牛津仪器等离子体技术—为刻蚀、沉积提供领先设备和工艺

分析测试百科网讯 2018年11月7日,牛津仪器在西安天骊君廷酒店召开等离子体技术在刻蚀与沉积工艺中的应用研讨会,来自牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright先生为大家详细介绍了牛津仪器等离子技术部的发展情况及产品介绍。研讨会还邀请到西安电子科技大学杨凌教授、中国电子科技集团重庆声光电有限公司首席专家马晋毅博士分别介绍了三代半导体刻蚀技术的研究进展和未来发展,以及5G时代射频微波滤波器的应用与发展。来自西安周边地区的100余名用户参加本次研讨会,分析测试百科网受邀参加。牛津仪器等离子技术在刻蚀和沉积工艺中的应用研讨会现场牛津仪器中国区总经理 张鹏先生 首先来自牛津仪器总经理张鹏先生在欢迎致辞中介绍到,牛津仪器经过20年的飞速发展,目前已在上海建立中国区总部,并在上海、北京、广州设立办事处,经销服务网络遍布全国。牛津仪器还在北京、上海两地建立多个中国演示中心,包括原子力显微镜实验室、NanoScienc......阅读全文

牛津仪器等离子体技术—为刻蚀、沉积提供领先设备和工艺

  分析测试百科网讯 2018年11月7日,牛津仪器在西安天骊君廷酒店召开等离子体技术在刻蚀与沉积工艺中的应用研讨会,来自牛津仪器等离子技术部亚洲区销售和服务副总裁Ian Wright先生为大家详细介绍了牛津仪器等离子技术部的发展情况及产品介绍。研讨会还邀请到西安电子科技大学杨凌教授、中国电子科技集

GCS采购牛津仪器ICP复合刻蚀系统

  刻蚀、沉积和生长系统的领先供应商牛津仪器今日宣布与全球通信半导体公司(GCS)签订了PlasmaPro® System100 ICP 180复合刻蚀系统的订单。这将会扩大GCS的加利福利亚工厂在电介质和氮化镓刻蚀的能力,并将会安装更多牛津仪器提供的设备。  “GCS之所以选择牛津仪器,是因为他们

等离子体/化学刻蚀设备的刻蚀分类

  刻蚀最简单最常用分类是:干法刻蚀和湿法刻蚀。显而易见,它们的区别就在于湿法使用溶剂或溶液来进行刻蚀。  湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程,是指利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而达到刻蚀目的。其特点是:  湿法刻蚀在半导体工艺中有着广泛应用:磨片、抛光、清洗、腐蚀 

等离子体/化学刻蚀设备中刻蚀的解释

  刻蚀,英文为Etch,它是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻 [1] 相联系的图形化(pattern)处理的一种主要工艺。所谓刻蚀,实际上狭义理解就是光刻腐蚀,先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理,然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。刻蚀是

格拉斯哥大学采用等离子刻蚀系统(牛津仪器公司)

  英国格拉斯哥大学的詹姆斯•瓦特纳米技术中心在其已安装的牛津仪器公司刻蚀和沉积设备基础上添加了一台 PlasmaPro® System100 ICP 等离子刻蚀系统。 PlasmaPro System100 ICP 适用于多种用途下的化合物半导体材料刻蚀,如光电子、毫米波&太赫兹

等离子体/化学刻蚀设备——等离子刻蚀机简介

  等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力

等离子体/化学刻蚀设备化学刻蚀的介绍和过程

  化学蚀刻(Chemical etching)  蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。  蚀刻技术可以分为『湿蚀刻』(wet etching)及『干蚀刻』(dry etching)两类。  通常所指蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),指通过曝光制版、显

牛津仪器为Natre-Dame大学提供等离子体设备

  为进一步的扩大和促进研究能力,美国中西部纳米电子研发中心(MIND)采购了牛津仪器公司等离子技术部的等离子蚀刻和沉积两套设备。该FlexALâ原子沉积(ALD)和System100 ICP等离子蚀刻设备将安装在Notre Dame的纳米加工设施里,位于美国印第安纳州Notre Dame大

印度知名研究机构订购牛津多台设备

  牛津仪器等离子技术部是刻蚀、沉积和生长设备的领导者,近期获得位于印度班加罗尔的印度科学院(IISc)纳米电子研究中心(CEN)采购三台等离子刻蚀与沉积设备的订单。这三台System100等离子刻蚀与沉积设备将安装在该纳米电子研究中心(CEN)先进的纳米电子设备无尘室内,其中两台是PlasmaPr

