双频激光干涉仪原理
干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10。 单频激光干涉仪 图1为单频激光干涉仪的工作原理。从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11] 计算式 式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干......阅读全文
双频激光干涉仪原理
干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大
双频激光干涉仪原理
干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大
清华和镭测共同开发双折射双频激光干涉仪实现批量生产
日前,记者从清华大学精密仪器系获悉,该系教授张书练课题组进行原理研究并由北京镭测科技有限公司开发生产的双折射双频激光干涉仪具有优良的可靠性和先进的技术指标,其中,双折射双频激光干涉仪的分辨率达到1纳米(十亿分之一米),线性测量长度范围0~70米,非线性误差小于1纳米,测量速度超过2米。 双频
激光干涉仪的工作原理
激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
激光干涉仪的工作原理
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性
激光干涉仪的工作原理是什么
激光干涉仪,对于机床的精准测量与校正提供了有效的解决方案。能同时进行三维数据测量,其距离方向(Z轴)的测量值为纳米精度。此方案适用于质量监控,特别是在机床的校准方面。优点:测量精确度高,友好的用户界面和完整的数据记录以及存档。产品的性价比高。缺点:设置干涉仪时需格外小心。激光光束在测量期间不允许被中
激光准直仪与干涉仪的区别
准直仪测量的是直线度,也就是目标的移动轨迹,如果是线激光+PSD原理的,精度跟重复性都可以达到0.001mm级别。激光干涉仪主要是用来测量目标的定位精度的,也就是说测量目标的实际移动距离与控制系统的指令是否吻合,这个精度可以达到纳米的级别。如果是双频的,而且频率相差得比较大,比如7M以上的,两种波长
激光干涉仪怎样调光
激光干涉仪,关键字是激光和干涉。干涉(interference)是两列或两列以上的波在空间中重叠时发生叠加从而形成新的波形的现象。对光源有一定的要求,而激光的三个特性能够较好的发生干涉。所以就出现了用激光干涉实现某种应用的仪器。一般性应用都是测面型,距离,速度等。因为两束满足特定要求的激光能够产生干
激光干涉仪的分类
激光干涉仪一般分为单频和双频,中图仪器激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗
什么是激光干涉仪
激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,在高端制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面
激光干涉仪检测图谱
这要看交叉多大。有交叉不是说就不好。他是地位精度。你要看哪上边的数值,这是不是在一定范围,然后检完要要进行补偿,然后再捡,一般的不好的都是三遍每一遍到最后线越来越宽的。叫喇叭口,这种的不好。只要在系统的补偿值范围内就没事,机械不要做得太次,要不没法过。
激光干涉仪怎样调光
调整半导体准直光源,使小孔光束在通过导轨中心线的垂面并与导轨表面平行。调节全反射腔镜的四维调整架,使小孔光束通过其中心,并让反射光束沿原路返回小孔。装好聚光腔体,调节其支架,使小孔光束通过激光棒两端面的中心,并让其前端面的反射光点返回小孔。调节输出境和反射镜。调节偏振片和调Q晶体。垂直光路的调节
激光干涉仪的应用
激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。 激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。 激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大
激光干涉仪使用技巧
1、Z轴激光光路快速准直方法 用激光干涉仪进行线性测量时,Z轴测量时激光光路的准直相对X、Y轴准直来说,要困难的多。尤其是在Z轴距离较长的情况下,要保证激光光束经反射镜反射后回到激先探测器的强度满足测量对对光强的要求,准直激光光路往往需要很长时间。 Z轴激光光路快速准直方法具体调整方法如下:
激光干涉仪的功能介绍
激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
激光干涉仪的应用特点
(1)几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。(2)位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差,而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿,比通常的补偿方法节省了大量时间
激光干涉仪的仪器维护
1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动 时,应托住底座,以防导轨变形。 2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是
激光干涉仪的应用特点
(1)几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。(2)位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差,而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿,比通常的补偿方法节省了大量时间
激光干涉仪的技术特点
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架6. 集
激光干涉仪的功能特点
1、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。 2、激光干涉仪的光源——激光,具有高强度、高度方向性、空间同调
激光干涉仪有什么功能
激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特
激光干涉仪的发展历史
1604年开普勒(J.Kepler)写出光学著作,指出光的强度和到达光源距离的平方成反比。并于1611年出版《折射光学》。 1801年托马斯•杨(Thomas Young)用双狭缝实验演示了光的干涉现象,即著名的杨氏双缝实验。 1881年迈克尔逊(Albert.A.Michelson)设计了
激光干涉仪的分类及功能介绍
激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频激光干涉仪从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,
激光干涉仪的主要种类和功能介绍
激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频激光干涉仪从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,
国产机载双频激光雷达探测技术研究进展
中国科学院上海光学精密机械研究所;中国科学院空间激光信息传输与探测技术实验室;上海大恒光学精密机械有限公司;中国科学院大学;南京大学中国南海研究协同创新中心;中国海监南海航空支队;杭州中科天维科技有限公司;山东科技大学测绘科学与工程学院;国家海洋局第二海洋研究所;中国科学院遥感与数字地球研究所;北京
激光干涉仪的主要技术特点
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架6. 集
激光干涉仪的仪器维护方法
1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动 时,应托住底座,以防导轨变形。 2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是
激光干涉仪的基本不操作
1、开机:接通电源打开电源开关,1分钟后开始检测; 2、光路调整:旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点,显示器上显示完整的圆形图像; 3、透镜面形检测:调节沉座到被检透镜的适合尺寸,放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合,观测显示器是否出现干涉条纹,
激光干涉仪可以测角度么
激光干涉仪是可以测角度的,主要应用于运动轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量。SJ6000激光干涉仪测量角度工作原理如下:角度反射镜旋转时产生转角,或是移动过程中产生角摆,两束反射光会有相对应的光程差产生,SJ6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的角度值。激光干涉仪测量角度基本配
激光干涉仪的技术参数
1. 线性:0.5ppm .2. 测量范围:40米(1D可选80米)3. 线性分辨力:0.001um.4. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值5. 最大范围:800角秒6. 滚动角精度:1.0角秒7. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值8. 直线度最