深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏技术历史及原理
一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期，美国为了制造原子弹，在田纳西州的橡树岭（Oak Ridge）建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔，1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯丝阴极，并且以氦气做示踪气体，1944年由美国通用电气公司投入生产。后来Dr.Jacobs制成了全金属的质谱管和真空系统。1945年韦斯门毫斯公司与真空电子工程公司开始生产氦质谱检测仪，它对氦的灵敏度只有10-7Pa·m3/s。1945年以后，氦质谱检漏仪经过不断改进与发展，在提高仪器灵敏度、稳定性、可靠性、操作自动化、便于维修、缩小体积、减轻重量和降低成本等方面都有了较大进步。1950年其灵敏度达到10-10Pa·m3/s，1959年，T.L.Perers首先提出了用二级磁场分析器和电子倍增器的方法，灵敏度达到10-14Pa·m3/......阅读全文
简介氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化
氦质谱检漏仪工作原理
第二炮兵工程学院 作者：孙开磊 氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真
氦质谱检漏仪压氦法检漏法介绍
压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。 一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根
氦质谱检漏仪电厂检漏应用
应用一、氦质谱检漏仪用于电厂检漏 —冷凝罐及汽轮机管路检漏应用 电厂使用氦质谱检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。 电厂检漏使用氦质谱检漏仪Sniffer 模式，检测方法为将吸枪放在真
氦质谱检漏仪基本检漏方法
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。 氦质谱检漏仪的质谱学原理 灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道
深度揭秘氦质谱检漏技术——实际漏孔漏率确定、吸枪与氦气
一、实际漏孔的确定如果在被检容器上接一只渗氦型标准漏孔，它对氦气的漏率为Q0，如图25所示。利用标准漏孔比较法可以确定所检出的实际漏孔的漏率值。其方法如下。 图25 实际漏孔漏率测试系统 将检漏仪及检漏系统调速在检漏状态并保持不变。打开标漏阀，待输出指示稳定后读出标漏阀打开前、后检漏仪稳定的输出指
氦质谱检漏仪简介
氦气检漏仪是氦质谱检漏仪((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪（ Helium Mass Spectrometer Leak Detector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将
氦质谱检漏仪单位
氦质谱检漏仪单位是kg。氦质谱检漏仪、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
氦质谱检漏仪简介
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是: 检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪的技术参数
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的技术指标
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的结构－(技术贴)
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪的技术参数
最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪常用检漏方法及标准
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法，用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，其旋转半径
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
介绍氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪原理: 氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液
氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容
真空氦质谱检漏原理与方法综述
第二炮兵工程学院 作者：孙开磊 介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
氦质谱检漏仪的工作原理
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪
氦质谱检漏仪杜瓦瓶检漏
杜瓦瓶由不锈钢内胆、外胆，高真空绝热夹层、内置式汽化器、阀门管路系统等组成，用于储存和使用低温液化气体产品（液氮、液氧、液氩、液化天然气、液态二氧化碳）并能自动提供连续的气体，该产品具有以下优点：1.储气量大；2.使用、储存压力低、安全性好、无高压爆炸危险；3.外表美观、洁净卫生，无充装、环境污染；
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等，这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用，刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因：镀膜机需要在高真空环境下工作，真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等，这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用，刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因：镀膜机需要在高真空环境下工作，真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中