干式真空泵的几种形式
双圆裂片式 双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。 三叶圆裂片式 三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。 组合式(罗茨+爪) 组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完......阅读全文
干式真空泵的几种形式
双圆裂片式 双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩
干式真空泵选型
干式真空泵的使用比较广泛,大家在选择设备时一定要根据实际情况,比如装置的布置、地形、水位的条件,以及经济方案等的方面,建议具体的考虑点有: 1、根据实际情况考虑干式真空泵的型式; 2、考虑选择泵的具体型号,采用什么系列的泵选用后,就可按流量极限,放大5%一10%余量后的扬程这两个性能主要参数
干式螺杆真空泵优点
1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况 2、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体 3、不耗油,无滴漏 4、结构简单,维护方便 5、被抽气体直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气体回收更便捷
干式螺杆真空泵特征
(1)工作腔内无任何介质,可获得清洁真空 (2)工作腔及螺杆表面有防腐蚀镀层,可适应恶劣工况 (3)工作腔干式运行,适合抽除含有粉尘的气体和可凝性的气体 (4)单台泵可连续直排大气,从大气油至5Pa^限全压力以下,真空系统可大大简化 (5)旋转部件之间无摩擦,因而寿命长 (6)干式螺杆
干式螺杆真空泵缺点
1、不适于抽除含有爆炸性的气体 2、不适于抽除含氧过高的气体,随着我国工业界的发展,在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中,对清洁真空环境的要求越来越高,而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。干式螺杆真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,得到越
干式真空泵常见的故障
干式真空泵常见的故障特征包括转子不平衡,转子不对中、转子弯曲、转子的磨损或腐蚀、转子上异物附着,滚动轴承磨损、表面损伤,包括外环、内环、滚动体、保持架等,轴颈轴承松动,齿轮安装误差、轮齿损伤或磨损,部件松动等,下面小编给大家详细解释一下。 1、转子不平衡:振动特征频率为1 × R;振动方向为径向;振
干式真空泵|无油活塞真空泵
真空泵的分类有很多,其中干式真空泵将是未来市场的主导产品,为什么呢?近年来是环境污染越来越严重,不敢的雾霾还是北极冰融化,都引起了全球的高度关注。所谓干式真空泵就是无油的真空泵,可以减少油雾的排放,减少污染,节能、环保、、、、干式真空泵就其基本原理来分, 只有两类, 即:① 容积式的无油真空泵, 例
爪型干式真空泵的应用
石化行业: (1)能抽除酸性气体:如四氢呋喃等。(2)能抽除可凝性气体:如酒精、汽油等。(3)能抽除易燃易爆气体:如氧气、氢气、甲烷等。(4)防腐系列能抽除强酸性气体:如氯化氢气体、氟化氢气体、硫酸气体等。 医药行业: 结晶、蒸馏、升华、干燥、脱臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附
爪型干式真空泵的特点
泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空,对环境无污染。 真空度高,可达3Pa。 结构简单,易于操作和维护,运行成本低。 能在较高压力下长期连续工作,噪声小。 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃 的气体和可凝性气体(例如水蒸气、有机气体等)。 能做气体传输泵使用,
干式螺杆真空泵的优缺点
干式螺杆真空泵优点: 1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况 2、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体 3、不耗油,无滴漏 4、结构简单,维护方便 5、被抽气体直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气体回收更便捷 干式螺杆真空泵缺点: 1、不适于抽除含有爆炸性的气体 2
干式真空泵的界说与总结
干式真空泵很早就涌现了,但没有明确的界说。就接替油封式电泵来说,正常通用的言论是:能在大气压到10-2Pa的压力规模内作业;在泵的抽气旋道(如泵腔)中,使不得运用任何废油和液体、排气口与大气相通,能陆续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。 当初商场上提供的干式泵品种很多,就其根本
简介干式机械真空泵的应用
干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面: 1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要
爪型干式真空泵的特点
1) 泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空,对环境无污染; 2) 真空度高,可达3Pa; 3) 结构简单,易于操作和维护,运行成本低; 4) 能在较高压力下长期连续工作,噪声小; 5) 能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃 的气体和可凝性气体(例如水蒸气、有机气体
干式螺杆真空泵的原理简介
干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,
干式真空泵的相关内容
无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 2013年止,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、
无油干式真空泵的工作原理
无油干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展
关于干式真空泵的性能比较
1)真空度:干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高,最高极限真空均可达到1-2Pa;无油往复真空泵为粗真空设备,极限真空度低,需要搭配罗茨真空泵提高极限真空。 2) 抽气量:无油涡旋真空泵由于内部结构问题,抽气量较小,只适用于小抽气量的工艺中;干式螺杆真空泵型号齐全,可适用
干式螺杆真空泵优点和缺点?
