集微咨询发布中国半导体去胶设备白皮书
一、产业基本概念光刻胶作为掩膜材料在半导体加工工艺中起到了图形复制和传递的作用,而一旦刻蚀工艺(或者其他工艺)完成,光刻胶的使命也就完成,必须将其完全清除干净,这一工序就是去胶。二、设备分类与产业链情况去胶分为湿法去胶和干法去胶。1.湿法去胶湿法去胶是将带有光刻胶的晶圆片浸泡在适当的有机溶剂中溶解或者分解光刻胶,将晶圆表面的光刻胶去除。在湿法刻蚀前,光刻胶的表面都经过了表面加固处理,这使得光刻胶在大部分去胶液中都不溶解或者很难完全溶解。这种情况下,在进行湿法去胶前还需要用等离子体去掉最上面的一层胶。湿法去胶的主要缺点是去胶周期长,容易引进无机杂质,并且操作麻烦。2.干法去胶干法去胶主要是等离子去胶,通常采用等离子体氧化或分解等方式去除光刻胶。等离子去胶机是广泛应用于去胶的设备。去胶机通过氧原子和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶。光刻胶的基本成分是碳氢聚合物,氧原子可以很快地和光刻胶反应生成一氧化碳、二氧化碳和水等,这些......阅读全文
又薄又软的半导体新材料可制微纳光电器件
性质柔软、厚度只有几纳米、光学性能良好……记者3日从南京工业大学获悉,该校王琳教授课题组制备出一种超薄的高质量二维碘化铅晶体,并且通过它实现了对二维过渡金属硫化物材料光学性质的调控,为制造太阳能电池、光电探测器提供了新思路。该成果发表在最新一期国际期刊《先进材料》上。 “我们首次制备的这一超薄
新兴半导体:一种透明柔性的单晶硅微框架结构
柔性、透明是光电子器件的发展趋势,柔性透明的器件能够不易察觉的与其他器件或物体进行集成,在电子皮肤、物联网、透明柔性显示器和人工视觉等领域有着巨大的应用潜力。然而,发展新型柔性、透明电子器件首先需要克服的就是材料问题。传统光电子器件主要是依靠半导体这一成熟的材料体系,但是目前常用的半导体材料都是
半导体展会2024半导体展|半导体设备展|2024半导体材料展
深圳电子元器件展,电子仪器仪表展,深圳电子仪器仪表展,电子元器件展,深圳电子设备展,电子设备展,电子元器件展览会,电子仪器展,深圳电子仪器展,电仪器展览会,深圳继电器展,深圳电容器展,深圳连接器展,深圳集成电路展2024中国(深圳)国际半导体与封装设备展览会2024 China (Shenzhen)
微流控芯片的加工技术
一、光刻(lithography)和刻蚀技术(etching)1.光刻工艺光刻是用光刻胶、掩模和紫外光进行微制造 ,工艺如下 :①仔细地将基片洗净;②在干净的基片表面镀上一层阻挡层 ,例如铬、二氧化硅、氮化硅等;③再用甩胶机在阻挡层上均匀地甩上一层几百 A厚的光敏材料——光刻胶。光刻胶的实际厚度与它
半导体展会2024上海半导体展|半导体设备展|2024半导体材料展
展会名称:2024中国(上海)国际半导体展览会英文名称:China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间:2024年11月18-20日 论坛时间:2024年11月18-19日 展会地点:上海新国际
电子材料展|2025深圳国际光刻胶展览会「官网」
2025深圳国际电子化学与新材料展览会2025 China (Shenzhen) International Electronic Chemistry and New Materials Exhibition地点:深圳会展中心展览时间:2025年4月9-11日参展咨询:021-54163212大会负
UV光刻胶中的正性和负性胶的区别
最主要的区别就是正胶经曝光显影后可溶与显影液; 负胶经曝光显影后不溶与显影液同样一块mask, 正胶和负胶曝光显影后图形是相反的
2024第21届北京国际电子气体与加工设备展览会
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
2024第21届北京国际驱动芯片与加工设备展览会
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
2024第21届北京国际电源管理芯片与加工设备展览会
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
2024第21届北京国际车规级芯片与加工设备展览会
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
2024第21届北京国际医疗芯片与加工设备展览会
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
【2024中国半导体展】北京电器芯片展览会
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2024北京硅片及硅基材料博览会「参展咨询」「9月57日」
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AI芯片展会|2024上海国际电器芯片展览会「上海半导体展」
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AI芯片展会|2024上海国际存储器芯片展览会「上海半导体展」
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AI芯片展会|2024上海国际车规级芯片展览会「上海半导体展」
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AI芯片展会|2024上海国际医疗芯片展览会「上海半导体展」
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AI芯片展会|2024上海国际音视频处理芯片展览会「上海半导体展」
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半导体设备展会|2024上海国际半导体制冷设备展览会「上海半导体展」
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2024第21届北京国际开发印刷电路板/硬件开发与加工设备展览会
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【2024中国半导体展】深圳半导体展-半导体设备展览会
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AI芯片展会|2024上海国际电源管理芯片展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
2024第21届北京国际半导体设备及智能装备与加工设备展览会
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
AI芯片展会|2024上海国际计算机及控制芯片展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
AI芯片展会|2024上海国际交通电子芯片展览会「上海半导体展」
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2024第21届北京国际集成电路应用与加工设备展览会
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2024北京半导体材料博览会「参展咨询」「9月57日」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
2024第21届北京国际集成电路应用与加工设备展览会
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连
半导体设备展会|2024上海国际半导体单晶炉展览会「上海半导体展」
2024年第二十一届中国国际半导体博览会(IC CHINA)时 间:2024 年 9 月 5 一 7 日地 点:中国·北京 · 北人亦创国际会展中心参展咨询:021-5416 3212大会负责人:李经理 136 5198 3978(同微)作为中国半导体行业协会主办的唯一展览会,自 2003 年起已连