电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜(三)

4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13],即当一束激光照射至扫描镜表面,当扫描镜静止时,激光会发生反射,同时在接收屏上形成激光光斑,当扫描镜振动时,激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S,扫描线的长度为L,扫描线顶端到基准点的距离为H,则扫描角度可以表示为θmax=12(arctanHS−arctanH−LS)(10)图 9给出了MEMS振镜在直流激励下的电流-转角测量及仿真结果图,仿真耦合了ANSYS力学模块与Ansoft电磁场模块.从图中可以发现当施加的电流较小时,机械转角随着电流的增加呈线性增加,当电流增加到120 mA左右时,实测机械转角不再增加,由于仿真模型中没有最大转角限制,仿真转角继续增加.实测慢轴、快轴分别在120 mA已经达到了当前封装状态下的最大机械扭转角度±4.5°,±5°.图 9 电流-转角关系Fig.9 Current-angle rela......阅读全文

电磁驱动的运动精度

 由于电磁驱动台的驱动是以磁场为介质的,因此磁场的分析和设计是电磁微动台整体结构设计的前提。尽管目前学者已经对磁场分析、电磁力计算等重要问题进行了相关研究,但是还未形成一套完整的电磁微动台磁场分析和设计的理论。特别是对边端效应、局部饱和、推力波动等影响定位性能的重要因素,以及如何实现长行程、大推力和

电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜(三)

4 振镜的测试MEMS扫描镜扫描角度的测量原理为激光三角法[13],即当一束激光照射至扫描镜表面,当扫描镜静止时,激光会发生反射,同时在接收屏上形成激光光斑,当扫描镜振动时,激光光斑变为一条直线.若扫描镜到接收屏的距离为S,扫描线的长度为L,扫描线顶端到基准点的距离为H,则扫描角度可以表示为θmax

电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜(二)

扫描振镜的运动过程可以采用质量-阻尼-弹簧的二阶振动系统方程来表达,运动方程为T=Imθ¨+Cθ˙+Ksθ(1)式中,T为驱动力力矩,Im为振镜的转动惯量,C为阻尼系数,Ks为扭转轴的弹性常量,θ为转动角度.扭转轴的弹性常量计算公式为Ks=2[5.33−3.36ba(1−b412a4)]ab3GLf

电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜(一)

电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究何嘉辉1,2, 周鹏2, 余晖俊2, 沈文江2, 司金海1    摘要:基于微机电系统工艺,设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小,选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应,

APEX压痕划痕仪电磁驱动传感器

电磁驱动传感器三板电容传感以超高精确度检测位移针尖几何形状为berkovich、球体、或立方隅角的压痕检测器微纳压痕检测信息图案化,信息完整全面可选择线性成像(推荐3D轮廓仪)检测效率高,重复性好选择先进的原位传感器用户自定义数据分析算法或分析模型,精确检测材料机械性能符合 ASTM, DIN和IS

丹麦PR电磁阀9203A/警报灯驱动器仪器文献

电磁阀,警报 LED 灯/喇叭驱动隔离器扩展的自我诊断单/双通道版本允许独立供电或电源导轨供电,例如 PR 9400通过全面评估的 SIL 2 认证高级功能电磁阀等通用驱动隔离器。两种不同输出规格可选,低电流(35 mA)和高电流(60 mA)输出。通过可拆卸显示面板调节和显示过程参数(PR 45x

功率放大器在无线充电测试中驱动电磁线圈的应用

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微流控芯片驱动磁驱动泵

采用磁激发的泵(magnetic-actuated pump) 即磁驱动泵(magnetically-driven pump ,MDP) 也是一种重要的微流体驱动控制技术—磁流控技术。磁流控技术与光驱动泵一样,一般需要在被驱动流体中添加亲磁性纳米粒子介质,实现对流体的有效控制。磁流体驱动泵的优缺点优

AFM驱动控制方式

驱动控制方式XY轴扫描运动:需要四通道分别对四个区域进行双极性驱动。Z轴扫描运动:需要对外部四个区域加载正电压,内部接地或者内部加负电压(内壁不可以加正电压)。我们推荐采用我公司模块化E01系列双极性压电控制器产品,具有模块化组合,多通道输出,分辨率高、纹波小等优点,可以满足AFM原子力显微镜对压电

