氦质谱检漏仪常见的三种检漏法
1、负压法检漏 负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。 根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子,比如管壳的检漏。检漏仪正常工作后,用标准漏孔进行漏率校准,就可以对管壳作喷吹检漏,先将夹具固定在检漏口,待测管壳放在夹具上面的橡皮板上,辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。然后用喷枪连续向管壳喷氦气,时间一般1~3秒,当管壳存在漏孔时,氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分,漏量大小在漏率表上直接显示出来,这种方法既能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。整个检测周期只需一分钟。 2、正压法检漏 正压法检漏与负压法检漏相反,吸枪接在检漏仪的检测口,而被检件充入规定压力的示踪气体,漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器......阅读全文
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
浅谈氦质谱检漏仪的检漏方法及其优缺点
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
氦质谱检漏仪主要是运用磁质谱理论和逆扩散理论及质谱分析方法,用氦气作为探索气体制成的检测仪器。灯丝加热发射出来的电子经过加速,在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔逆扩散到电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,其旋转半径
氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏
一、电磁阀阀芯检漏原因 气体,所以对所用的阀及相关部件,漏率要求非常严格,要求成品最终漏率低于5-10 mbar l / s,而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了。 二、电磁阀阀芯检漏方法 大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,最后用氦气质谱检漏仪做最后检
氦质谱检漏仪用于电磁阀检漏、直通阀检漏
伯东公司德国Pfeiffer HLT 560 氦质谱检漏仪用于电磁阀阀芯检漏应用案例——深圳某事业有限公司。 一、 电磁阀阀芯检漏原因 该客户是为日本某半导体设备厂生产精密零件激光焊接(电磁阀阀芯),一共有5个型号,月产量2000-3000个阀. 精密零件激光焊接(电磁阀阀芯)产品如下图
ASM181T氦质谱检漏仪常见故障处理
阿尔卡特公司 作者:刘朝晖1、机械泵故障及处理 (1)机械泵不动作。检查项目有:电源电压是否正常,开关是否打开,绕组是否断路或接地,电机是否过热( 泵冷却后是否能启动)。
氦质谱检漏仪的特点及使用环境
优势特点 1.采用便携式设计 2.设备外型美观小巧 3.采用液晶触摸屏设计 4.有通讯接口 5.可以方便地将检漏数据输出 使用环境 环境温度:5~35℃ 相对湿度:
关于氦质谱检漏仪的发展相关介绍
1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。 2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。 3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次
氦质谱检漏仪的主要功能
氦质谱检漏仪是可以用来对真空设备或是充有氦气的正压设备进行泄露检测和漏点定位的专业检测仪器.
简介氦质谱检漏仪的使用方法
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。 2、是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成
氦质谱检漏仪的主要技术参数
专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。 主要技术参数 最小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s 漏率显示范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s 启动时间: ≤5mi
影响氦质谱检漏仪检测精度的因素
1、受到检测压力的影响 泄漏率对测试压力的依赖性,对不同的测量条件是不同的。一般而言,对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时,试验压力对泄漏率的影响较大,而对于多孔性较低时则影响较小。另外,随测试压力的增高,还会带来诸如温度影响,所需稳定时间加长等一系列问题。因此,建议对特定的工件可采用在一定压
氦质谱检漏仪标定与校准——两种检漏仪对比
外置标准漏孔是检验氦质谱检漏仪准确性的标准。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有检漏仪本身并
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备,热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉), 掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。 半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备
