东之星快速退火炉共享应用

仪器名称:快速退火炉仪器编号:04011389产地:中国生产厂家:北京东之星应用物理所型号:RTP400出厂日期:200410购置日期:200411所属单位:集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点:微电子所新所一层微纳平台固定电话:固定手机:固定email:联系人:曹秉军(010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn)窦维治(010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn)分类标签:微纳加工 集成电路 半导体 快速热退火技术指标:快速退火,工艺温度400~1000℃。知名用户:吴华强 微电子所;许军 微电子所;陈炜 微电子所;钱鹤 微电子所;刘泽文 微电子所;岳瑞峰 微电子所; 王喆垚 微电子所;蔡坚 微电子所;邓宁 微电子所;伍晓明 微电子所技术团队:曹秉军 张忠会 窦维治功能特色:......阅读全文

快速退火炉中的天然气流量测量用哪种流量计来解决?

  解决退火炉中的天然气流量测量可以使用V锥流量计来解决,另外需要现场就地显示的话,大多数是使用多参量差压流量计,这个也是V锥流量计的升级,可同时测量测量以及差压。在原始的天然气流量测量中,可以使用热式气体质量流量计、涡街流量计等仪表来计量,随着流量计的不断发展,流量计的种类也越来越多。  多参量差

蓝宝石晶片退火的方法

蓝宝石晶片退火的方法蓝宝石晶体(Al2O3)是超高亮度的蓝、白光LED发光材料GaN常用的衬底材料, 而GaN嘉晶的晶体质量与所使用的监宝石衬底(基板)表面加工质量密切相关,尤其是图形化衬底(PSS)与晶片的表面形貌、翘曲程度联系密切,同时,晶片的翘曲程度过大,会在平片做GaN磊晶时,平片与外延

氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用

  真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备,热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。  真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(

真空热处理炉按用途的分类及分类介绍

真空淬火炉;真空淬火炉可分为真空油淬炉和真空气淬炉。1真空油淬炉适用于模具钢、弹簧钢、不锈钢、轴承钢、高温合金钢等的真空热处理。其主要特点是适用的材料范围广、淬透性强、成本低、淬火油可重复使用。不足之处有;变形量相对要大一些,工件后续需要清洗。真空油淬炉从结构上可分为双室炉和三室炉等。2真空高压气淬

管式真空气氛炉的工作原理

  管式真空气氛炉又名无氧退火炉、真空气氛烧结炉等 物体在通入一定气体的炉膛内进行烧结的方法。 不同的材料选择适宜的气氛烧结,有助于烧结过程,提高制品致密化程度、获得良好的性能的制品。真空气氛炉常用的有真空、氢、氧、氮和惰性气体(如氩)等各种气氛。例如透明氧化铝陶瓷可用氢气氛烧结,透明铁电陶瓷宜用氧

真空气氛炉相关介绍

  真空气氛炉又名无氧退火炉、真空气氛烧结炉等是物体在通入一定气体的炉膛内进行烧结的方法。  sintering under varied atmosphere 不同的材料选择适宜的气氛烧结,有助于烧结过程,提高制品致密化程度、获得良好的性能的制品。真空气氛炉常用的有真空、氢、氧、氮和惰性气体(如氩

超高真空多靶磁控溅射镀膜仪

  超高真空多靶磁控溅射镀膜仪是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器,于2010年2月21日启用。  技术指标  双室磁控溅射系统,极限压力:主溅射室,6.67*10-6Pa,2、永磁靶5套,三个直流电源,两个射频电源,靶材直径60mm;3、6个样品工位,尺寸直径30mm,基片加热最高600度,退火

电炉的六大分类

电炉的六大分类1.电炉按式样分可以分箱式电炉,一体化电炉,管式电炉;2.按功能可以分普通电炉,程控电炉;3.从采用能源方面,有电炉,煤炉,焦碳炉,天然气炉等;4.从加热方式分感应加热和焙烧加热,感应加热分超音、高、中、工频;焙烧加热按发热元件分电阻,硅碳棒,硅钼棒等;5.电热产生方式分为直接加热和间

热释光剂量仪的特点及应用介绍

   热释光探测器退火炉是对热释光探测器进行热处理的专用设备,用于热释光探测器使用前和照射后的热处理。    使用前的热处理用于消除探测器的残余剂量,恢复探测器的初始灵敏度和发光曲线的形状;    照后低温退火用于消除探测器的低温峰,缩短测量周期,多用于大批量探测器的测量。    仪器应用:

