X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
锫钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O3,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以得到比较满意的结果。......阅读全文
X射线光电子能谱仪的简介
X-射线光电子能谱仪,是一种表面分析技术,主要用来表征材料表面元素及其化学状态。其基本原理是使用X-射线,如Al Ka =1486.6eV,与样品表面相互作用,利用光电效应,激发样品表面发射光电子,利用能量分析器,测量光电子动能(K.E),根据B.E=hv-K.E-W.F,进而得到激发电子的结合
医用加速器8MV-X射线在水模体中的一阶散射X射线能谱
分析医用电子直线加速器的高能X射线与水模体相互作用过程中所产生的一次散射光子的能谱角分布和光子强度角分布。方法:利用蒙特卡罗粒子输运程序Geant4,模拟粒子输运过程,计算加速器8 MeV高能X射线能谱,并根据在水模体中实际测量的PDD吸收曲线为依据,修正蒙特卡洛计算的能谱;并以此能谱为虚拟源能谱,
X射线能谱分析方法及其在电镜酶细胞化学中的应用
近年来,X射线能谱分析和电镜酶细胞化学在许多领域中得到了广泛的应用。两者的结合把超微分析和超微观察密切结合起来,为超微结构的研究提供了可靠的分析手段。本文对X射线能谱分析的原理作简单地介绍,同时对X射线能谱分析在电镜酶细胞化学中的应用和实验方法进行了分析和讨论。
软X射线能谱仪与透射光栅谱仪测量结果的对比
对软 X射线谱仪和透射光栅谱仪的测量结果进行了对比。它们的回推谱形大致符合 ,只是透射光栅谱仪的复原谱的 N带相对于 O带太小。其原因可能是 X射线 CCD受到靶室油沾污 ,在表面形成了碳膜 ,对 N带吸收较多。经过对透射光栅谱进行吸收补偿后 ,两种谱仪的复原谱基本一致。
X射线光电子能谱
X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)技术也被称作用于化学分析的电子能谱(electron spectroscopy for chemical analysis,ESCA).XPS属表面分析法,它可以给出固体样品表面所含的元素种类、化学组成以及有
X射线能谱定量分析
随着探头制造技术水平的提高、电子学技术的发展,以及对脉冲处理技术和重叠峰处理方法的改进,能谱定量分析的精度得到不断提高。目前,对原子序数在11~30之间的常用元素,其分析精度大体上可以达到波长谱仪的水平。由于能谱定量分析的方法简单、操作方便,它既能进行大试样的平均成份分析,也能进行微粒、薄板、镀层、
复杂X射线能谱构造方法研究
本文提出了基于最小二乘法的复杂X射线能谱构造方法,介绍了其构造原理,设计了由35~100kV加速电压条件下的14个X射线过滤谱组成的构造子谱组。目标能谱模拟构造结果表明,构造能谱与目标能谱总体的相对偏差基本控制在10%以内;影响其偏差的主要因素包括构造子谱数量与形态,目标能谱的非连续可微以及射线源特
扫描电镜/X射线能谱仪/X射线波谱仪组合检测射击残留物
在司法物证检验中,通常采用扫描电镜/X射线能谱仪自动检测枪击案件中的射击残留物。但在检出的可疑颗粒物中,经常遇到硫(S)、锑(Sb)元素含量偏低的情况,用X射线能谱仪很难认定该颗粒物就是射击残留物。本文采用了扫描电镜/X射线能谱仪/X射线波谱仪组合方法,能检测出射击残留物中的S和Sb元素,弥补了X射
用透射光栅谱仪测量金箔背侧X射线能谱
在星光激光装置上利用波长为 0 3 5 μm的激光辐照金箔靶 ,在金箔靶背侧用透射光栅配X射线chargecoupleddevice系统测量了其发射的软X射线能谱 ,并与用亚千能谱仪测量的结果进行了比较 ,获得了比较一致的结果 .测量结果表明 ,0 17μm厚度的金箔靶背侧的X射线能谱偏离平衡辐射谱
NaI晶体谱仪采集X射线能谱测量方法研究