深度揭秘氦质谱检漏技术——选择及逆流检漏仪
一、氦质谈检漏技术的发展从20世纪60年代开始,氦质谱检漏技术被广泛应用于航天、电子、原子能、制冷、电力、化工、汽车及食品等各个行业。特别是原子能、航天技术的发展,使氦质谱检漏技术得到了飞速的发展。从早期的喷吹法开始,到如今已有了氦罩法、吸枪法、真空室法、检漏盒法、真空室累积法、吸枪累积法、背压法及
氦质谱检漏仪在低温容器行业应用
一、低温容器检漏原因低温容器主要储存液态气体,出于安全及成本方面考虑,会对低温容器有较高的漏率(如表1所示)要求,因此对低温容器的检漏尤为必要,如杜瓦瓶,LNG储罐,Perma, 冷槽罐都需要使用氦质谱检漏仪检测。表1体积 L10-50100以上真空夹层漏率Pa*m³/s≤2×10E-8≤6×10
氦质谱检漏仪漏率最小是多少
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)是用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析
氦质谱检漏仪-一般操作步骤
1,将真空泵,Pfeiffer氦质谱检漏仪,要检测的对象,用波纹管和卡箍连接完毕.2,Pfeiffer检漏仪上的阀门处于导通的状态.3, Pfeiffer质谱检漏仪通电,3分钟后完成自检,进入”READY TO START”4,先启动真空泵,再按氦质谱检漏仪上的”START/STOP”按钮,启动Pf
氦质谱检漏仪查漏原理及其应用
湖北省电力试验研究院 作者:高满生 介绍了氦质谱检漏仪查漏的原理,通过分析湖北省内3台机组真空系统氦质谱检漏仪查漏的情况及真空状况的改善,指出提高汽轮机真空,是提高机组运行经济性和出力,实现节能
提高氦质谱检漏仪灵敏度方法
1、尽量开大节流阀。 2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。 3、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。 4、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。
氦质谱检漏仪查漏原理及其应用
1、氦质谱检漏仪查漏原理 氦质谱检漏是一种精度很高的不停机查漏方法,具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境) 、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。以日本的HEL IOT- 303AS氦质谱查漏仪进行真空系统查漏为例,其连接图见图1。图1 真空系统查漏连接图
氦质谱检漏仪测定漏率型简介
1、充氦法 充氦法也称负压法 ,一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐,将被检零件装入一个气室,开始关闭氦气罐阀门,机械泵把气室先抽成真空,然后关闭真空泵阀门,打开氦气罐阀门给气室充氦,并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙,氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开,取出被检器件,用压缩空气
氦质谱检漏仪-ASM-340-操作方法
1. 连接好所有管路后确认手动阀关闭, 如果是单机检测, 请确认进气法兰关闭.2. 机型 ASM 340 WET 请先确认是否完成加油3. 检漏仪 ASM 340 各个接口图示如下:操作说明1. 插电,打开检漏仪后面的电源按扭2.等待启动完成, 大概需要3分钟时间,如下图是待机模式3.进入准备启动
精密型的氦质谱检漏仪的结构组成
对于氦质谱检漏仪器大家想必并不陌生,其是通过核心是通过质谱室的供电与测量,那么作为供电的核心部位,其中一部分属于真空部分,对于这部分的核心检测需求是非常高的,而通过检测方面得的检测数据输出,形成了核心装置。(1)那么氦质谱检漏仪器主要通过控制电流输出大小,由于气密性检测仪离子流收集极接收到的
精密型的氦质谱检漏仪的结构组成
对于氦质谱检漏仪器大家想必并不陌生,其是通过核心是通过质谱室的供电与测量,那么作为供电的核心部位,其中一部分属于真空部分,对于这部分的核心检测需求是非常高的,而通过检测方面得的检测数据输出,形成了核心装置。 (1)那么氦质谱检漏仪器主要通过控制电流输出大小,由于气密性检测仪离子流收集极接收到的
氦质谱检漏仪灵敏度降低的维护
氦质谱检漏作为目前真空应用中较为广泛的一种检漏技术,发展出了多种多样的检漏方式。但氦质谱检漏仪经过长时间使用后,就有可能出现灵敏度降低的情况。今天螺杆真空泵厂家就和大家一起分享下,遇到检漏仪灵敏度降低时该怎么去维护。影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面
氦质谱检漏仪在电子等行业的发展
氦质谱检漏仪的氦质谱检漏仪的质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火
氦质谱检漏仪在火电厂的运用
氦质谱检漏仪在火电厂的运用应用一、电厂检漏 — 冷凝罐及汽轮机管路检漏应用(广西北海某电厂)电厂使用检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏,还有冷凝罐的检漏,由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本,所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。电厂检漏使用检漏仪 Sniffer 模式,检测方法为将