真空设备真空计的的相关内容
真空镀膜设备真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS -232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。 因此,一个配置齐全的真空计,不仅能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离真空测量与控制。......阅读全文
电阻真空计的原理和校准
电阻真空计即采用电阻技术的真空计,一般先校准零点,再进行满度校准。 原理 Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种
真空计常见的几种类型
真空计常见的几种类型如下: 1、绝对真空计:直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关,属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 2、相对真空计:由一些气体压力有函数关系的量来确定压力,不能
电阻真空计简介
低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。 世界著名真空企业,在皮拉尼真空计的生产工艺上采用白金丝,代替传统灯丝。大大提高了产品稳
薄膜真空计介绍
PBS-510xx-C1型薄膜真空计属于高精度计量器具,应定期计量检定。用于检定的标准器其精度应高于被检定仪器的一个精度等级以上。使用中若需调校零点,必须要有较高真空度的真空源。建议平时尽量不要随便自行调校,可送(具有该项目CNAS检定资质的)当地行政计量技术机构检定调校和校准。建议的计量检定周
电离真空计简介
电离真空计是基于在一定条件下,待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。 由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
什么是真空计?
真空计(Vacuum Gauge),又名真空表,是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。 按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真
气体放电真空计的特征用途
Penning真空计测量性能稳定,可测量高真空领域的电流。因为是冷阴极方式,不必担心电极的烧损问题。缺点是放电稳定性有一定不足。另外从阴极放出的电子量受表面污染影响严重。 根据以上特点,此真空计适合不想频繁更换真空计的高真空领域设备上,同时因为此真空计本身有较强的磁场,要考虑其安装在设备上的位
关于弹性变形真空计的基本介绍
弹性变形式真空计是利用弹性元件在压差作用下产生弹性变形的原理制成的。它主要有弹性式真空表和电容式薄膜真空计两类。弹性式真空表只适用于粗真空的测量。 电容式薄膜真空计属于静态变形式真空计,它是利用弹性薄膜在压力差作用下产生变形,从而引起电容变化,通过测量电路检测电容的变化来测量压差。电容式薄膜真
热丝极离子真空计的功能简介
利用加热的丝极产生稳定的电子流(通常为10mA),这些电子会被加了正电压(约+150V)的螺旋型的栅极给吸引。在电子从丝极往栅极的过程中,电子会撞击真空计内的气体分子,导致部分的气体分子被离子化。这些气体离子会被位在真空计中加负电压(通常为-30V)的集极给吸引。离子电流和气压的关系为1mA/P
热偶真空计的年检校准要求
1)环境条件校准如在检定(校准)室进行,则环境条件应满足实验室要求的温度、湿度等规定。校准如在现场进行,则环境条件以能满足仪表现场使用的条件为准。 2)仪器作为校准用的标准仪器其误差限应是被校表误差限的1/3~1/10。 3)人员校准虽不同于检定,但进行校准的人员也应经有效的考核,并取得相应
热电阻真空计的图文叙述
也叫做热电阻真空计,它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。 如图所示,由于不同气压下气体分子热传导能力不同,当给热丝加恒定的电流时,由于气压不同通过气体传导走的热量不同,热丝所保持的温度就不同,这导致热丝电阻大小不同,通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。 如果配合电桥测量热丝电阻的变化
皮拉尼真空计的原理简述
其工作原理是:真空度不同,单位体积内的空气分子数就不同,对于正在发热的电阻丝带走热量的能力(散热能力)就不同,电阻丝温度就不同,因为电阻丝的电阻率是温度的函数,所以不同的真空度就引起了电阻率的不同,则电阻就不同,电流在电阻丝上的压降就不同,根据电压的变化就能换算出空气压强,也就是测量真空度。实际
麦氏真空计的维护与保养
测量时压力计旋转至直立状应缓慢进行,真空计使用完毕应立即回复横卧状态,横卧过程中可能出现小粒水银珠滞塞于玻璃容器入口处,可将压力计略为倒转收回水银珠。 ·运输和使用不慎会导致水银珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气,并往复摆动真空计,使水银珠回流。仍未见效,则可在抽气同时对
真空测量与常见的真空计
真空测量 气体的稀薄程度也可以用气体分子密度(单位容积中气体分子数)n来描述。对于完全平衡态的理想气体分子,P=nkT,k为玻耳兹曼常数,T为绝对温度。测量真空度的装置称为真空计,真空计的压强敏感元件称为规头。某些真空计可直接测量气体总压强,某些真空计虽然也给出压强读数,而实际测量的是气体分子
热偶真空计的工作原理简介
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。 热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流後会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导,或细线本身的固体热传导,或热辐射放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是此真空计的原理。 如
电离真空计的基本原理
在低压强气体中,气体分子被电离生成的正离子数与气体压强成正比。电离真空计是基于在一定条件下,待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。 按照离子产生的方法不同,利用热阴极发射电子使气体电离的真空计叫热阴极电离真空计;其中,热阴极电离真空计由热阴极规管和测 量仪器组
冷阴极电离规真空计的简介
如图所示,冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进行气压测量,但与热阴极电离规不同的是,它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。 这种规的测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。 与热阴极电离规同样的原因,这种规在使用时需要在不同气体下标定。
薄膜真空计怎么用?
