半导体材料与器件量测和检测技术”培训班在中国科学院上海硅酸盐研究所顺利举办。本次培训班由中国科学院上海硅酸盐研究所汪正研究员团队带领组织，吸引了近百位行业专家

ICPMS的应用

9.3.5.1 定性分析ICP-MS是一种非常有用、快速而且比较可靠的定性检测手段。采用扫描方式能在很短时间内获得全质量范围或所选质量范围内的质谱信息。依据谱图上出现的峰可以判断存在的元素和可能存在的干扰。如果分析前对样品基体缺乏了解，可以在定量分析前先进行快速的定性检查。商品仪器提供的定性分析软件

单颗粒ICPMS在纳米颗粒检测中的应用

随着纳米颗粒在消费品中的使用越来越广泛，纳米颗粒与人体的接触与迁移也越来越受到关注，并由此带来一个问题：消费品中的纳米颗粒会迁移到人体中吗？人们主要通过身体接触来与这些产品发生互动，所以有必要了解纳米颗粒是如何通过身体接触实现向人体迁移的。本文探讨了纳米材料表面上的纳米颗粒如何迁移到抹布上，并集中讨

药物杂质检测药物杂质的来源、方法及计算

一、药物杂质的来源及其种类1、药物杂质的来源药品质量标准中杂质的检查项目是根据可能存在的杂质来确定的。因此,了解药物中杂质的来源,才能有针对性地制定出杂质检查的项目,选择适当的检查方法。药物中存在的杂质主要有两个来源:一是在生产过程中引入的杂质;二是在贮藏过程中产生的杂质。在合成药物的生产过程中,不

强强联手－英格尔安捷伦共建半导体联合检测中心

　　分析测试百科网讯 2020年6月28日，由英格尔&安捷伦举办的“2020年高纯电子材料测试分析技术研讨会”及“高纯电子材料检测中心”启动仪式在浦东卓美亚喜玛拉雅酒店开幕。活动现场　　此次会议邀请中国电子材料行业协会、中国电子化工新材料联盟、上海集成电路协会、上海市政府部门、半导体制造产业链企业，

ICPMS法测定石英砂中十四种痕量杂质元素

　　石英砂特别是SiO2含量99.99%以上的高纯石英砂，广泛用于半导体技术、原子能、光纤通讯等高科技领域。其杂质对产品质量影响极大，故其痕量分析技术成为近年来的热点。 　　石英砂痕量元素的传统分析方法以原子吸收火焰法（FAS）和石墨炉法（GAS）为主[1]，均为单元素测定，FAS法精密度虽好，但检

莱伯泰科发布首款ICPMS质谱－首攻医疗和半导体方向

　　——莱伯泰科董事长胡克博士专访　　分析测试百科网讯 师从全球ICP-MS发明人的胡克博士，创办了前处理仪器的领先企业莱伯泰科并成功上市。不忘初心的胡克再次出发，5月20日推出莱伯泰科的首款质谱仪——LabMS 3000 ICP-MS，标志着莱伯泰科成为高端质谱的研发制造企业，这是同其已积累的前处

聚光科技：2025年前三季度实现营业总收入20.5亿元

近日，聚光科技(300203)公布2025年第三季度报告。2025年前三季度，公司营业收入为20.5亿元，同比下降11.1%；归母净利润亏损6233.5万元，同比下降152.98%。其中第三季度，公司营业收入7.55亿元，同比下降15.61%；归母净利润亏损1183.39万元，同比下降116.41%

重金属元素检测中ICPMS技术的应用

当前我国经济发展迅速，人民的生活水平也在不断提高，因此，仅仅吃饱已不能满足人们的需求，更重要的是吃高质量的食品，这样食品检验检测工作在日常生活中就显得更加重要。诚然，保障社会的和谐稳定与人民群众的身体健康已成为政府义不容辞的责任和义务，因此政府对食品的要求标准也在不断改变。例如，限量的严格要求等。由

莱伯泰科这款ICPMS荣获半导体领域国产－ICPMS－先行者Antop奖

伴随着夏日骄阳，又到了一年一度的Antop奖揭晓时刻。历经全网投票和专家评审后，莱伯泰科申报的LabMS 3000 ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪正式获得ANTOP奖——半导体领域国产 ICPMS 先行者。奖项名称：半导体领域国产 ICPMS 先行者奖项主体：LabMS 3000 ICP-MS电

莱伯泰科申报“半导体领域ICPMS”ANTOP奖进入专家评审阶段。

“连雨不知春去，一晴方觉夏深”六月已至，伴随着美好时节，2023年第一期ANTOP奖的申报和评审工作也正在如火如荼地开展中。由北京莱伯泰科仪器股份有限公司申报的“半导体领域ICPMS”ANTOP奖进入专家评审阶段。北京莱伯泰科仪器股份有限公司成立于2002年，是一家专业从事实验分析仪器的研发、生产和

赛默飞ICPMS如何测定生理盐水中的杂质元素

生理盐水，生理学实验或临床上常用的渗透压与动物或人体血浆的渗透压相等的氯 化钠溶液生理学或临床上常用的渗透压与动物或人体血浆相等的氯化钠溶液，其浓度用于两 栖类时是 0.67%～0.70%，用于哺乳类和人体时是 0.85%～0.9%。0.9%氯化钠无菌水溶液。 其渗透压与人体血液近似，钠的含量也与血

莱伯泰科－LabMS－3000－ICPMS－等离子体质谱仪申报ANTOP奖啦！

四月的风景是清爽，是万紫千红，是祥和的云，是柔情的风。四月阳光沐浴下的万物，朝气蓬勃而生机盎然，宁静的湖水清波荡漾。2023年ANTOP奖的申报和评审工作如火如荼的开展。由北京莱伯泰科仪器股份有限公司申报的“半导体领域中国无机质谱开创者”ANTOP奖，现在进入大众评审阶段，诚邀各位伙伴们的投票！　　

莱伯泰科－LabMS－3000－ICPMS－等离子体质谱仪申报ANTOP奖啦！

四月的风景是清爽，是万紫千红，是祥和的云，是柔情的风。四月阳光沐浴下的万物，朝气蓬勃而生机盎然，宁静的湖水清波荡漾。2023年ANTOP奖的申报和评审工作如火如荼的开展。由北京莱伯泰科仪器股份有限公司申报的“半导体领域中国无机质谱开创者”ANTOP奖，现在进入大众评审阶段，诚邀各位伙伴们的投票！