干式螺杆真空泵是主要是利用一对螺杆,其特点是两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,所以使得干式螺杆真空泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要
干式螺杆真空泵优缺点及特征
干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品,其制造的难度集中在两螺杆的型线设计和加工过程中,螺杆真空泵的内核部分--螺杆转子,是三维立体结构,要求在螺杆研发设计中采用三维曲面数学模型进行设计和求解,通过三维数学模型形成的实体加工需要在五坐标联动的数控设备上加工,设备造价昂贵、同时该设备的进口也受发
干式螺杆式真空泵的使用流程及事后清洗
干式螺杆式真空泵是一种工作容积作回转运动的容积式机械真空泵。气体的压缩依靠容积的变化来实现,螺杆泵的一对转子在机壳内作回转运动来达到容积的变化。其工作容积在周期性扩大和缩小的同时,空间位置也随之变更。干式螺杆真空泵,是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经
无油干式真空泵的工作原理和应用
应用范围:无油真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:[1]低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;[2]半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀 性气体和研磨微粒;[3]除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要
Micro-Epsilon电容式传感器的几种基本形式
电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件,将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置,实际上就是一个具有可变参数的电容器。Micro- Epsilon电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、压力、成分分析、介质特性等方面的测量。常用的是平行板型电容器或圆筒型电容器。Micro- E
同化作用的形式几种?
依同化作用的方式不同,可把生物分成自养型和异养型两类。人们把摄取现成有机物而生活的生物称为异养型生物; 把能从环境中吸收简单无机物同化为复杂有机物的生物称为自养型生物。根据所需能源和碳源的不同,又可把生物分为四大类型。1.光能自养型以光为能源, 以CO2或碳酸盐为主要碳源的生物称为光能自养型生物。这
能量传递上转换的几种形式
能量传递上转换(Energy Transfer Upconversion,ETU)能量传递上转换的研究始于1966年,Auzel提出激发态稀土离子之间可以发生能量传递过程,这使得人们意识到通过能量传递可以实现上转换发光。而在此之前,人们对于能量传递现象的理解一直局限于激发态离子将能量传递给基态离子。
光谱分哪几种形式
光谱分如下几种形式.①线状光谱.由狭窄谱线组成的光谱.单原子气体或金属蒸气所发的光波均有线状光谱,故线状光谱又称原子光谱.当原子能量从较高能级向较低能级跃迁时,就辐射出波长单一的光波.严格说来这种波长单一的单色光是不存在的,由于能级本身有一定宽度和多普勒效应等原因,原子所辐射的光谱线总会有一定宽度(
光谱分哪几种形式
光谱分如下几种形式.①线状光谱.由狭窄谱线组成的光谱.单原子气体或金属蒸气所发的光波均有线状光谱,故线状光谱又称原子光谱.当原子能量从较高能级向较低能级跃迁时,就辐射出波长单一的光波.严格说来这种波长单一的单色光是不存在的,由于能级本身有一定宽度和多普勒效应等原因,原子所辐射的光谱线总会有一定宽度(
如何做好干式真空泵的内部清理工作
干式真空泵是具有耐腐蚀性能的泵,是专为输送含有细颗粒的腐蚀性介质而设计开发的,因为其独特的生产设计,使其具有耐磨性、耐冲击性、 抗蠕变性和极好的耐腐蚀性,干式真空泵在使用一段后都是需要进行内部清理,这也是为了延长它的使用时间,保证使用效果,进行内部清理的时候需要做的工作是:1、刮去叶轮内外表面及密封
水环式真空泵常见的几种应急处理方式
1、正常工作时,发现水环式真空泵突然漏气,如果能马上找到泄露 点,须用真空封泥把泄露 点封住,待工作完毕后,再做处理 2、高温时断水、断电。水环式真空泵zui怕的就是高温时断水、断电。因此用户zui好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管 3、更换充气气瓶。水环式真空泵所用充气气瓶需更换时,
造成循环水式真空泵无法抽真空的几种原因
(一)真空度低 1、真空瓶内有异物,清理其中异物。 2、真空瓶两节连接处丝扣松动,用手拧紧即可。 3、止回阀内有异物,去掉清理之。 4、泵头下面进水口被堵塞,清理即可。 (二)真空表不动或跳动 1、真空表不动,可能是真空表后部气孔堵塞所致,去掉真空表清理之。 2、表针跳动,说明止回
光谱化学分析的几种形式
①线状光谱。由狭窄谱线组成的光谱。单原子气体或金属蒸气所发的光波均有线状光谱,故线状光谱又称原子光谱。当原子能量从较高能级向较低能级跃迁时,就辐射出波长单一的光波。严格说来这种波长单一的单色光是不存在的,由于能级本身有一定宽度和多普勒效应等原因,原子所辐射的光谱线总会有一定宽度(见谱线增宽);即在较