电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（三）
4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13]，即当一束激光照射至扫描镜表面，当扫描镜静止时，激光会发生反射，同时在接收屏上形成激光光斑，当扫描镜振动时，激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S，扫描线的长度为L，扫描线顶端到基准点的距离为H，则扫描角度可以表示为θmax=12(arctanHS−arctanH−LS)(10)图 9给出了MEMS振镜在直流激励下的电流-转角测量及仿真结果图，仿真耦合了ANSYS力学模块与Ansoft电磁场模块.从图中可以发现当施加的电流较小时，机械转角随着电流的增加呈线性增加，当电流增加到120 mA左右时，实测机械转角不再增加，由于仿真模型中没有最大转角限制，仿真转角继续增加.实测慢轴、快轴分别在120 mA已经达到了当前封装状态下的最大机械扭转角度±4.5°，±5°.图 9 电流-转角关系Fig.9 Current-angle rela......阅读全文
电磁驱动的运动精度
由于电磁驱动台的驱动是以磁场为介质的，因此磁场的分析和设计是电磁微动台整体结构设计的前提。尽管目前学者已经对磁场分析、电磁力计算等重要问题进行了相关研究，但是还未形成一套完整的电磁微动台磁场分析和设计的理论。特别是对边端效应、局部饱和、推力波动等影响定位性能的重要因素，以及如何实现长行程、大推力和
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（一）
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1 摘要：基于微机电系统工艺，设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小，选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应，
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（三）
4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13]，即当一束激光照射至扫描镜表面，当扫描镜静止时，激光会发生反射，同时在接收屏上形成激光光斑，当扫描镜振动时，激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S，扫描线的长度为L，扫描线顶端到基准点的距离为H，则扫描角度可以表示为θmax
电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜（二）
扫描振镜的运动过程可以采用质量-阻尼-弹簧的二阶振动系统方程来表达，运动方程为T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中，T为驱动力力矩，Im为振镜的转动惯量，C为阻尼系数，Ks为扭转轴的弹性常量，θ为转动角度.扭转轴的弹性常量计算公式为Ks=2[5.33−3.36ba(1−b412a4)]ab3GLf
APEX压痕划痕仪电磁驱动传感器
电磁驱动传感器三板电容传感以超高精确度检测位移针尖几何形状为berkovich、球体、或立方隅角的压痕检测器微纳压痕检测信息图案化，信息完整全面可选择线性成像(推荐3D轮廓仪)检测效率高，重复性好选择先进的原位传感器用户自定义数据分析算法或分析模型，精确检测材料机械性能符合 ASTM, DIN和IS
丹麦PR电磁阀9203A/警报灯驱动器仪器文献
电磁阀，警报 LED 灯/喇叭驱动隔离器扩展的自我诊断单/双通道版本允许独立供电或电源导轨供电，例如 PR 9400通过全面评估的 SIL 2 认证高级功能电磁阀等通用驱动隔离器。两种不同输出规格可选，低电流（35 mA）和高电流（60 mA）输出。通过可拆卸显示面板调节和显示过程参数（PR 45x
功率放大器在无线充电测试中驱动电磁线圈的应用
无线充电技术，源于无线电力输送技术。是利用近场感应信号发生器、功率放大器与电磁感应装置之间以电感耦合传送能量，三者之间不用电线连接，其中功率放大器作为电能发射和电磁场中间放大信号波的介质，电磁感应“磁耦合”进行短程传输，它的特点：传输距离短、使用位置相对固定，效率高，操作便捷，很适合作为无线充电
微流控芯片驱动-磁驱动泵
采用磁激发的泵(magnetic-actuated pump) 即磁驱动泵(magnetically-driven pump ,MDP) 也是一种重要的微流体驱动控制技术—磁流控技术。磁流控技术与光驱动泵一样，一般需要在被驱动流体中添加亲磁性纳米粒子介质,实现对流体的有效控制。磁流体驱动泵的优缺点优
磁力驱动泵介绍
磁力驱动泵的参数依具体型号而定，也受介质属性和工况环境影响，对性能参数有需求的客户应当先明确自身运输所需的具体指标，然后根据实际需求选配机型合宜的磁力泵，不同产品型号的参数可进一步参阅以下内容知悉。关于磁力驱动泵的参数，产品性能说明书所表明的性能，往往是在不考虑工作环境和运输介质为清水类液体时的所展
AFM驱动控制方式
驱动控制方式XY轴扫描运动：需要四通道分别对四个区域进行双极性驱动。Z轴扫描运动：需要对外部四个区域加载正电压，内部接地或者内部加负电压（内壁不可以加正电压）。我们推荐采用我公司模块化E01系列双极性压电控制器产品，具有模块化组合，多通道输出，分辨率高、纹波小等优点，可以满足AFM原子力显微镜对压电