基于MEMS磁传感器设计及制作(一)

由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响,因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用,如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用,已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器,常见的有超导量子干涉装置(SQUID) 、磁通门磁力计、霍尔效应传感器、各向异性磁阻(AMR)传感器、微机电系统(MEMS)磁传感器。在这些传感器中,虽然SQUID可探测极小磁感应强度(fT),但装置需要低温冷却,并且易受电磁干扰,为此需要复杂的外围设备;磁通门磁力计具有体积大、功耗大、运行范围小和不能检测静态磁场的特性,限制了其应用;霍尔效应传感器显示增加灵敏度需靠增加功耗实现;而AMR传感器则要求沉积磁性材料及自动校正系统,且在几mT时易出现饱和;由于MEMS技术可以将传统的磁传感器小型化,因此基于MEMS的磁传感器具有体积小、性能高、成本低、功耗低、......阅读全文

基于MEMS磁传感器设计及制作(一)

由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响,因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用,如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用,已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器,常见的有超导量子干涉装置(

基于MEMS磁传感器设计及制作(二)

Langfelder等制备了具有电容读出的MEMS磁场传感器,该传感器可检测与谐振结构表面垂直方向(z轴) 的磁场。它由一组固定定子和两根细梁悬挂的梭子组成,形成2个差分平行板敏感电容器C1和C2,见图4。具有传感器共振频率的梁,在通有电流时与磁场相互作用,从而使2个细梁受到洛伦兹力作用。这个力

基于MEMS加速度传感器的原理及分析

   摘要:主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速计传感器,从物理结构的角度对这 几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压 阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。  关键词:硅微机械加

MEMS气体传感器的设计与工艺

目前,气体传感器的应用日趋广泛,在物联网等泛在应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测,该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点,MEMS技术为解决MOS

压电MEMS超声波换能器设计(一)

本文为OnScale与Mentor合作推出,由行业专家撰写,文章详细介绍了压电MEMS超声波换能器产品的设计过程,包括传感器的仿真、设计以及它与整个系统的集成。了解系统我们正在开发一种槽罐液位监测系统。该系统可以安装在啤酒厂、酿酒厂和其他饮料厂的物联网边缘设备中,用以收集液位的状态,并可主动通知技术

MEMS传感器:无人机的核心(一)

无人机的市场规模和范围持续蓬勃发展,新应用程序不断涌现。无人机的应用也越来越普遍,无论是运送邮件还是包裹、为儿童和老年人提供娱乐、安全监控、农业或工业管理,或开辟航空摄影的新视野。最初,大多数无人机都是相对简单的玩具。然而最近,其飞行能力显著提高,使其更安全、更稳定、更易于控制,从而能够用于更广泛的

压电MEMS超声波换能器设计(二)

当微控制器设置SR锁存器时,飞行时间(ToF)功能启动,SR锁存器开始在采样保持积分器上累积电荷。同时,微控制器按PMUT设计的谐振频率产生一系列脉冲(122kHz)。因为核心电源电压为2.5V,而根据PMUT的要求必须升高至32V,所以使用电荷泵DC-DC转换器和数字电平转换器将脉冲放大至

集成滤光窗的-MEMS-红外传感器电子封装(一)

摘要传感器半导体技术的开发成果日益成为提高传感器集成度的一个典型途径,在很多情况下,为特殊用途的MEMS(微机电系统)类传感器提高集成度的奠定了坚实的基础。本文介绍一个MEMS光热传感器的封装结构以及系统级封装(SIP)的组装细节,涉及一个基于半导体技术的红外传感器结构。传感器封装以及其与传

基于自编程功能的MCU-Bootloader设计(一)

       Bootloader是在单片机上电启动时执行的一小段程序。也称作固件,通过这段程序,可以初始化硬件设备、建立内存空间的映射图,从而将系统的软硬件环境带到一个合适的状态,以便为最终调用应用程序准备好正确的环境。  Boot代码由MCU启动时执行的指令组成。这里的loader指向MCU的F

