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深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏技术历史及原理

一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期,美国为了制造原子弹,在田纳西州的橡树岭(Oak Ridge)建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔,1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯丝阴极,并且以氦气做示踪气体,1944年由美国通用电气公司投入生产。后来Dr.Jacobs制成了全金属的质谱管和真空系统。1945年韦斯门毫斯公司与真空电子工程公司开始生产氦质谱检测仪,它对氦的灵敏度只有10-7Pa·m3/s。1945年以后,氦质谱检漏仪经过不断改进与发展,在提高仪器灵敏度、稳定性、可靠性、操作自动化、便于维修、缩小体积、减轻重量和降低成本等方面都有了较大进步。1950年其灵敏度达到10-10Pa·m3/s,1959年,T.L.Perers首先提出了用二级磁场分析器和电子倍增器的方法,灵敏度达到10-14Pa·m3/......阅读全文

深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏技术历史及原理

一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期,美国为了制造原子弹,在田纳西州的橡树岭(Oak Ridge)建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔,1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯

深度揭秘氦质谱检漏技术 ——发展历史及原理

一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期,美国为了制造原子弹,在田纳西州的橡树岭(Oak Ridge)建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔,1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯

深度揭秘氦质谱检漏技术——钢桶氦质谱检漏技术的应用

钢桶是包装物,对于很多的盛装货物,要求完全的密封,一但泄漏,不仅是货物的损失,还可能造成爆炸、燃烧、中毒及环境污染等各类事故。所以,保证钢桶的气密性,是钢桶生产的关键。因此,在钢桶生产过程中除了要对钢桶的卷边、焊缝、密封器进行严格检漏外,在钢桶的总装生产线上,还要对钢桶的完整产品进行全数出厂检漏。

深度揭秘氦质谱检漏技术——钢桶氦质谱检漏技术的应用

钢桶是包装物,对于很多的盛装货物,要求完全的密封,一但泄漏,不仅是货物的损失,还可能造成爆炸、燃烧、中毒及环境污染等各类事故。所以,保证钢桶的气密性,是钢桶生产的关键。因此,在钢桶生产过程中除了要对钢桶的卷边、焊缝、密封器进行严格检漏外,在钢桶的总装生产线上,还要对钢桶的完整产品进行全数出厂检漏。传

深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏的各种方法

利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多,而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的,因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再

深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏的各种方法

利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多,而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的,因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再

深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中,如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能

深度揭秘氦质谱检漏技术 ——结构

氦质谱检漏仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中,如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能

深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪

一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始,氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展,使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始,到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及

深度揭秘氦质谱检漏技术——灵敏度及最小可检漏率

一、灵敏度与最小可检漏率的关系对于一般仪器来说,灵敏度是最主要的性能指标之一。所谓灵敏度就是仪器输出变化除以导致这个变化的输入量。对于氦质谱检漏仪来说,输出变化即为输出指示(仪表或数码显示器)值的变化,而导致这个输出指示变化的是漏孔的漏率。在确定氦质谱检漏仪的灵敏度时,常将一已知的漏率的标准漏孔漏出