电容薄膜bai真空计是一种绝压、全压测量的真空计,原du理是把加于电容薄zhi膜上的压力变dao化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化,组成为输出信号,所以,它的测量是直接反映了真空压力的变化值,而且只与压力有关,与气体成分无关,即:薄膜真空计
麦氏真空计简介
麦氏真空表又名麦克劳真空计(也叫转动式压缩真空计),是根据理想等温压缩的波义耳--马略特定律设计而成。由于它可以通过本身的参数,直接算得压强值,所以它除了进行压强测量外,还可以作为绝对真空计用来校验一些相对真空计(如:座式压缩真空计就是其中的一种),故被广泛用于工业、国防、科研、医药、制冷等真空
气体放电真空计概述
真空测量就是真空度的测量,而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准三个部分。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。电离真空计:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射
高精度薄膜真空计的压力测量范围
压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。 任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才好,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其
复合真空计的原理和使用方法
真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多,这里介绍的复合真空计是常见的一种,复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。 温差电偶真空计的原理 温差电偶真空规管由玻璃制成,通过小管8和真空系统相接,在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4,温
真空计在使用时应该注意的问题
真空计是用来测量真空度或气压的仪器,通常是利用不同气压下气体某种物理效应的变化而进行气压的测量,在科研和工业生产中有非常广泛的使用。按照真空计测量原理的不同,可将真空计分为力学性能、气体动力学和带电粒子效应三种。 在真空计使用过程中也有一些需要注意的事项,否则会损坏仪器或者造成测量不准确
热偶真空计的使用注意事项
热偶真空计的校准 热偶真空计在使用前也需要进行校准,热偶规管在未开封前真空度已抽至为10^-2~10^-3Pa。将热偶规管与仪器连接,使管座垂直向上,接通仪器电源开关,预热10min,“热偶转换”开关置“加热电流”位置,调节“加热电流”旋钮,使加热电流达到规定值(加热电流标注在每支热电偶真规管
数字式真空计介绍
一、主要特点:双屏显示,显示内容清晰易读主屏5位实时压力显示副屏可选最大值,最小值,峰值,环境温度显示图形化压力百分比与电池电量显示过压闪烁提示,防止仪表过压损坏白色背光,便于夜间查看10种压力单位转换,国际通用采集速率30秒/次 至 100次/秒可选,适用面更广自动关机功能有效延长电池寿命二、技术
热丝极离子真空计简介
热丝极离子真空计(英文:Hot filament ionization gauge),有时又称热丝极真空计或热阴极真空计,是一种非常广泛用于压力范围在至托的测量装置。构造和三极管类似,但是丝极作为负极。 热丝极离子真空计的种类 巴雅-爱泊特量测计(使用密封的管子) Nude gauge(使
盖德电离真空计简介
盖德电离真空计英文名为Gaede''s ionization gauge。 电离真空计的离子流与压强关系为线性关系,规管测量上限由规管非线性不超过20%所对应的压强确定,测量下限由规管本底压强示值的10倍确定。 电离计总的测量范围为10-8~102Pa,一般说来,每一种结构的规
隔膜真空计都有哪些应用?
隔膜真空计是一种高精度真空测量仪器,专为恶劣的制造环境而设计。经过验证的温控,耐腐蚀,超纯陶瓷传感器可在多年内提供的跨度稳定性,并具有蕞先进的零稳定性。附带独特传感器屏蔽,可保护仪表免受不良过程副产品的影响。先进的电子元件为所有应用和可选的现场总线接口提供广泛的可配置信号调理。创新的加热概念使
皮拉尼真空计概述
也称电阻式真空规,是皮拉尼(M.Pirana)于1906年制成的。其工作原理是:真空度不同,单位体积内的空气分子数就不同,对于正在发热的电阻丝带走热量的能力(散热能力)就不同,电阻丝温度就不同,因为电阻丝的电阻率是温度的函数,所以不同的真空度就引起了电阻率的不同,则电阻就不同,电流在电阻丝上的压
薄膜电容在真空计的原理是什么?
薄膜电容又称CBB电容,它有聚丙烯膜和聚酯膜两种介质分类,聚丙烯膜的特性是高频损耗极低、电容量稳定性很高、负温度系数较小、绝缘电阻极高、介质吸收系数极低、自愈性好、介电强度,如CBB11,CBB13,CBB21,CBB62,CBB81等 电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计,原理是把加于