简述电磁透镜的聚焦原理

1、聚焦镜聚光镜处在电子枪的下方,一般由2~3级组成,从上至下依次称为第1、第2聚光镜(以C1 和C2表示)。关于电磁透镜的结构和工作原理已经在上一节中介绍,电镜中设置聚光镜的用途是将电子枪发射出来的电子束流会聚成亮度均匀且照射范围可调的光斑,投射在下面的样品上。C1和C2的结构相似,但极靴形状和工作电流不同,所以形成的磁场强度和用也不相同。C1为强磁场透镜,C2为弱磁场透镜,各级聚光镜组合在一起使用,可以调节照明束斑的直径大小,从而改变了照明亮度的强弱,在电镜操纵面板上一般都设有对应的调节旋扭。C1、C2的工作原理是通过改变聚光透镜线圈中的电流,来达到改变透镜所形成的磁场强度的变化,磁场强度的变化(亦即折射率发生变化)能使电子束的会聚点上下移动,在样品表面上电子束斑会聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑发散,照射区域变大则亮度就减小。通过调整聚光镜电流来改变照明亮度的方法,实际上是一个间接的调整方法,亮度的最大值受到电子......阅读全文

电磁透镜简介

  电子波和光波不同,不能通过玻璃透镜会聚成像。但是轴对称的非均匀电场和磁场则可以让电子束折射,从而产生电子束的会聚与发散,达到成像的目的。人们把用静电场构成的透镜称之为“静电透镜”。把电磁线圈产生的磁场所构成的透镜称之为“电磁透镜”。  电子作为带电粒子在磁场中运动会受到洛伦兹力的作用,轴旋转对称

电磁透镜及其聚焦原理

由于轴对称弯曲磁场对电子束有聚焦作用,因而可以得到电子光学像。我们称这种具有轴对称弯曲磁场装置构成的电子透镜为电磁透镜(electron magnetic lenses)。由于电磁透镜磁场非均匀分布,物、像点在磁场之外,电子在磁场中既受到轴向分量的作用,又受到径向分量的作用,使平行于轴进入磁场的电子

简述电磁透镜的聚焦原理

1、聚焦镜聚光镜处在电子枪的下方,一般由2~3级组成,从上至下依次称为第1、第2聚光镜(以C1 和C2表示)。关于电磁透镜的结构和工作原理已经在上一节中介绍,电镜中设置聚光镜的用途是将电子枪发射出来的电子束流会聚成亮度均匀且照射范围可调的光斑,投射在下面的样品上。C1和C2的结构相似,但极靴形状和工

电磁透镜色差的相关介绍

  色差是由于成像电子的能量不同或波动,电子在透镜磁场中运动速度不同,从物面上一点散射的电子不能聚焦在像面上同一点而形成的像差,如图1-6所示。  不同能量的电子聚焦在不同位置,像平面上也有一个最小半径为的散焦斑。同样将折算到物平面上,得到半径为的圆斑,用表示色差,的大小由下式来确定:  式中,是电

电磁透镜的定义和工作原理

定义:通电的线圈产生的磁场所构成的透镜。还有一种透镜为静电透镜:静电场构成的透镜。钨阴极和LaB6阴极采用电磁透镜,场发射电镜的第一聚光镜为静电透镜,第二聚光镜为电磁透镜。可见光可以通过玻璃透镜汇聚成像,而能让运动的电子产生偏折的方法是添加电场或磁场。工作原理:电子束通过电磁透镜时,由于电子带负电,

电磁透镜像散的相关介绍

  像散  像散是由透镜磁场的非旋转对称引起的像差。透镜的极靴孔加工误差,上、下极靴的轴线错位、极靴材质不均以及极靴孔周围的局部污染等,都会引起透镜的磁场产生椭圆度。椭圆磁场长、短轴方向上的聚焦能力存在差异,结果成像物点通过透镜后不能在像平面上聚焦于一点(图1-5)。  同样在长、短轴聚焦点之间有一