汽车传感器的发展趋势

  未来的汽车传感器技术的发展趋势是微型化、多功能化、集成化和智能化。  20世纪末期,设计技术、材料技术,特别是Mems (微电子机械系统)技术的发展使微型传感器提高到了一个新的水平,利用微电子机械加工技术将微米级的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在同一芯片上,它具有体积小、价格便宜、可靠性

2018年全球MEMS传感器竞争格局及发展趋势

   区域竞争:产业向亚太转移,美、日、德依旧为领先国家  纵观全球MEMS传感器市场,美、日、德一直占据着主导地位。然而近年来,亚太地区(含日本)受到智能手机、平板电脑、可穿戴产品等市场需求持续增长、且全球电子整机产业不断向中国转移等因素影响,增长速度较快,2017年MEMS市场占比达到46.8%

基于特征模理论的系统天线设计方法(一)

一、概述不断提高通信系统的通信容量和质量,是无线通信的永恒主题。随着无线通信技术的迅速发展,人们对天线的设计提出了越来越多的要求。采用超宽带(UWB)技术和多输入多输出(MIMO)技术在提高数据传输率方面具有极大的潜力,MIMO技术能够提高通信系统的信噪比,提高信道容量及抑制信道衰落,对于移动设备来

高温超导技术在微磁传感器中的应用(一)

1、引言超高精度磁传感器在生物磁测量、地磁导航、天文观测、基础物理特性分析等科研领域具有广泛的应用前景和迫切需求。比如,在生物磁信号探测领域,典型的心脏磁场为 10-9—10-10T,脑磁场为10-11—10-12 T,目前能够满足检测pT(10-12 T)量级测量精度的磁传感器有光泵磁传感

浅析基于霍尔传感器的电流检测系统的选型与设计

  摘要:为了对临震前动物行为异常与电磁异常关系的研究,需要设计一款探测电磁信号的仪器,本文主要根据探测仪探头的需求,使用霍尔电流传感器模块ACS712ELCTR-05B,设计了以STC89C52单片机为核心控制器电流检测系统,并介绍了该系统硬件和软件的设计思路,包括A/D转换电路,A/D转换与单片

2024MEMS传感器展会|2024上海国际MEMS传感器应用技术展览会「官网」

2024中国(上海)国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间:2024年11月18日-20日 地点:上海新国际博览中心联系人:李主任  手 机:136

基于磁珠的RIP实验流程

RIP 实验基本原理:• 用抗体或表位标记物捕获细胞核内或细胞质中内源性的RNA结合蛋白。• 防止非特异性的RNA的结合。• 免疫沉淀把RNA结合蛋白及其结合的RNA一起分离出来。• 结合的RNA序列通过microarray(RIP-Chip),定量RT-PCR或 高通量测序(RIP-Seq)方法来

基于磁珠的RIP实验流程

RIP 实验基本原理:• 用抗体或表位标记物捕获细胞核内或细胞质中内源性的RNA结合蛋白。• 防止非特异性的RNA的结合。• 免疫沉淀把RNA结合蛋白及其结合的RNA一起分离出来。• 结合的RNA序列通过microarray(RIP-Chip),定量RT-PCR或 高通量测序(RIP-Seq)方法来

基于磁珠的RIP实验流程

RIP 实验基本原理:• 用抗体或表位标记物捕获细胞核内或细胞质中内源性的RNA结合蛋白。• 防止非特异性的RNA的结合。• 免疫沉淀把RNA结合蛋白及其结合的RNA一起分离出来。• 结合的RNA序列通过microarray(RIP-Chip),定量RT-PCR或 高通量测序(RIP-Seq)方法来

2025深圳MEMS传感器展「展位申请」深圳传感器展会

2025深圳(中国)传感器展「官网」深圳传感器展展览时间:2025年4月9-11日展会时间:2025年4月9日-11日论坛时间:2025年4月9日-11日展会地点:深圳国际博览中心展会规模:50,000平方米、800家展商、90,000名专业观众前面三位数:136 (李先生)中间四位数:5198 (

