电子束光刻的基本结构

电子束曝光的基本结构,从上往下依次为:电子枪、电子枪准直系统、电磁透镜、消像散器、偏转器、物镜、光阑(Aperture)、电子探测器、工作台(stage)以及真空泵(离子泵、分子泵、机械泵)。 电子枪:高分辨率的热场发射,配有高压,电子束的能量通常在10~100KeV。 电子枪准直系统:对电子枪发出的电子束进行较直。 电磁透镜:与光学透镜类似,聚焦电子束。 消像散器:调节聚焦像散,减少误差。 光阑:改变电子束流。......阅读全文

电子束光刻的基本结构

  电子束曝光的基本结构,从上往下依次为:电子枪、电子枪准直系统、电磁透镜、消像散器、偏转器、物镜、光阑(Aperture)、电子探测器、工作台(stage)以及真空泵(离子泵、分子泵、机械泵)。  电子枪:高分辨率的热场发射,配有高压,电子束的能量通常在10~100KeV。  电子枪准直系统:对电

电子束光刻的特点

  电子束曝光是用低功率密度的电子束照射电致抗蚀剂,经显影后在抗蚀剂中产生图形的一种微细加工技术。  这种曝光方式分辨率高、掩膜版制作容易、工艺容限大,而且生产效率高,但由于电子束在光刻胶膜内的散射,使得图案的曝光剂量会受到临近图案曝光剂量的影响(即临近效应),造成的结果是,显影后,线宽有所变化或图

电子束光刻相关介绍

  电子束曝光(electron beam lithography)指使用电子束在表面上制造图样的工艺,是光刻技术的延伸应用。  光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短,光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论,电子是一种波长极短的波。这样,电子束曝光的精度可以达到纳

电子束光刻投影电子束扫描系统

  扫描式电子束曝光系统可以得到极高的分辨率,但其生产率较低,不能满足大规模生产的需要。成形束系统生产率固然有所提高,但其分辨率一般在0.2μm左右,难以制作纳米级图形。近年来研发的投影电子束来曝光系统,既能使曝光分辨率达到纳米量级,又能大大提高生产率,且不需要邻近效应校正。在研制中的投影式电子束曝

电子束光刻光栅扫描系统相关介绍

  采用高速扫描方式对整个图形场扫描,利用快速束闸控制电子束通断,实现选择性曝光。例如美国Etec公司生产的MEBES系统采用高亮度热场致发射阴极,在掩模版上可获得400的束电流密度,工件台在X方向作连续移动时,电子束在Y  方向作短距离重复扫描,从而形成一条光栅扫描图形带。随后工件台在  Y方向步

LSM的基本结构

基本结构LSCM系统主要包括:激光光源、扫描模块、荧光显微镜、数字信号处理器、计算机及图像输出设备等。激光光源有单激光和多激光系统。显微镜是LSCM的主要组件,它关系到系统的成像质量。物镜的选择是非常重要的,NA值是分辨率和光学切片厚度的决定因素,保持其他显微镜变量不变,NA值越高,光学切片越薄。应

细菌的基本结构

结构特点及功能细胞壁主要组分为肽聚糖,其功能是:①维持细菌形态;②参与细胞内外物质交换;③细胞壁上还带有多种抗原决定簇,决定细菌的抗原性;细胞膜功能:物质转运;生物合成;呼吸作用;分泌作用细胞质细菌新陈代谢的主要场所,胞质内含有核酸和多种酶系统,参与菌体内物质的合成代谢和分解代谢核质决定细菌性状和遗

别构酶的基本结构

别构酶多为寡聚酶,含有两个或多个亚基。其分子中包括两个中心:一个是与底物结合、催化底物反应的活性中心;另一个是与调节物结合、调节反应速度的别构中心。两个中心可能位于同一亚基上,也可能位于不同亚基上。在后一种情况中,存在别构中心的亚基称为调节亚基。别构酶是通过酶分子本身构象变化来改变酶的活性。

叶片的基本结构

一个典型的叶主要由叶片、叶柄、托叶等三部分组成。同时具备此三个部分的叶称为完全叶,缺乏其中任意  一或二个组成的则称为不完全叶。叶片通常片状,叶柄上端支持叶片,下端与茎节相连,托叶则着生于叶柄  基部两侧或叶腋,在叶片幼小时,有保护叶片的作用,一般远较叶片为细小。自叶片作一横切片,自外而内可察见如下

羧基的基本结构

羧酸 (RCOOH)(Carboxylic Acid) 是最重要的一类有机酸。一类通式为RCOOH或R(COOH)n 的化合物,官能团:-COOH。X射线衍射证明,甲酸中羰基的键长123pm长于正常的羰基122pm;C-O的键长131pm小于醇中的 C-O的键长143pm;在甲酸晶体中,两个碳氧键键

抗体的基本结构

  经x线晶体衍射结构分析发现,Ig由四条多肽链组成,各肽链之间南数量不等的链间二硫键连接。Ig可形成“Y”字型结构,称为Ig单体,是构成抗体的基本单位。[2]  (一)重链和轻链  天然Ig分子含有四条异源性多肽链,其中,分子鼍较大的两条链称为重链(heavy chain,H),而分子量较小的两条

抗体的基本结构

经x线晶体衍射结构分析发现,Ig由四条多肽链组成,各肽链之间由数量不等的链间二硫键连接。Ig可形成“Y”字型结构,称为Ig单体,是构成抗体的基本单位。 (一)重链和轻链天然Ig分子含有四条异源性多肽链,其中,分子量较大的两条链称为重链(heavy chain,H),而分子量较小的两条链称为轻链(Li