为准确测量轫致辐射X射线能谱,利用NaI晶体谱仪对于测量光子的能谱展宽效应,结合理论模拟分析,提出了采用变能量矩阵求解法实现X射线能谱的重建。该方法通过合理选择能量区间,可有效消除能谱响应矩阵中各矢量的相关性,从而实现能谱的准确重建。并分别以均匀能谱分布和实际轫致辐射X射线能谱为例,进行了X射线的能
X射线能谱过滤的MC模拟研究
能量低于300 keV且能谱简单的稳定放射性核素较少,作为替代,利用X射线机产生X射线,并经过不同厚度的材料的过滤,可以得到用于对辐射防护仪器进行校准和确定其能量响应和角响应的一系列规定辐射质的参考辐射。由于材料的质量衰减系数与X射线在物质中各种作用过程有关,并强烈的依赖于光子的能量,基于这一物理现
多功能X射线光电子能谱仪
多功能X射线光电子能谱仪是一种用于物理学、生物学、基础医学、临床医学领域的分析仪器,于2018年1月22日启用。 技术指标 1. 分析室真空度:5×10-10 mbar 2. 最佳能量分辨率:0.43eV 3. 最小空间分辨率:1μm 4. Ag的3d5/2峰半峰宽为1eV时电子计数率
X射线光电子能谱仪(XPS)的发展
X射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析电子能谱(ESCA)。该方法首先是在六十年代由瑞典科学家K.Siebabn 教授发展起来的。这种能谱最初是被用来进行化学元素的定性分析,现在已发展为表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的重要手段。此外,配合离子束剥离技术和变角XPS技术,还可以进行
X射线光电子能谱仪的仪器类别
03030707 /仪器仪表 /成份分析仪器指标信息: 主真空室:1×10-10 Torr XPS:0.5eV, AES: 分辨率:0.4%, 电子枪束斑:75nm , 灵敏度:1Mcps信噪比:大于70:1 角分辨:5°~90°. A1/Mg双阳极靶 能量分辨率:0.5eV ,灵敏度:255KCP
关于X射线光电子能谱仪的简介
X-射线光电子能谱仪,是一种表面分析技术,主要用来表征材料表面元素及其化学状态。其基本原理是使用X-射线,如Al Ka =1486.6eV,与样品表面相互作用,利用光电效应,激发样品表面发射光电子,利用能量分析器,测量光电子动能(K.E),根据B.E=hv-K.E-W.F,进而得到激发电子的结合
一种确定X射线能谱仪(EDS)分析中接收角的方法
利用扫描电镜中物镜电流与焦距的关系 ,通过实验和计算得出了物镜电流调节旋钮刻度值与样品微区高低位置的对应关系。利用该关系得到了一种确定接收角的方法。该法易于应用且适于一些特殊样品接收角的确定。
X射线能谱仪定量分析植物组织中的多种矿质元素
本文介绍一种用扫描电镜和X射线能谱仪定量分析植物组织中的Mg、Al、Si、P、S、Cl、K、Ca、Mn,Fe元素的方法。本方法样品前处理简单,分析速度快,费用低。
X射线能谱仪测量钢中锰含量的测量不确定度评定
为了探索提高X射线能谱仪的分析准确度的方法,采用电子探针配合X射线能谱仪对铁基锰标样中的锰含量进行测量,对测量结果进行不确定度评定,给出合成不确定度、扩展不确定度和不确定度报告。测量不确定度评定结果表明:提高能谱分析的总计数是降低测量不确定度的有效方法,可以有效提高能谱分析结果的准确度。
光电子能谱和X射线能谱在推进剂催化燃烧研究中的应用
应用光电子能谱和X射线能谱技术,测试固体推进剂燃烧前及中止燃烧后推进剂表面成分和化学状态变化,以研究添加少量铅、铜化合物和炭黑的催化燃烧过程。结果表明,铅盐能够提高燃烧速度,这是由于其分解产物PbO/Pb具有催化作用,使得推进剂表面易于生成含碳物质,而铜化合物和炭黑的加入则起到了辅助催化的作用
X射线荧光光谱仪在翡翠鉴定中的应用
X射线荧光光谱仪 X射线荧光光谱仪是一种用于材料分析的科学仪器,它可以快速、准确地分析材料的化学成分和结构。 它的工作原理是利用高能X射线的能量激发物质分子中的电子,使之处于激发态,当电子回到基态时会放出特定波长的荧光光线。不同元素的荧光光线具有一定的特征性,通过检测这些特征荧光光线,可以确