重庆研发出全球顶级MEMS传感器芯片

  近日,记者从两江新区获悉,重庆企业研发出全球顶级MEMS(微机电系统)传感器芯片,这种芯片将用于监测桥梁、隧道等市政设施,监测精度比传统监测方式提升10倍。  据介绍,重庆德尔森传感器技术有限公司是落户两江新区的一家科技企业,2015年,该公司开发出MD系列MEMS传感器芯片。该芯片采用了多项创

MEMS加速度传感器的工作原理

什么是MEMS加速度计?加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。MEMS(MICro EleCTRo Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加

尺寸/成本优势兼具,MEMS光谱传感器亮相

  微机电系统(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美国西部光电展(SPIE Photonics West 2015)上发布第一款MEMS光谱感测器(Spectral Sensor),可用以设计手持式近红外线(Near Infra-Red, NIR)光谱分析仪,协助农夫

环境监测:MEMS传感器发展新趋势

  物联网的崛起,使传感器进入了一个新的发展趋势。而消费者逐步对周边环境品质要求上升时,也带动了环境传感器的需求上涨。  在智慧型手机以及穿戴式装置应用中,陀螺仪、加速度传感器和磁力计等动作传感器已发展成熟。制造商们开始找寻创新应用,意法半导体与博世公司都认为,环境传感器将是接下来微机电系统传感器一

MEMS传感器:无人机的核心(二)

磁力计磁力计如同一部指南针,可以根据地球的磁场实现无人机的航向。Bosch Sensortec的BMM150就是一个例子,这是一部三轴数字地磁传感器。BMM150与BMI088型IMU结合使用,可提供九自由度(DoF)解决方案,用于航向估算和导航。在宽泛温度范围内的稳定性能、16位分辨率和抗强磁场的

磁聚焦一体化传感器介绍

   磁聚焦一体化传感器,指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正?比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。这种

磁致伸缩位移传感器名词解释(一)

磁致伸缩位移传感器(Magnetostrictive Position Sensor),是基于铁磁性材料磁致伸缩效应而开发的一种具有特殊优点的位移检测装置,具有高可靠性、高分辨率、非接触测量、耐油抗污等特殊优点,能在恶劣的工业环境下,对各种运动部件的位移(位置)、速度进行连续、精确、实时的检测,

国内传感器产品向高端市场迈进

  在物联网快速发展的时代下,传感器行业也迎来了前所未有的市场。传感器受到了国内外厂商的高度重视,而国内传感器厂商其产品开始向高端市场迈进,以获得更好的发展。  高端传感器市场蓬勃发展  随着物联网在各行业的落地,传感器市场面临高速增长。据IHS2015年11月份数据,消费和移动电子市场仍然是驱动M

使用Tanner在物联网边缘智能器件设计中融合CMOS-IC与MEMS

简介创建基于传感器的物联网(IoT)边缘器件会涉及多个设计领域,因此极具挑战性(图1)。但是,在同一硅片上创建一个既有采用传统CMOS IC流程制作的电子器件,又有MEMS传感器的边缘器件似乎不大现实。实际上,许多IoT边缘器件会在单个封装中集成多个芯片,将电子器件与MEMS设计分开。Tan

磁栅尺的设计简介

  磁栅的一个重要特点是磁栅尺与磁头处于接触式的工作状态。磁栅的工作原理是磁电转换,为保证磁头有稳定的输出信号幅度,考虑到空气的磁阻很大,故磁栅尺与磁头之间不允许存在较大和可变的间隙,最好是接触式的。为此带型磁栅在工作时磁头是压入于磁带上的,这样即使带面有些不平整,磁头与磁带也能良好的接触。线型磁栅

地质地球所发明一种MEMS传感器的集成封装方法

  目前,电子元器件芯片朝着越来越复杂的方向发展,而传统的IC集成器件封装和金属管壳封装都会带来困难。例如MEMS传感器,为了提高其性能,往往需要增加可动质量块的厚度,使用传统的IC集成器件封装技术和国内外标准的LCC(无引脚芯片载体)封装管壳的腔体深度往往不能满足MEMS厚度的要求,极大地造成了封