电磁透镜的像差球差的相关介绍

  按照衍射理论计算结果,光学透镜的分辨率是波长的一半。对于电磁透镜来说,目前还远远没有达到这一水平。主要原因是除了衍射效应对分辨率的影响外,还有像差对分辨率的影响。电磁透镜的主要像差有球差、像散和色差。  球差  球差是由电磁透镜近轴区域磁场和远轴区域磁场对电子束的折射能力不同而产生的像差。近轴区

影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素

光学显微镜的分辨率主要影响因素是照明光源的波长,要提高分辨率关键是有波长短,又能聚焦成像的照明光源。电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定,关键是确定电磁透镜的最佳孔径半角,使得衍射效应埃利斑和球差散焦斑尺寸大小相等

影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素

光学显微镜的分辨率主要影响因素是照明光源的波长,要提高分辨率关键是有波长短,又能聚焦成像的照明光源。电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定,关键是确定电磁透镜的最佳孔径半角,使得衍射效应埃利斑和球差散焦斑尺寸大小相等

影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素

光学显微镜的分辨率主要影响因素是照明光源的波长,要提高分辨率关键是有波长短,又能聚焦成像的照明光源。电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定,关键是确定电磁透镜的最佳孔径半角,使得衍射效应埃利斑和球差散焦斑尺寸大小相等

影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素

光学显微镜的分辨率主要影响因素是照明光源的波长,要提高分辨率关键是有波长短,又能聚焦成像的照明光源。电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定,关键是确定电磁透镜的最佳孔径半角,使得衍射效应埃利斑和球差散焦斑尺寸大小相等

透镜内探测器设计难度较大

透镜内探测器设计难度较大    除了需要极细的电子束,扫描电镜图像的获得还需要高效的二次电子探测器。“现在主流的扫描电镜大多采用半磁浸没式或者全浸没式透镜技术,也就是将探测器装到电磁透镜上方,利用磁场力的作用来收集二次电子。”曾毅说。    分辨率较低的钨丝灯扫描电镜的探测器一般位于电磁透镜和样品之

TEM中的孔径半径α角如何影响分辨率

光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长;球差是限制电磁透镜分辨本领的主要因素;孔径半角α减小,球差减小,但从衍射效应来看,α减小使0r变大,分辨本领下降,关键是电磁透镜确定电磁透镜的最佳孔径半角,使衍射效应Airy斑和球差散焦斑尺寸大小相等,表明两者对透镜分辨本领影响效果

TEM中的孔径半径α角如何影响分辨率

光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长;球差是限制电磁透镜分辨本领的主要因素;孔径半角α减小,球差减小,但从衍射效应来看,α减小使0r变大,分辨本领下降,关键是电磁透镜确定电磁透镜的最佳孔径半角,使衍射效应Airy斑和球差散焦斑尺寸大小相等,表明两者对透镜分辨本领影响效果。

扫描电镜的三大系统说明

 扫描电镜存在于我们的生活中,我们需要对它进一步地了解,以便更好地利用它为人类创造价值。我们来看看扫描电镜的几大组成系统吧!  1.真空系统  真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组

想知道扫描电镜的基本结构就看看这些吧

 扫描电镜主要有真空系统,电子束系统以及成像系统。   1、真空系统   真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。   真空柱是一个密封的柱形容器。   真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发

电热板电子束加热相关介绍

  利用在电场作用下高速运动的电子轰击物体表面,使之被加热。进行电子束加热的主要部件是电子束发生器,又称电子枪。电子枪主要由阴极、聚束极、阳极、电磁透镜和偏转线圈等部分组成。阳极接地,阴极接负高位,聚焦束通常和阴极同电位,阴极和阳极之间形成加速电场。由阴极发射的电子,在加速电场作用下加速到很高速度,

扫描电子显微镜概览(二)

电子束系统电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电子枪 电子枪用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具

