氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。 2、泄漏程度的量化 容器泄漏程度的量化，用泄漏率来表示。漏率的定义其中：△P 为压强的变化量V为容器的体积△t为时间的变化量3、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作......阅读全文
ESS－氦质谱检漏仪在真空验证中的应用
氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为惰性气体，不会腐蚀设备，且在容器环境和质谱环境中干扰较少，信号较纯，因而常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪（即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体分析仪）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知
氦质谱检漏仪的发展状况与应用领域
在科学技术的不断发展的时代，氦质及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。1、氦质谱检漏仪的发展状况
氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
1、负压法检漏 负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。 根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子，比如管壳的检漏。检漏仪正常工作后
ASM181T氦质谱检漏仪的日常维护
阿尔卡特 作者：刘朝晖1、机械泵维护 （1） 每月检查机械泵油位，如果油位低于或快接近油位下限时，须添加机械泵油；如果油呈棕色、褐色，或闻起来有异味，说明油已变质。应将油放尽
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，设备具有检漏效率高、简便易操作、仪器反应灵敏、精度高、不易受其他气体的干扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪检漏中最常用的两种方法是喷枪测试法及吸枪测试法
氦质谱检漏仪的简析及使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析： 1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。 2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法，用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，其旋转半径
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉，退火炉）， 掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备
氦质谱检漏仪如何应用于压力容器
在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。 （一）喷氦法 喷氦法是最常用，最方便的检漏
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备，热处理设备（合金炉，退火炉），掺杂设备（离子注入机等）这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛，例如真空镀膜设备（蒸发，溅射），干法雷设备（
深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始，氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展，使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始，到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及
氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法
在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。 （一）喷氦法 喷氦法是最常用，最方便的检漏
氦质谱检漏仪使你得到准确可靠的测试结果
氦质谱检漏仪灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、动力锂电池，阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自
基于虚拟仪器的氦质谱检漏仪监控系统设计
目前，检漏技术在半导体、电力、制冷、航空航天、原子能、真空、医疗和汽车等行业都已得到成功的应用。而氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，有着检测灵敏度高、速度快和适用范围宽的优点，而且，选择了无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦气作为探测气体，使氦质谱检漏仪得到了非常广泛的应用。
影响氦质谱检漏仪检测精度的四大因素
1、受到检测压力的影响 泄漏率对测试压力的依赖性，对不同的测量条件是不同的。一般而言，对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时，试验压力对泄漏率的影响较大，而对于多孔性较低时则影响较小。另外，随测试压力的增高，还会带来诸如温度影响，所需稳定时间加长等一系列问题。因此，建议对特定的工件可采用在一定压
关于氦质谱检漏仪的一些知识点
一、仪器的反应时间及清除时间 仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时，当氦气刚刚喷及漏孔处，即使不考虑氦气通过漏孔的时间，也不可能立即引起质谱室中氦分奢的急剧变化，也就是说不会立即引起输出电流的急剧变化，而要有一个过程。 假定漏孔漏率为QHe，质谱室处对氦的抽速为SHe，质谱室至被检
氦质谱检漏仪在汽车空调行业中的应用
对于目前国际上常用的检漏方法，氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一。消除了水泡检漏法检漏灵敏度低、判断较为困难、误判较多的缺点；也消除了卤素检漏法易受干扰、维护费用较高的缺点。氦气检漏具有以下优点：检漏灵敏度高、准确、清洁无腐、不受干扰、显示直观明确等。武汉普斯特科技氦检漏系统在汽车空调蒸发器、冷
氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法
在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。 （一）喷氦法 喷氦法是最常用，最方便的检漏方法
氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究
北京卫星环境工程研究所 作者：王勇 文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式, 其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时, 提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明: 检漏仪的
氦质谱检漏仪的主要性能指标
1、最小可检漏率：即氦质谱检漏仪所能检出的最小漏孔的漏率。 2、响应(清除)时间：指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后，电子和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示才能达到最大值；反之，停止供气后，漏率指示不能立即回零，需要一定时间的下降过程，通常由于氦气的吸附和脱附作用，清除时间稍长于响应时
氦质谱检漏仪在汽车空调行业中的应用
对于目前国际上常用的检漏方法，氦气检漏法被公认为最先进可靠的方法之一。消除了水泡检漏法检漏灵敏度低、判断较为困难、误判较多的缺点；也消除了卤素检漏法易受干扰、维护费用较高的缺点。氦气检漏具有以下优点：检漏灵敏度高、准确、清洁无腐、不受干扰、显示直观明确等。武汉普斯特科技氦检漏系统在汽车空调蒸发器、冷
氦质谱检漏仪有哪些优点？使用环境是怎样的？
优势特点 1.采用便携式设计 2.设备外型美观小巧 3.采用液晶触摸屏设计 4.有通讯接口 5.可以方便地将检漏数据输出 使用环境 环境温度：5～35℃ 相对湿度：
氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏
伯东公司德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例——深圳某事业有限公司。 一、 电磁阀阀芯检漏原因 该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯)产品如下图
氦质谱检漏仪负压法检漏相关内容
负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。 根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子，比如管壳的检漏。检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏
氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏
一、电磁阀阀芯检漏原因 气体，所以对所用的阀及相关部件，漏率要求非常严格，要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s，而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了。 二、电磁阀阀芯检漏方法 大概的检测过程为：来料用放大镜目视检测，激光焊接完成后再目视检测，最后用氦气质谱检漏仪做最后检
ASM181T氦质谱检漏仪常见故障处理
阿尔卡特公司 作者：刘朝晖1、机械泵故障及处理 （1）机械泵不动作。检查项目有：电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（ 泵冷却后是否能启动）。
真空氦质谱检漏原理与方法综述
第二炮兵工程学院 作者：孙开磊 介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用,较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原
氦质谱检漏仪的优势体现在哪些方面
在真空设备泄漏情况的检查之中也有专业的仪器保证了检查效果的稳定性，而且氦质谱检漏仪精准的线路检测能力得到了更好的提升，该所产品也在我国具体泄漏问题的解决上带来了更多的措施，在我国真空问题的检查之上这种氦质谱检漏仪凭借着其强大的优势获得了更好的应用，而根据分析这种氦质谱检漏仪的优势大致有如下几种。1.
氦质谱检漏仪吸枪法（正压法）检漏时的注意点
吸枪法（正压法）检漏，用纯氦检时，可使用氦气回收装置，重复使用，以降低使用成本。或使用浓度不低于5~10%的氦气混合气体，使用完后，可直接向大气中排放，要注意周围环境中的氦气的浓度，注意周围环境中空气的流动情况，因为这会影响到吸枪法的检测精度。吸枪法（正压法）检漏与卤素检漏极为相似，但应注意的是
氦质谱检漏仪的配置和技术指标等相关介绍
产品简介 BW-930C型是一款分体式检漏仪。 设备内芯制造借鉴国外先进技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。 主要技术指标 1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s 2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/