真空设备真空计的的相关内容
真空镀膜设备真空装置自动控制中，往往要进行真空测量，由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同，因此，从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能，真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS -232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。 因此，一个配置齐全的真空计，不仅能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正，而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制，按设定压力值进行压力自动调节，还能将测量值打印记录，并与上位机进行通信联系，甚至还能进行远距离真空测量与控制。......阅读全文
真空设备真空计的的相关内容
真空镀膜设备真空装置自动控制中，往往要进行真空测量，由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同，因此，从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能，真空仪器厂家还生产包括遥控遥测
电离真空计的相关内容
热阴极电离真空计规管类似一支三极管，由筒状板极(离子收集极)C，栅极网G和位于栅极网中心的阴极灯丝F构成，筒状板极在阳极栅网外面。 外控电路，栅极电位在+100~+300V之间，板极的电位在0~-50V之间。阴极灯丝F通电发热后便发射电子，由于阳极栅网G为正电压，发射出的电子被加速，电子与内部
热阴极电离规真空计的相关内容
如图所示，热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。 这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。 经改进后的热阴极电离规，Bayard-Al
真空设备检漏及探伤
中国电子科技集团公司第二研究所 作者：周社柱 随着技术的不断发展和更新，真空设备的种类和结构也越来越多样化，为确保生产的安全和高效性，结合设备的不同结构，对设备的检漏和探伤也提出不同的要求。分析传统的和最新的检测技
真空设备产品分类及特点
真空设备产品可分为五大类：(1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。A、机械真空泵：旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。B、蒸汽流真空泵：水蒸气喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。C、气体捕集真空泵：钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸
真空计
真空计用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压，是一种使用广泛的仪表。真空计的种类有很多，适用范围也各有不同。掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。 真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。 一、绝对真空计 能从液柱高度、比重等本身测得的物理量直接计算出气体压力的真
电阻真空计的原理
Pirani皮拉尼真空计构造。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立 Q = I2R = Q
浅谈真空计的选择
真空计的种类很多，常用的真空计就有压缩式真空计、电离真空计、热电偶真空计、电阻真空计等等。真空计的真空测量是真空技术的重要组成部分，因此真空计在科研与生产中的使用很广泛。那么在选择真空计时我们应该考虑哪些因素呢？ 1.不同的真空计有不同的测量范围与测量精度，首先要确保真空计的测量范围满足
真空计原理的知识
低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 真空计原理 金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,
复合真空计的概述
通常，对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，应用较多的是电离与热偶式复合真 空计。它的测量范围为13.33--666.6×10-8Pa。热偶真空计测量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；电离真空计测量 133.32×10-3--666.6×10-8Pa
真空计的量程范围
在较高压力时(10～1Pa)利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。 在10～10Pa的中间压力范围，利用气体性质(热传导，粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。 在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。 表1 真空计的适用压力范围真空计的名称可测的压力范
简单讲讲选择真空计原则
电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即薄膜真空计是一种直接测量式的、
选择和安装真空计应注意事项
由于真空室中存在潜在的压力梯度，适当选择安装位置。 表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力 高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短，且密封 件数量减少到最小。 电离真空计可以具有抽运效应，因此指示的压力低于真空 室中的实际压力。 冷阴极真空计具有固有的溅射效应，这在中真空范
真空计的压力测量范围和特点以及真空计选用原则