飞纳电镜在观察磁性材料的应用

常常有用户询问小编:飞纳电镜能否测试磁性材料?有那些注意事项?今天,我们将一一解答。 为什么有的用户会有这样的顾虑和担忧? 扫描电子显微镜原理上是利用聚焦电子束在测试样品上表面扫描,激发出各种物理信息。电子束需要利用电磁透镜进行细化和聚焦,若样品本身具有明显磁性会干扰电磁透镜的正常工作,导致无法使样

电子路径是如何控制的

电子路径是如何控制的?与光学显微镜类似,扫描电镜 SEM 使用透镜来控制电子的路径。因为电子不能透过玻璃,这里所用的是电磁透镜。他们简单的由线圈和金属极片构成。当电流通过线圈,就会产生磁场。电子对磁场十分敏感,电子在显微镜腔室的路径就可以由这些电磁透镜控制——调节电流大小可以控制磁场强度。通常,电磁

光学显微镜可用电子日镜吗?

电子显微镜是以电子束为照明源,通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器。光学显微镜则是利用可见光照明,将微小物体形成放大影像的光学仪器。电子显微镜与光学显微镜主要有以下几个方面的区别: 1、照明源不同。电镜所用的照明源是电子枪发出的电子流,而光镜的照明源是可见光(日

日立扫描电镜应用及结构

日立扫描电镜被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。电子光学系统包括电子枪、电磁透

日立扫描电镜应用及结构

 日立扫描电镜被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。电子光学系统包括电子枪、电磁

光镜和电镜的区别

电子显微镜是以电子束为照明源,通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器。光学显微镜则是利用可见光照明,将微小物体形成放大影像的光学仪器。电子显微镜与光学显微镜主要有以下几个方面的区别:1、照明源不同。电镜所用的照明源是电子枪发出的电子流,而光镜的照明源是可见光(日光

扫描电镜“弱视”,工业制造难以明察秋毫

对材料微观结构的观测离不开“微观相机”——扫描电子显微镜,一种高端的电子光学仪器,它被广泛地应用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等各个研究领域和工业部门。 “比如,在材料科学领域,它是非常基础的科研仪器,毫不夸张地说,材料领域70%—80%的文章都要用到扫描电镜提供的信息。”中国科学

光学显微镜与电子显微镜的主要区别有哪些

p.p1 {margin: 0.0px 0.0px 0.0px 0.0px; line-height: 19.0px; font: 13.0px 'Helvetica Neue'}电子显微镜是以电子束为照明源,通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器。光学显微镜则是

扫描电子显微镜机构组成

扫描电子显微镜机构组成  扫描电子显微镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。  以下提到扫描电子显微镜之处,均用SEM代替  真空系统  真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。  真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加

电子束光刻的基本结构

  电子束曝光的基本结构,从上往下依次为:电子枪、电子枪准直系统、电磁透镜、消像散器、偏转器、物镜、光阑(Aperture)、电子探测器、工作台(stage)以及真空泵(离子泵、分子泵、机械泵)。  电子枪:高分辨率的热场发射,配有高压,电子束的能量通常在10~100KeV。  电子枪准直系统:对电

扫描电镜“弱视”,工业制造难以明察秋毫

对材料微观结构的观测离不开“微观相机”——扫描电子显微镜,一种高端的电子光学仪器,它被广泛地应用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等各个研究领域和工业部门。 “比如,在材料科学领域,它是非常基础的科研仪器,毫不夸张地说,材料领域70%—80%的文章都要用到扫描电镜提供的信息。”中国科学

剖析透射电镜和扫描电镜的差异

结构差异:主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。透射电镜的样品在电子束中间,电子源在样品上方发射电子,经过聚光镜,然后穿透样品后,有后续的电磁透镜继续放大电子光束,最后投影在荧光屏幕上;扫描电镜的样品在电子束末端,电子源在样品上方发射的电子束,经过几级电磁透镜缩小,到达样品。当然后续的信号探测处理