氦质谱检漏仪的工作原理
1、为什么要检漏 很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。 2、泄漏程度的量化 容器泄漏程度的量化，用泄漏率来表示。漏率的定义其中：△P 为压强的变化量V为容器的体积△t为时间的变化量3、氦质谱检漏仪的原理氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作......阅读全文
应用研究：氦质谱检漏仪用于在直喷发动机生产
氦气检测作为一项新的测漏工艺，可有效提高发动机的出厂质量，降低泄露隐患，相对于传统气密性检测而言，氦检有着无可比拟的优势，克服了燃油检测受安全性、设备构成及节拍长等问题。 燃油直喷技术引入汽油发动机后，其发动机核心部分的高压油轨系统装配质量直接影响整车性能和用户体验。直喷发动机高压油轨系统装配
2024年国内氦质谱检漏仪市场规模4.37亿元
氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，主要用于检测各种设备、管道、容器等的微小泄漏。氦质谱检漏仪技术的进步创新其下游应用领域也在不断拓展。以下是2024年氦质谱检漏仪市场规模分析。 氦质谱检漏仪市场规模 近年来，行业间企业竞争态势出现分化，市场和技术资源向行业龙头企业集中，目前行业中高端检漏领
氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体？
氦质谱检漏仪以及氦质谱检漏，在实际应用中，氦质谱检漏顾名思义一般都会采用氦气作为最主要的示漏气体，这是为什么呢？ 氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点： 1、氦气的质量轻
深圳华尔升智控：科学判断氦质谱检漏仪的测量误差
今天，小编给大家介绍的是氦质谱检漏仪的测量误差可能来自哪些原因。首先，当氦质谱检漏仪的校准灵敏度时，标准泄漏的位置不同于被检测泄漏的位置，即标准泄漏与被检测泄漏到检漏仪之间的距离太大，在途中泄漏的氦损失不相等，导致两者进入检漏仪的氦可比性差。第二，氦压或分压比不等于被检漏孔和标准漏孔，或氦压力和分压
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的质量为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为
常见的几种氦质谱检漏方法
第二炮兵工程学院 作者：孙新利 氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的质量为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25K，临界压力为2.26×105Pa，1atm压力下的沸点为4.214K，熔点为0.9K，三相点温度为
常用的几种氦质谱检漏方法
第二炮兵工程学院 作者：孙新利 氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵
氦质谱检漏仪在350MW汽轮机真空系统检漏中的应用
0 引言 凝汽器真空是影响机组经济性、稳定性的一个重要指标，而真空系统的严密性是影响汽机真空的重要原因之一。 一方面，真空严密性下降将使汽机真空下降，即会导致机组有效焓降减少，使其出力下降，汽耗增大，又会导致排汽温度上升，使冷源损失增加，循环热效率下降；另一方面空气进入凝汽器导致凝结水溶
氦质谱检漏法常见四种检测原理、优缺点及应用
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方
氦质谱检漏法常见四种检测原理、优缺点及应用
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的
质谱联用仪的基本工作原理
为了质谱仪器的正常工作，必须要组成高真空系统的真空室。仪器使用了高性能的涡轮分子泵与前级真空泵构成两级真空机组以确保所需的真空。被分析样品经毛细管柱分离，进入离子源。采用电子电力标准配置(EI)，产生正离子，在推斥、聚焦、引出电极的作用下将正离子送入四极杆系统。四极杆在高频电压与正负电压联合作用
质谱联用仪的基本工作原理
为了质谱仪器的正常工作，必须要组成高真空系统的真空室。仪器使用了高性能的涡轮分子泵与前级真空泵构成两级真空机组以确保所需的真空。被分析样品经毛细管柱分离，进入离子源。采用电子电力标准配置(EI)，产生正离子，在推斥、聚焦、引出电极的作用下将正离子送入四极杆系统。四极杆在高频电压与正负电压联合作用
氦质谱检漏仪常用漏点型、漏率型两种类型检测
氦质谱检漏仪都知道仪器的灵敏度和精准度是非常高的，是通过采用氦气作为介质进行检测，当然这样氦气本身是无色无味无害的气体，但是人体吸入过多会是有害的，采用氦气检测需要对气体经过处理后方可排放，一般而言对要求特别高的产品会采用氦质谱检测仪进行检测。而目前氦质谱检漏方法可分类漏点型和漏率型两种类型
莱宝L200+型氦质谱检漏仪常见故障的分析与处理
西北核技术研究所 作者：白国云 针对L200+ 型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级机械泵不工作等故障和现象进行了分析，并提出
航天器氦质谱真空容器总漏率检测的灵敏度及可信度探讨