真空计测量范围 压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象，然后再测量这一过程中与压力有关的物理量，进而设法确定压力值。这是真空测量的特点，亦会造成某些问题。 任何具体物理现象与压力的关系，都是在某一压力范围内才最显著，超出这个范围，关系变得弱了
各种真空设备及如何选用真空泵
真空设备产品可分为五大类： (1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。A、机械真空泵：旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。B、蒸汽流真空泵：水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。C、气体捕集真空泵：钛溅射离子泵、低温泵、
各种真空设备及如何选用真空泵
真空设备产品可分为五大类： (1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。A、机械真空泵：旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。B、蒸汽流真空泵：水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。C、气体捕集真空泵：钛溅射离子泵、低温泵、
热偶真空计的特征
利用气体分子的热传导现象，可能测量的压力范围在1~300Pa之间。热电偶真空计测得细线温度同时,也受到细线本身的固体热传导和热辐射放热的影响。因此精度不高。但是电路简单，价格低廉。 另外此真空计在大气压状态下也不会烧损。而且测得的压力值通过电信号被取出，因此在自动控制方面容易控制。
电阻真空计的原理介绍
电阻真空计即采用电阻技术的真空计，一般先校准零点，再进行满度校准。 原理 金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。 通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。 单位时间内以上三种方式夺走的热量
电容薄膜真空计的概述
属弹性元件真空计，弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P
热传导真空计的原理
热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化，从而反映热传导的变化，用此种测量方法的真空计称为热阻真空计，又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化，称为热偶真空计。
真空计的不同分类
按真空度刻度方法分类 1、绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 2、相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简
电阻真空计的校准简介
一般先校准零点，再进行满度校准。 (1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计，可
盘点八大真空设备润滑的错误做法
在设备的使用说明书中，一般对于各个润滑部位均有加注润滑油的详细要求。但在实际使用状况的调查中发现，有些维修人员却往往忽视上述要求。生产中常见的几种设备润滑的错误做法：1、需要润滑加一点油由于设备各部位的工作方式及所处状态的差异，因而对于各润滑点的加油周期、每次的加注油量和加注的方式等均有严格的要求，
电阻/电离复合真空计性能特点
电阻/电离复合真空计是基于低真空测量电阻单元(ZJ-52T电阻规)与高真空测量冷阴极电离单元(ZJ-14冷规)技术组合，以完成1×105~1×10-7Pa连续测量与控制。因此该真空计系列具有电阻真空计与冷阴极电离真空计所有技术参数与性能特点；同时又增加了新的功能。该真空计系列仅能工作于手动模式。相当
电阻真空计的原理是怎样的？
电阻真空计即采用电阻技术的真空计，一般先校准零点，再进行满度校准。 原理 金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。 通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。 单位时间内以上三种方式
热丝极离子真空计的构造
热丝极离子真空计的组成和三极管一样有集极（为一根金属线或平板）、丝极（灯丝）和栅极（由螺旋型的金属线组成）。其丝极作为阴极。集极所量到的电流通常在pA等级。若以集极接在地电位，则丝极电压通常在30V，栅极电压通常在180~210V。除非要用电子轰击某一部分构造，像是加热栅极就需要用到将近565V
盖德电离真空计的发展
上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。它的测量范围是5×lO-8～10-1 Pa，与钨丝的BA计相比，它更适合在较高压强下工作。 同在80年代，有人将敷氧化钇铱丝代替DL-2型规管中的钨丝，做成DL-9型规管[5]，使上限压强扩展一个数量级，测量范围为
热传导真空计的相关叙述
利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中，以一定加热电流通过装有热丝的规头，热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数，故热丝的温度随压强而变化。如用一附加的热偶测量热丝的温度，则这种规头称为热偶规；如利用热丝本身的电阻值来反映温度，则称电阻规
电离真空计的分类和结构
真空计按测量性质可分为绝对真空计和相对真空计。所谓绝对真空计就是通过测量物理量本身确定压力的一种真空计,例如u型压力计、压缩式真空计就是绝对真空计。通过测量与压力有关的物理量并与绝对真空计比较来确定压力的真空计称为相对真空计。我们校准的电离真空计、电容薄膜真空计、热传导真空计,都是相对真空计。
气体放电真空计的工作原理
Penning真空计是利用真空中的放电现象，测量中高真空领域的温度计，测量性稳定，耐用性久为其特点。 Penning真空计构造原理 Penning真空计利用Penning放电现象。一般而言，冷阴极放出的电子比热阴极少。单纯在阴阳两极间加电压，如果压力低于0.1Pa则不会持续放电。为了增加电子