氦质谱检漏仪的工作原理

1、为什么要检漏 很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。 2、泄漏程度的量化 容器泄漏程度的量化,用泄漏率来表示。漏率的定义其中:△P 为压强的变化量V为容器的体积△t为时间的变化量3、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作......阅读全文

深度揭秘氦质谱检漏技术——仪器的选择及逆流检漏仪

一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始,氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展,使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始,到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及

氦质谱检漏仪常用的测定漏点型检漏方法详解

  测定漏点型  确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。  1、喷氦法  这是最常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头

安徽诺益科技:氦质谱检漏仪的漏率单位换算

根据不同真空获得设备和测量设备所能达到的真空度,我们把真空范围根据真空度进行了分类,如下表所示。压力单位换算计量压力的单位是帕斯卡。该单位是以法国数学家、物理学家、作家兼哲学家布莱兹·帕斯卡(1623 – 1662 年)的名字 命名。根据公式单位帕斯卡是由 Pa = N m-2 组成。 单位 mba

氦质谱检漏方法

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质

氦质谱检漏方法

  氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成

深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏的各种方法

利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多,而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的,因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再

深度揭秘氦质谱检漏技术——氦质谱检漏的各种方法

利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法很多,而检漏中所遇到的被检件的结构、大小、要求也是各式各样的,因此应根据这些特定的条件选择合适的检漏方法。一、喷吹法检漏系统如图15所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再

氦质谱检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法

  氢质谱检漏仪系统的氢质谱检漏仪关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点

电子汽车衡氦质谱检漏仪进行检漏焊接

不管是采用电子束焊接、激光焊接,脉冲氩弧焊接还是其它焊接方法,都必须进行严格的检漏,以保证焊接质量。检漏的方法较多,对于称重传感器而言,采用氦质谱检漏仪进行检漏是比较理想的方法,因为此法工艺性好,精确度高,可靠性强。为便于氦质谱检漏仪有效的检查焊缝质量,称重传感器在抽真空后,应充入90%的氮气,10

电子汽车衡氦质谱检漏仪进行检漏焊接

电子汽车衡氦质谱检漏仪进行检漏焊接不管是采用电子束焊接、激光焊接,脉冲氩弧焊接还是其它焊接方法,都必须进行严格的检漏,以保证焊接质量。检漏的方法较多,对于称重传感器而言,采用氦质谱检漏仪进行检漏是比较理想的方法,因为此法工艺性好,度高,可靠性强。为便于氦质谱检漏仪有效的检查焊缝质量,称重传感器在抽真

氦质谱检漏仪应用于真空焊接炉检漏应用实例

    前言随着我国电器行业的迅速发展,对电工材料的要求越来越高,真空电热设备是提高电工材料性能的一种先进设备,在国外已广泛的采用。目前国内许多生产电工材料的单位都拥有真空护,这些各式各样的真空护都是各单位的关键设备,承担着生产优质电工材料的重任,因此加强真空检漏势在必行。    一、氦质谱检漏仪应

HLT-560-氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏

Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例—深圳某事业有限公司一、 电磁阀阀芯检漏原因:该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯): 由于半导体工业上用的气体如硅烷( S

串联质谱的工作原理

  为了得到更多的有关分子离子和碎片离子的结构信息,早期的质谱工作者把亚稳离子作为一种研究对象。所谓亚稳离子(metastable ion)是指离子源出来的离子,由于自身不稳定,前进过程中发生了分解,丢掉一个中性碎片后生成的新离子,这个新的离子称为亚稳离子。  这个过程可以表示为: m1+m2+ +

氦质谱检漏仪介绍及在压力容器检漏上的应用

  当压力容器储存气体时,漏气对整个容器的气体储存来说是个很大的损失。为解决此问题对制造生产压力容器的厂家来说,历来是个既麻烦又要花费大量时间、人力、精力、财力的事情,但又不一定能够很好的解决泄漏这个关键性的问题。一般压力容器检漏先进行总漏率检测,当总漏率超出允许值后,再进行各个泄漏孔的检测,对超过

华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法

  华尔升氦质谱检漏仪应用广泛,在检漏作业中,根据不同产品对密封的要求多采用负压法,正压法和压氦法三种检漏方法。   1、负压法检漏   负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器

氦质谱检漏仪在溴化锂吸收式制冷技术中的应用

  溴化锂吸收式制冷机是以热能为动力,水和溴化锂水溶液为工质对的低耗电,低噪音的环保型制冷机。利用水在真空状态下,较低温度就可以蒸发的原理,制取冷水。主要有蒸汽型,燃油型,高低温水型,高温水大温差型,冷温水同时供给型,广泛用于楼宇,制造行业的制冷采暖系统。  溴化锂吸收式制冷机对于机体内部气密性要求