天平的基本结构

  普通标牌天平 主要由立柱、横梁、吊挂系统、底座和制动装置组成。  立柱垂直固定在底座上,用以支撑横梁。立柱下部装有分度牌,顶部装有托架,在天平不工作时支托横梁。在横梁中部装有一把中刀。天平工作时,中刀搁置在与升降杆顶端连接的刀承上,作为支点。中刀两边装有两把边刀,分别作为重点和力点,起承受和传递

α螺旋的基本结构

α螺旋是一种最常见的二级结构,最先由Linus Pauling和Robert Corey于1951年提出,其主要内容是: ①肽链骨架围绕一个轴以螺旋的方式伸展;②螺旋形成是自发的,肽链骨架上由n位氨基酸残基上的-C=O与n+4位残基上的-NH之间形成的氢键起着稳定的作用;被氢键封闭的环含有13个原子

别构酶的基本结构

别构酶多为寡聚酶,含有两个或多个亚基。其分子中包括两个中心:一个是与底物结合、催化底物反应的活性中心;另一个是与调节物结合、调节反应速度的别构中心。两个中心可能位于同一亚基上,也可能位于不同亚基上。在后一种情况中,存在别构中心的亚基称为调节亚基。别构酶是通过酶分子本身构象变化来改变酶的活性。

细菌的基本结构

细菌的结构分为基本结构和特殊结构。基本结构是各种细菌都具有的结构,包括细菌的细胞壁、细胞膜、细胞质、核质。某些细菌特有的结构称为特殊结构,包括细菌的荚膜、鞭毛、菌毛、芽胞。 [5](1)细胞壁细胞壁(cell wall)位于菌细胞的最外层,包绕在细胞膜的周围,组成较复杂,并随细菌不同而异。革兰阳性菌

酶标仪的基本结构

酶标仪是一台变相的光电比色计或分光光度计,其工作原理与主要结构跟光电比色计几乎完全相同。酶标仪主要由光源系统、单色器系统、样品室、探测器和微处理器控制系统等组成。 光源灯发出的光线经过滤光片或单色器后,成为一束单色光。该单色光束经过酶标板中的待测标本,被标本吸收掉一部分后,到达光电检测器。光电检测器

别构酶的基本结构

调节物也称效应物或调节因子。一般是酶作用的底物、底物类似物或代谢的终产物。调节物与别构中心结合后,诱导或稳定住酶分子的某种构象,使酶的活性中心对底物的结合与催化作用受到影响,从而调节酶的反应速度和代谢过程,此效应称为酶的别构效应(allosteric effect )。因别构导致酶活力升高的物质,称

抗体的基本结构

经x线晶体衍射结构分析发现,Ig由四条多肽链组成,各肽链之间由数量不等的链间二硫键连接。Ig可形成“Y”字型结构,称为Ig单体,是构成抗体的基本单位。(一)重链和轻链天然Ig分子含有四条异源性多肽链,其中,分子量较大的两条链称为重链(heavy chain,H),而分子量较小的两条链称为轻链(Lig

细菌的基本结构与特殊结构

1.细菌的基本结构结构特点及功能细胞壁主要组分为肽聚糖,其功能是:①维持细菌形态;②参与细胞内外物质交换;③细胞壁上还带有多种抗原决定簇,决定细菌的抗原性;细胞膜功能:物质转运;生物合成;呼吸作用;分泌作用细胞质细菌新陈代谢的主要场所,胞质内含有核酸和多种酶系统,参与菌体内物质的合成代谢和分解代谢核

结构域的基本结构特点

在蛋白质三级结构内的独立折叠单元。结构域通常都是几个超二级结构单元的组合至蛋白质多肽链在二级结构的基础上进一步卷曲折叠成几个相对独立的近似球形的组装体。结构域(Structural Domain)是介于二级和三级结构之间的另一种结构层次。所谓结构域是指蛋白质亚基结构中明显分开的紧密球状结构区域,又称

电子束光刻成型电子束扫描系统

  成形电子束曝光系统按束斑性质可分成固定和可变成形束系统。固定成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸始终不变;可变成形束系统在曝光时束斑形状和尺寸可不断变化。按扫描方式,成形电子束曝光系统又可分为矢量扫描型和光栅扫描型。一种尺寸可变的矩形束斑的形成原理是电子束经上方光阑后形成一束方形电子束,再照射到下方

酶标仪基本结构

1、酶标仪主要由光源系统、单色器系统、样品室、探测器和微处理器控制系统等组成。2、酶标仪即酶联免疫检测仪是酶联免疫吸附试验的专用仪器又称微孔板检测器。可简单地分为半自动和全自动2大类,但其工作原理基本上都是一致的,其核心都是一个比色计,即用比色法来进行分析。 测定一般要求测试液的最终体积在250μL

恒温摇床的基本结构

基本结构分为床面、床头和机架三个主要部分。

抗体分子的基本结构

  抗体分子的基本结构呈“Y”字型,由两条相同的重链和两条相同的轻链以二硫键连接而成。重链和轻链近氨基端的1/4或1/2氨基酸序列的变化很大,为可变区;其他部分氨基酸序列则相对恒定,为恒定区;位于CH1与CH2之间、富含脯氨酸的区域为铰链区。VH和VL分别代表重链和轻链的可变区,CH和CL分别代表重