北京卫星环境工程研究所 作者：闫荣鑫 依据航天器氦质谱真空容器总漏率检测原理，讨论了检漏仪和真空容器直接相连、同真空容器主真空泵并联、在前级泵和主真空泵间等连接方式，逐项研究了总漏率测试的最小可检漏率、反应时间，分析各
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
西北核技术研究所 作者：胡茂中 为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔
低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究
为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题, 开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验。实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器, 在容器内的氦气浓度为千分之0.5 , 千分之1 , 千分之3 , 千分之5 时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率, 基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔的假设,
氦质谱非真空积累检漏法中几个问题的研究
北京卫星环境工程研究所 作者：王勇 氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中, 因此研究氦质谱非真空检漏
氦质谱检漏灵敏度分析
采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。“要充分发挥检漏仪的能力，以求得尽可能高的检漏灵敏度。必须对辅助真空系统进行合理设计。”通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在真空系统中的连接方式，可以达到检漏目的的连接方式有两种。 检漏
氦质谱背压检漏方法研究
兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室 作者：薛大同 阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题, 在此基础上提出了改进建议。深入探讨了预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系, 指出预充氦背压法可用于检测压氦背压法检测不到的小漏孔,
氦质谱检漏基本知识介绍
一、什么是真空检漏 真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
氦质谱检漏灵敏度分析
采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。“要充分发挥检漏仪的能力，以求得尽可能高的检漏灵敏度。必须对辅助真空系统进行合理设计。”通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在真空系统中的连接方式，可以达到检漏目的的连接方式有两种。 检漏
密封法兰氦质谱检漏技术
西北核技术研究所 作者：胡茂中 密封法兰是在特殊加工的一对法兰之间安放密封垫圈,通过压紧法兰将密封圈挤压变形,实现密封。如果法兰密封面或密封圈存在缺陷,或是压紧时未均匀加力,就会造成法兰密封性达不到要求,必
深度揭秘氦质谱检漏技术－——结构
氦质谱检漏仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。一、质谱室不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中，如图2所示。 图2 质谱室1、离子源离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能
压力容器的氦质谱检漏方法
锦西化工机械（集团）有限责任公司 作者：安丰华 随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。氦质谱检漏方法（以下简称氦检）以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级
氦质谱检漏仪用于电厂检漏冷凝罐及汽轮机管路检漏应用
电厂使用氦质谱检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。电厂检漏使用氦质谱检漏仪Sniffer 模式，检测方法为将吸枪放在真空泵排气管路上，用氦气喷在系统连接位置上，或者真空系统连接部位，喷一点后需要
博为氦质谱检漏仪在电子半导体密封性检测中的检漏应用
一、前言 半导体电子产品由于密封不良，将会造成产品的漏气漏液，从而降低使用性能，有时还会造成本身及附近产品的腐蚀现象，甚至使产品破坏丧失全部功能，以致造成巨大的或不可挽回的损失。根据使用条件不同，应对产品提出不同的密封要求，国家则出具了统一的密封标准。 近年来由于电子行业的发展以及空
氦质谱检漏技术在火电厂中的应用
作者：张皓纯 浙江省电力试验研究所 针对火电厂中真空系统和发电机氢冷系统的泄漏问题，应用氦质谱检漏技术发现系统泄漏点，为检修提供依据,保证机组的安