氦质谱检漏仪介绍及在压力容器检漏上的应用

    当压力容器储存气体时,漏气对整个容器的气体储存来说是个很大的损失。为解决此问题对制造生产压力容器的厂家来说,历来是个既麻烦又要花费大量时间、人力、精力、财力的事情,但又不一定能够很好的解决泄漏这个关键性的问题。一般压力容器检漏先进行总漏率检测,当总漏率超出允许值后,再进行各个泄漏孔的检测,对

使用氦质谱检漏仪对压力容器检漏时的方法介绍

  加压放置法:充入一个~三个以上大气压的空气,放置24小时或更长,看压力表上压力读数是否下降,用这种方法可检到10-1Pa·m3/S左右的最小漏率。  着色法:充入氨气,在外面着色,可检到10-1Pa·m3/S左右的最小漏率。  超声波法:充入一个~三个以上大气压的空气,用超声波检测器检漏,可检到

华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法

  华尔升氦质谱检漏仪应用广泛,在检漏作业中,根据不同产品对密封的要求多采用负压法,正压法和压氦法三种检漏方法。   1、负压法检漏   负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器

深度揭秘氦质谱检漏技术——钢桶氦质谱检漏技术的应用

钢桶是包装物,对于很多的盛装货物,要求完全的密封,一但泄漏,不仅是货物的损失,还可能造成爆炸、燃烧、中毒及环境污染等各类事故。所以,保证钢桶的气密性,是钢桶生产的关键。因此,在钢桶生产过程中除了要对钢桶的卷边、焊缝、密封器进行严格检漏外,在钢桶的总装生产线上,还要对钢桶的完整产品进行全数出厂检漏。传

深度揭秘氦质谱检漏技术——钢桶氦质谱检漏技术的应用

钢桶是包装物,对于很多的盛装货物,要求完全的密封,一但泄漏,不仅是货物的损失,还可能造成爆炸、燃烧、中毒及环境污染等各类事故。所以,保证钢桶的气密性,是钢桶生产的关键。因此,在钢桶生产过程中除了要对钢桶的卷边、焊缝、密封器进行严格检漏外,在钢桶的总装生产线上,还要对钢桶的完整产品进行全数出厂检漏。传

氦质谱正压检漏法

                                                   兰州物理研究所 作者:曹慎诚    常用氦质谱检漏仪检漏分真空检漏、正压检漏和压力- 真空检漏3 种情况。由于运载火箭从填装燃料到完成飞行任务,绝大部分时间是在大气环境中处于待发状态,飞行时间很短,

氦质谱检漏仪在消防灭火器钢瓶检漏重要性

    某地运钞车发生大火,车载百万现金悉数烧毁,事故过程中随车人员尝试使用车载灭火器瓶,却因灭火器钢瓶失效导致大火无法扑灭,消防人员赶到时,几箱钞票已尽数焚烧殆尽。    灭火器属于特殊器材,在发生火灾的情况下使用,所以平时都会闲置,但是装有灭火材料的钢瓶瓶里有 2.5 MPa 压力,如果钢瓶有漏

氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法

                                                   东北大学 作者:关奎之    灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。① 氦质谱检漏仪灵敏度及其校准        氦质谱检漏仪灵敏度,通

氦质谱检漏仪用于电厂检漏-—-真空冷凝器系统检漏应用

氦质谱检漏仪用于电厂检漏 — 真空冷凝器系统检漏应用一、真空冷凝器系统检漏原因Pfeiffer Smartest HLT 560 氦质谱检漏仪在电厂检漏领域被广泛使用,以往我们了解到的主要是针对电厂汽轮机内部系统或空冷凝器进行查漏。由于电厂系统设备庞大复杂,这里我们侧重选择汽轮机后段工序的空冷凝汽器

深度揭秘氦质谱检漏技术-——发展历史及原理

一、氦质谱检漏技术的发展历史第二次世界大战中期,美国为了制造原子弹,在田纳西州的橡树岭(Oak Ridge)建立的大规模分离铀-235的工厂。为了探测电磁分离器真空系统中的漏孔,1943年由明尼苏达州大学的A.O.C.Nier设计了世界上第一台具有简易气体分析器的玻璃外壳的质谱检测仪。它使用一个热灯

氦检漏的工作原理

真空箱氦检漏,根据氦检漏的基本检漏原理,用氦气作为示踪气体,在真空箱内将氦气充入工件,然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,

氦检漏的工作原理

真空箱氦检漏,根据氦检漏的基本检漏原理,用氦气作为示踪气体,在真空箱内将氦气充入工件,然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,

氦检漏的工作原理

真空箱氦检漏,根据氦检漏的基本检漏原理,用氦气作为示踪气体,在真空箱内将氦气充入工件,然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,

比较法校准氦真空参考漏孔漏率及合成不确定度评定

                                                                                                                            北京卫星环境工程研究所 作者:闫荣鑫    直接比对