磁力驱动泵介绍

磁力驱动泵的参数依具体型号而定,也受介质属性和工况环境影响,对性能参数有需求的客户应当先明确自身运输所需的具体指标,然后根据实际需求选配机型合宜的磁力泵,不同产品型号的参数可进一步参阅以下内容知悉。关于磁力驱动泵的参数,产品性能说明书所表明的性能,往往是在不考虑工作环境和运输介质为清水类液体时的所展

进口电磁阀低功率电磁阀

印度ROTEX进口电磁阀低功率电磁阀常见低功率3.5W、1W、0.5W,具体选型请咨询。电磁阀是气动控制阀的必备附件之被广泛应用于化工、电力、冶金、医药、食品等各个行业。但大家不知道的是,中国是世界上最大的电磁阀生产国(出口国家),也是最大的电磁阀进口国。电磁阀有很多种类,数以千计。就大类而言,如医

电磁水表和电磁流量计的区别

  电磁水表和电磁流量计有什么区别?其实电磁水表也是电磁流量计的一种。由于电磁流量计测量的介质多样,所以市面上电磁流量计的种类繁多,电磁流量计对测量的介质要求是具有导电性和一定的介电常数。  电磁水表一般和电磁流量计还是有所差别的,它们之间的差别主要体现在以下方面:  一、应用领域  电磁水表:主要

伺服驱动器怎样维修_伺服驱动器维修技巧

伺服驱动器的特点 1、伺服驱动器软件程序主要包括主程序、中断服务程序、数据交换程序。 2、伺服驱动器主程序主要用来完成系统的初始化、LO接口控制信号、DSP内各个控制模块寄存器的设置等。 3、伺服驱动器所有的初始化工作完成后,主程序才进入等待状态,以及等待中断的发生,以便电流环与速度环的调节。 4、

更清洁驱动力-电池驱动飞机引巨头关注

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关于电磁离合器的电磁转差问题

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插入式电磁流量计电磁的清洁方法

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新任部长王志刚答记者问:创新驱动发展,改革驱动创新

新任科技部部长王志刚在“部长通道”接受采访。3月19日,时间已过中午12时,北京人民大会堂“部长通道”外依然人头攒动,热度不减。一阵相机快门的“咔嚓”声中,红毯上迎来新任科技部部长王志刚。“现在脑子里想的是如何发挥科技第一生产力的作用,怎样让科技工作更好服务于国家经济社会发展。”一出场,王志刚就表达

2019创新驱动引领高质量发展峰会:加快区域创新驱动

  12月29日,“2019创新驱动引领高质量发展峰会暨陕西省创新驱动共同体成立两周年”活动在陕西西咸新区沣东新城举办。本次活动由陕西省创新驱动共同体、陕西省西咸新区沣东新城管委会主办,陕西省科学技术协会、陕西省发展和改革委员会、陕西省科学技术厅、陕西省工业和信息化厅、陕西省社会组织管理局指导,西安

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2月25日,国新办举行科技创新有关进展情况新闻发布会。科技部副秘书长贺德方在回答记者关于科技体制改革进展时介绍,科技体制改革工作始终围绕建设创新型国家和世界科技强国目标,坚持科技创新与体制机制创新“双轮驱动”。贺德方表示,通过坚持以深化改革来激发科技创新的活力,全面推动《深化科技体制改革实施方案》1

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Sempell滑阀的驱动方式

   我司具有良好的市场信誉,专业的销售和技术服务团队,凭着多年经营经验,熟悉并了解市场行情,赢得了国内外厂商的支持。本公司已成为众大中小企业的固定供应商及国内贸易商合作伙伴,至力于成为行业中之一的公司。    因为我司在德国、美国都有自己的公司,专业从事进口贸易行业,所以我司的技术人员为都会轮流

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磁力驱动泵损坏分析

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《科学》:基因调节驱动进化

耶鲁大学的研究人员发表在8月10日的《科学》杂志上的文章显示,他们通过采用新方法分析基因启动子序列变异,而且对基因调节推动进化分歧有了新的了解。 之前完成的基因组测序工作显示,人类和黑猩猩的蛋白质编码基因有99%是相同的。目前生物学家面临的挑战是解释导致人和猩猩之间明显差异的原因。通常认为,如果

创新驱动-质造未来

为进一步促进电子材料相关领域的产学研深度交流与融合,加速解决关键技术领域的重要难题,推动我国电子材料行业快速健康发展,11月21~22日,2024先进电子材料产业发展(滁州)大会在滁州市召开。大会由中国化工信息中心、中国化工情报信息协会、滁州市人民政府联合主办,中国科学院院士欧阳钟灿、安徽省工业和信