深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始，氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展，使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始，到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及前级泵出口采样法等多种氦质谱检漏技术。1956年，B.W.Schumacher开始研究背压检漏，并将它应用到密闭电子器件的检漏中去。1973年D.A.Howl先生对背压检漏方法进行了详尽的数学分析，他推导的漏率计算公式就是现在使用的背压检漏用的经典公式。从60年代末开始，兰州物理所开展了大容器检漏方法研究，将拟质谱检漏技术应用于卫星环模设备、铁路运输液氢槽车、运载火箭氢氧液体燃料箱等大型容器的检漏中。1996年，北京卫星制造厂闫治平等人采用氦质谱的非真空收集法对卫星整体进行检漏。近10年来，曹辉玲等人将前级泵出口采样法应用于电力工业及......阅读全文
氦质谱检漏仪的技术指标
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8
氦质谱检漏仪的结构－(技术贴)
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能
氦质谱检漏仪的技术参数
1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤5min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的最高压力：1500Pa 6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A 7. 工作环境：5-35℃ 8
氦质谱检漏仪压氦法检漏法介绍
压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。 一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根
氦质谱检漏仪的技术参数及特点
主要技术参数 最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5min 响应时间：
氦质谱检漏仪行业应用
氦质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。 （1）航空航天高科技工业 1）例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏，采用正压吸枪与氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从
氦质谱检漏仪是什么？
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏
氦质谱检漏仪工作原理
由于氦气分子颗粒小,渗透性好,而且氦质谱检漏仪对氦气敏感,所以微漏也能检出来
氦质谱检漏仪的介绍
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦质谱检漏仪开机步骤
1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。 2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。 3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发
氦质谱检漏仪的介绍
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦质谱检漏仪产品介绍
氦质谱检漏仪利用磁偏转原理制成的、对示漏气体氦反应灵敏的、用于检漏的质谱仪。氦质谱检漏仪气体工业名词术语，用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体
氦质谱检漏仪发展历程
氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年，一次世界大战期间，欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏，并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作，直到1941年，当时正处于第二次世界大战期中。当时，科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的
氦质谱检漏仪工作原理
由于氦气分子颗粒小,渗透性好,而且氦质谱检漏仪对氦气敏感,所以微漏也能检出来
氦质谱检漏仪的优点
（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。 （2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。 （3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制
氦质谱检漏仪的优势
科技信息化不断更新迭代的市场，氦质谱检漏仪的应用技术也在不断发展和完善。一方面过去的氦质谱检漏仪不能满足现阶段的一个需求，而且对检漏仪提出新要求的情况下，检漏仪设备被迫使更新，另一方面每个行业的不足都在进步的过程，缺陷与不足相互补充，相互促进。而现在的氦质谱检漏仪早已告别了四五十年代的初期情
氦质谱检漏仪工作原理
第二炮兵工程学院 作者：孙开磊 氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真
简介氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化
氦质谱检漏仪杜瓦瓶检漏
杜瓦瓶由不锈钢内胆、外胆，高真空绝热夹层、内置式汽化器、阀门管路系统等组成，用于储存和使用低温液化气体产品（液氮、液氧、液氩、液化天然气、液态二氧化碳）并能自动提供连续的气体，该产品具有以下优点：1.储气量大；2.使用、储存压力低、安全性好、无高压爆炸危险；3.外表美观、洁净卫生，无充装、环境污染；
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等，这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用，刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因：镀膜机需要在高真空环境下工作，真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪镀膜机检漏
目前市场上常见的金黄色、钴铜色、黑色等钻头、铣刀、模具等，这些器具都是经过镀膜技术加工后的涂层工具。经过涂层处理后的硬质合金刀片可以延长刀具寿命并且满足一些特殊的应用，刀具上的颜色不同也就说明涂镀不同的涂层。 镀膜机检漏原因：镀膜机需要在高真空环境下工作，真空度的好坏直接影响镀膜的品质
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中
氦质谱检漏仪常用检漏方法详解
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。一、测定漏点型 确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫
深度揭秘氦质谱检漏技术——实际漏孔率确定、吸枪与氦气
一、实际漏孔的确定如果在被检容器上接一只渗氦型标准漏孔，它对氦气的漏率为Q0，如图25所示。利用标准漏孔比较法可以确定所检出的实际漏孔的漏率值。其方法如下。 图25 实际漏孔漏率测试系统 将检漏仪及检漏系统调速在检漏状态并保持不变。打开标漏阀，待输出指示稳定后读出标漏阀打开前、后检漏仪稳定的输出指
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法，用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，其旋转半径
氦质谱检漏仪的主要技术参数
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。 主要技术参数 最小可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s 启动时间： ≤5mi
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备，热处理设备（合金炉，退火炉），掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉，退火炉）， 掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备
氦质谱检漏仪喷氦法相关介绍
这是最常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷枪喷氦，如果被检器件某处有漏孔，当氦喷到漏孔上时，氦气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意