农用软X射线仪在春播种子检查中的应用
使用仪器前,首先要对仪器的功能作用有所了解。农用软X光机在农业上,特别是种子检验中,得到了广泛的应用。农用软X射线仪可以对种子的质量、饱满粒、空粒和畸形粒、种子活力、成熟期以及种子的内部虫害等等进行测定。除了种子,还可以用于农业,林业,植保、酿造及渔业等等科研生产部门,同时也可用于轻金属,非金属材料
X射线能谱法测定土壤中7种主次量元素
采用粉末样品压片制样,土壤标准物质以及人工合成标样为标准,用X 射线荧光能谱仪对土壤试样中的Si、K、Ca 、Ti、Mn 、Fe 和Sr 7 种主、次量元素进行测定。讨论了基体效应及校正等问题。方法经土壤标样分析验证,其结果与标准值符合较好,方法的精密度( RSD,n = 5) < 3 % 。
X射线能谱处理中NaI(Tl)闪烁体边界效应矩阵
用 NaI(Tl)闪烁谱仪测量 X 射线机产生的 X 射线能谱是一个较为方便的方法。在此方法的应用中应当考虑到闪烁体边界效应的影响。本文报道了在解谱中表征这一影响的两个矩阵的蒙特-卡罗计算方法和计算结果,并对计算结果作了简要讨论。
衰减透射法测量高能X射线能谱
研究了基于衰减透射原理的高能X射线能谱测量与重建。利用蒙特卡罗方法对神龙一号直线感应加速器的X射线源穿过不同厚度铝时的衰减透射过程进行模拟实验。解谱方法采用迭代扰动法,对不同的初始能谱估计和测量噪声水平条件下的能谱重建进行计算分析。结果表明:实验测量不包含噪声时,选择合适的初始能谱可以获得比较准确的
太阳耀斑硬X射线能谱演变特征
太阳硬X射线是耀斑高能电子束流与太阳大气相互作用产生的韧致辐射,根据简单的太阳耀斑环物理模型,假定具有流量与能谱同步变化的高能电子束流从耀斑环顶部注入,计算了硬X射线辐射在不同的靶物质密度区的能谱演变特征.结果表明:硬X射线辐射在低大气密度靶区呈现软一硬一硬的能谱演变特征,在高密度靶区硬X射线能谱则
X射线光电子能谱(-XPS)
XPS:X射线光电子能谱分析(XPS, X-ray photoelectron spectroscopy)测试的是物体表面10纳米左右的物质的价态和元素含量,而EDS不能测价态,且测试的深度为几十纳米到几微米,基本上只能定性分析,不好做定量分析表面的元素含量。 原理:用X射线去辐射样品,使原子或分子
衰减透射法测量高能X射线能谱
研究了基于衰减透射原理的高能X射线能谱测量与重建。利用蒙特卡罗方法对神龙一号直线感应加速器的X射线源穿过不同厚度铝时的衰减透射过程进行模拟实验。解谱方法采用迭代扰动法,对不同的初始能谱估计和测量噪声水平条件下的能谱重建进行计算分析。结果表明:实验测量不包含噪声时,选择合适的初始能谱可以获得比较准确的
应用扫描电镜与X射线能谱仪研究黔北黑色页岩储层
页岩储层研究已经成为页岩气研究的重点,页岩组构特征的特殊性使得页岩储层发育纳米/微米级孔隙。岩石及矿物中的纳米/微米级空隙是黔北黑色页岩的结构组分之一,传统的光学显微镜方法由于分辨率及放大倍数的限制无法对页岩储层的孔隙类型进行观察;核磁共振等仪器虽能准确测试页岩储层的孔隙度,但是无法获得孔隙的形貌及
1650万,-南京大学采购色质联用、X射线能谱仪、X射线衍射仪等
近日,南京大学就“南京大学苏州校区科研仪器共享中心高效液相色谱质谱联用仪采购项目”、“南京大学苏州校区科研仪器共享中心多功能X射线光电子能谱仪采购项目”、“南京大学苏州校区科研仪器共享中心X射线衍射仪(基础版)采购项目”、“南京大学苏州校区科研仪器共享中心X射线单晶衍射仪采购项目”发布公开招标公
1650万,-南京大学采购色质联用、X射线能谱仪、X射线衍射仪等
高等学校具有学科和人才方面的优势,因而积聚着科学技术的巨大潜力,是发展科学技术的重要基地。它不仅提供了大量的科研成果,还直接影响着科研与开发的质量,对国家的政治、经济、文化和教育各个方面起着保证和平衡的作用,在科学研究事业中占有极为重要的地位。 近日,南京大学就“南京大学苏州校区科研仪器共享中