微波等离子体亚深微米刻蚀

利用微波电子回旋共振(ECR)可以产生高密度的等离子体,选择不同的活性种粒分别对硅、砷化镓等半导体,Al, Cu, W, Ti 等金属,SiO2, Si3N4, Al2O3等无机物质和聚酰亚胺等有机物质,进行选择性刻蚀,制备大规模集成电路的芯片。现在的刻蚀技术,主要是采用电子束或同步辐射束曝光后,用

牛津仪器“新型纳米技术先进工艺研讨会”在沪举办

  分析测试百科网讯 2016年3月14日,牛津仪器“新型纳米技术先进工艺研讨会”在上海浦东假日酒店举办,本次研讨会邀请了业内专家学者就纳米制造、新工艺技术等方面展开了一系列的学术交流,让在场的参会人员受益匪浅,更深入了解了牛津仪器在纳米技术方面的新产品、新进展和新应用。分析测试百科网受邀参加了

牛津仪器参展SEMICON-China展示纳米制造和分析解决方案

  分析测试百科网讯 2016年3月15日,半导体技术大会(SEMICON China)在上海新国际博览中心开幕,牛津仪器在展会上展示了纳米制造分析工具解决方案。 牛津仪器SEMICON China展台 牛津仪器半导体设备部中国区经理陈世伟(中)与团队合影   牛津仪器纳米制造和

Tony-Bosley加入牛津仪器

  牛津仪器磁共振,智能台式核磁共振(NMR)的领先供应商,宣布Tony Bosley已任职该公司总经理。托尼在国际科学仪器领域具有可溯的优秀记录,并将工作在牛津仪器的Tubney Woods,牛津仪器Oxfordshire的工厂。   托尼加入牛津仪器前来自E2V科学仪器有限公司,

牛津仪器成功收购德国WAS公司

原文发表于2007年8月1日     牛津仪器正式宣布成功收购了德国WAS公司,并得到了管理层的接受与支持。WAS公司在Arc/spark直读光谱仪和金属材质分析的设备方面,是一家领先的德国制造商和国际供应商。       WAS公司在便携、台式直读光谱仪(OES)中带来的技术和经验,将加强牛津仪

牛津仪器超级能谱仪

  近日,牛津仪器成功为西安交大、上海科技大学、中国科技大学、华为4家单位安装调试了最新的超级能谱仪Extreme,取得到了客户的一致好评。   Extreme超级能谱仪拥有独到的设计,可以满足在极低加速电压下工作的需要,实现10nm左右空间分辨率的能力,是纳米材料、薄膜材料分析的利器。   同

牛津仪器公司荣获女王奖

  萨默塞特郡治安长官伊丽莎白·加斯女士于本周访问了位于北萨默塞特的牛津仪器等离子体技术公司,并向其颁发了企业类女王奖。牛津仪器公司专业制造的高性能半导体产业主要设备,获得了国际贸易奖,其海外收入六年来持续增长,总增长超过一倍,其中出口占比超过90%。能够有如此杰出的表现是基于本公司全面的产品范围,

牛津仪器打入欧洲LED制造业

  随着对LED需求的增加,牛津仪器等离子技术在高亮度LED制造业发挥着越来越重要的地位。位于德国Landshut 市的Optogan集团,作为LED制造业的领先者已向牛津仪器订购多套刻蚀及沉积的复合设备,包括PlasmaProTM System133 ICP 和 PlasmaPro 800

新一代HBLED批量生产设备

  牛津等离子部生产出PlasmaProTM NGP®1000 HBLED等离子体刻蚀和沉积设备,为HBLED制造业带来极大的好处。业界领先的大规模生产能力生产从61 x 2"到 7 x 6"尺寸的晶片以高品质的设备性能和产量相结合,意味着牛津仪器能够为客户提供一种特殊的HBLED生产。  NGP1

牛津仪器:高端仪器打造完美解决方案

  2013年10月23日,第十五届北京分析测试学术报告会暨展览会(BCEIA 2013)于北京展览馆盛大开幕,本届展览会以“分析科学创新未来”为主题,吸引了来自国内外的17个国家和地区的364家厂商参展。牛津仪器作为一家世界领先的高科技系统设备供应商,提供纳米分析设备

