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原子层组装技术实现多重纳米结构的精准调控加工

利用各种纳米加工技术制备的纳米结构和器件在微纳光子学、微纳电子学、生物学及纳米能源等领域发挥了重要作用,但同时也对纳米加工的尺寸、形状、空间排列和组装等工艺控制提出了越来越高的要求。现有的传统纳米加工技术(如电子束曝光、聚焦离子束直写、阳极氧化和自组装技术)通常在实现无序、杂化、不规则及变径等特殊纳米结构的可控加工上具有明显的局限性,难以实现复杂多重纳米结构在材料和形状上的精确调控,因此,需要一种能力更强大的纳米加工方法以满足特殊纳米结构的极端加工要求。 中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心微加工实验室团队致力于纳米制造新方法和原理及其光电器件应用领域的研究,在前期研发的亚5 nm金属间隙结构阵列的晶界断裂与应变加工(Adv. Mater. 2015, 27, 3002;Nanoscale. 2018,10,3073;Small. 2019, 15, 1804177)和纳米折纸三维加工方法(Light: Sci......阅读全文

国家纳米中心发明“平面打印,立体成型”微纳加工新方法

  表面微纳结构已经在微电子、半导体、太阳能电池、发光二极管、等离子基元、仿生材料、超材料、细胞生物学等领域得到了广泛的应用,极大地推动了表面科学与工程的进展。随着人们对各种表面新奇特性研究的深入,各种新型表面结构不断被提出。这些新型的结构,特别是复杂的多级次表面结构对微加工技术在成本、工艺、批量生

微系统所研制出微纳光纤耦合超导纳米线单光子探测器

  超导纳米线单光子探测器(SNSPD:Superconducting nanowire single-photon detector)作为一种高性能的单光子探测器,已广泛应用于量子信息、激光雷达、深空通信等领域,有力推动了相关领域的科技发展。  SNSPD器件主要有两种光耦合方式,一种是垂直光耦合

济南微纳Winner802纳米激光粒度仪简介

Winner802光子相关纳米粒度仪是国家科技型中小企业技术创新基金项目成果(立项代码:10C26213704395),也是国内首款采用动态光散射原理的纳米粒度仪。其测量原理是分散在液体颗粒的布朗运动基础之上,颗粒越小,运动速度越快,颗粒越大,运动速度越慢。它采用HAMAMATSU高性能光电倍增管和

济南微纳Winner802纳米激光粒度仪参数

规格型号Winner802执行标准 GB/T 19627-2005/ISO 13321:1996  GB/T 29022-2012/ISO 22412:2008测试范围1-10000nm(与样品有关)浓度范围0.1mg/ml­--100mg/ml(与样品有关)准确度误差

苏州纳米所获批苏州市“微纳加工技能名师工作室”

  3月12日,从苏州市人社局传来喜讯,第五批市级技能大师(名师)工作室评选结果揭晓,中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米技术人才实训基地申报的“微纳加工技能名师工作室”获得授牌。   纳米加工平台王荣新研究员为工作室领头人,蔡勇、张永红、朱建军和曾中明四位研究员为工作室主要成员。

《纳米快报》:一维半导体纳米结构光子学

在基金委青年基金、纳米重点项目和国家纳米测试基金及973课题的支持下,湖南大学纳米技术研究中心潘安练、邹炳锁教授等团队成员和北京大学、国家纳米中心以及德国马普研究所合作,在一维半导体纳米结构光子学的研究上取得了重大突破:首次正式提出了半导体一维纳米结构中光子输运的概念,建立光传播的理论模型,并在实验

AFM微纳加工技术

 微纳加工技术随着器件小型化和高集成度的快速发展,微电子工业的芯片制造工艺逐渐向10 nm 甚至单纳米尺度逼近时,传统的电子束曝光(electron beam lithography,EBL)技术和极紫外光刻(extreme ultraviolet lithography,EUV)技术已难以满足未来

天津大学微纳制造实验室在纳米加工领域取得新进展

  超精密纳米制造技术体现了一个国家制造业的综合实力。近年来,纳米机械加工由于具有效率高、可靠性好、成本低等特点,被认为是最有发展潜力的纳米精度制造方法之一。但由于材料去除是在纳米尺度,传统加工理论不再完全适用,发展受到了限制。   近日,国际生产工程科学院(International Acade

微纳米加工与测试技术项目决赛在苏州纳米所举行

  9月28日,由苏州工业园区组织人事局牵头、联合苏州市人力资源和社会保障局、苏州市总工会、苏州工业园区工会联合会及共青团苏州工业园区工作委员会共同主办的“苏州工业园区第四届高技能人才职业技能竞赛”——微纳米加工与测试技术决赛在中科院苏州纳米所举行。选手们通过激烈的技艺比拼,角逐竞赛项目的一、二、三

紫外纳米压印光刻机提升我国微纳级制造业能力

  记者日前从中科院光电技术研究所获悉,该所微电子专用设备研发团队已自主研制出一种新型紫外纳米压印光刻机,其成本仅为国外同类设备1/3,将有力推进我国芯片加工等微纳级结构器件制造水平迈上新的台阶。  光刻机是微纳图形加工的专用高端设备。光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍,这套设备采用新型纳米对准