牛津仪器纳米分析部微博

  牛津仪器纳米分析部开微博啦!http://weibo.com/oichinana . 或者微博中直接搜索:牛津仪器纳米分析部   该微博专门用于发表能谱、波谱、EBSD及omniprobe等产品知识、技术创新、培训安排及交流活动等等信息。   欢迎各界人士关注并参与评论,尤为欢迎大家提出各种

牛津仪器任命专门的培训主任

      作为公司对客户持续承诺的一部分,牛津仪器等离子技术部门扩大了其系统的维护和流程培训,以新的方案以及通过一个专门的培训主任。      新任命的训练主任Nick Curtis的职责是确保客户获得对牛津仪器蚀刻,沉积和生长系统的全面的了解,以最大限度地提高其性能和制程能力。尼

牛津仪器北戴河能谱培训会

  为了帮助用户进一步熟悉并掌握牛津仪器能谱仪和INCA软件的应用,牛津仪器将于2011年7月21日和7月22日在美丽的海滨城市北戴河举行为期两天的能谱培训会。会上将详细介绍能谱分析的原理和方法,以及INCA软件的各项功能和应用。  具体事宜请参见此网页http://oichina.cn/produ

牛津仪器收到Ostendo公司的订单

  牛津仪器欣喜地收到Ostendo信息技术有限公司的订单:在工业领先的PlasmaPro System100 PECVD反应沉积和PlasmaPro System100 ICP备蚀刻设备。Ostendo将多晶圆批量设备用在以显示技术为基础的下一代固态照明的发展(SSL),还有商业和消费市场的产品方

牛津仪器宣布收购德国VeriCold公司

原文发布于2007年8月22日  牛津仪器宣布成功的收购了德国VeriCold Technologies GmbH公司。VeriCold依靠自有的脉冲管冷头技术生产一系列无制冷剂产品,这些产品将补充并扩大牛津仪器的低温和磁场仪器的使用范围。这次收购是首席执行官Jonathan Flint制定的牛津

牛津仪器上市公司中期管理报告

  牛津仪器上市公司,是一家为工业和科研提供高科技设备和系统的龙头供应商,今天发布了中期管理报告,本报告覆盖的时间段是从2010年4月1 日到报告发布前。  上一个财政年度从2010年3月31日截止,去年下半年业绩的出色表现一直得以维持并延伸到本财年。除去像国际热核反应堆(ITER)这样的非经常性大

牛津仪器董事长逝世,谁将接手?

  牛津仪器公司董事会宣布其董事长Alan Thomson逝世,Alan自2016年9月起担任董事长,以其丰富的经验和智慧,为公司做了很大的贡献。  首席执行官Ian Barkshire评论到:“Alan在推动改进方面的承诺和热情鼓舞人心,他的支持,指导和友善得到了大家的尊重。 牛津仪器公司和所有了

2012年牛津仪器用户会(敦煌)

  随着科学技术发展的日新月异,材料分析手段也日渐提高。材料工作者对能谱检测的要求也日渐提高,不仅对微量元素、轻元素的定量结果准确性要求越来越高,而且对能谱反复检测的稳定性,定量结果的一致性也越来越看重,准确与稳定的系统正是材料检测发展的必然之路。同时越来越多的研究者认识到单一的检测手段已不能完全说

牛津仪器宣布收购Medical-Imaging-Resources公司

  分析测试百科网讯 2015年5月1日,牛津仪器——为工厂和研究机构提供高科技工具的领导者商,宣布收购Medical Imaging Resources公司(MIR)。  1990年首席执行官John Vartanian成立了MIR公司,公司位于在美国密歇根州Ann Arbor,MIR专门从事移动

牛津仪器收购Omicron公司和Omniprobe公司

  在工业和科学研究行业中,作为世界一流的高科技设备和系统供应商——牛津仪器公司,正式宣布收购了Omicron纳米科技有限公司(包括其下属子公司)和Omniprobe公司。   牛津仪器公司以3,240万欧元(大约2,810万英镑)收购Omicron公司,其中包括价值500万欧元(大约430万英镑

牛津仪器收购了Link-Analytical-AB公司

先进的科研设备制造商牛津仪器于2008年5月28日正式宣布从Anna Otterstrom手中收购了Link 公司所有的业务及资产。 Link公司的主要业务包括对在斯堪的纳维亚半岛牛津仪器纳米分析部产品的销售与售后支持。这次收购也将为牛津仪器在这个地区销售有关分析仪器的第三方设备提供了机会。 收