实验电炉的特点和常用热电偶的优点

高温炉即电阻炉、箱式电炉、马弗炉,*次使用或长期停用后再次使用时,必须进行烘炉。烘炉的时间应为室温200℃四小时。高温炉即电阻炉、箱式电炉、马弗炉,*次使用或长期停用后再次使用时,必须进行烘炉。烘炉的时间应为室温200℃四小时。200℃至600℃四小时。使用时,炉温*高不得超过额定温度,以免烧毁电热

实验电炉的特点和常用热电偶的优点

实验电炉的特点和常用热电偶的优点耐高温,实验电炉--热电偶的测温范围主要取决于热电极的高温性能,也就是说,在高温介质中,热电极的物理化学性能越稳定,则由它组成的热电偶的测温范围就越宽。        高温炉即电阻炉、箱式电炉、马弗炉,*次使用或长期停用后再次使用时,必须进行烘炉。烘炉的时间应为室温2

实验电炉的特点和常用热电偶的优点

实验电炉的特点和常用热电偶的优点高温炉即电阻炉、箱式电炉、马弗炉,*次使用或长期停用后再次使用时,必须进行烘炉。烘炉的时间应为室温200℃四小时。高温炉即电阻炉、箱式电炉、马弗炉,*次使用或长期停用后再次使用时,必须进行烘炉。烘炉的时间应为室温200℃四小时。200℃至600℃四小时。使用时,炉温*

红外热成像仪在机电方面的应用

  通用机电设备:传送带检测、电机检测、阀门检测、法兰泄露检测、管道检测、冷凝阀、压缩机、轴承检测等。  冶金加热设备:钢包、高炉风口、高炉冷却壁、高炉内衬检测、高炉送风支管检测、焦炉  连铸板坯、热风炉、热风炉拱顶检测、退火炉、鱼雷罐车、转炉炉衬等。  石化专用设备:蒸馏塔、储罐液位检测、反应器、

管式真空气氛炉的性能特点与原理

  管式真空气氛炉又名无氧退火炉、真空气氛烧结炉等 物体在通入一定气体的炉膛内进行烧结的方法。 不同的材料选择适宜的气氛烧结,有助于烧结过程,提高制品致密化程度、获得良好的性能的制品。   管.jpg   真空气氛炉常用的有真空、氢、氧、氮和惰性气体(如氩)等各种气氛。例如透明氧化铝陶瓷可用

真空气氛还原箱式气氛炉

真空气氛还原箱式气氛炉真空气氛炉又名无氧退火炉、真空气氛烧结炉等,是物体在通入一定气体的炉膛内进行烧结的方法。不同的材料选择适宜的气氛烧结,有助于烧结过程,提高制品致密化程度、获得良好的性能的制品。真空气氛炉常用的有真空、氢、氧、氮和惰性气体(如氩)等各种气氛。例如透明氧化铝陶瓷可用氢气氛烧结,透明

高精度冷镜式露点仪帮助降低热处理过程的成本

优化的控制,需要时刻监视熔炉用气的湿气含量。因此所采用的湿度仪必须具备快速、精的显示读数的能力。密析尔仪表的S8000 RS采用以确和可靠方式测量露点的冷镜技术,因为同其他需要计算、换算的方式不同,该技术直接测量控温镜面上实际形成的湿气或霜。该产品独有的双光路检测系统实时检测镜面上结露的微小变化,从

氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用

    真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉), 掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。    半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备

真空气氛炉的工作原理

  sintering under varied atmosphere真空气氛炉又名无氧退火炉、真空气氛烧结炉等物体在通入一定气体的炉膛内进行真空烧结的方法。  不同的材料选择适宜的气氛烧结,有助于烧结过程,提高制品致密化程度、获得良好的性能的制品。真空气氛炉常用的有真空、氢、氧、氮和惰性气体(如氩

冷拔精密钢管生产注意事项

  冷拔无缝钢管具有内外壁无氧化层、承受高压无泄漏、高精度、高光洁度、冷弯不变形、扩口压扁无裂缝、表面已作防锈处理等特点,主要用于机械结构、液压设备及汽车摩托车的气动或液压元件,如气缸或油缸等。   冷拔精密无缝钢管规格   冷拔基本的工艺流程是:热轧毛管、毛管检查、修磨、毛管酸洗、毛管酸洗后复

访纳博热总经理王晓侠:深耕细分市场-注重个性化服务

  分析测试百科网讯 2016年10月11日,时值第八届慕尼黑上海分析生化展(analytica China 2016)召开之际,纳博热携最新技术与解决方案参展,分析测试百科网采访了纳博热(上海)工业炉有限公司总经理王晓侠和纳博热公司(Nabertherm GmbH)大客户经理(key accoun

上海锦玟工程师关于实验室常用加热方式盘点

   先说电阻丝加热,这个是利用电阻发热,通过控制加热的功率来改变加热温度。这种方式成本低,电阻丝比较廉价。但是温度高达到1200度,但是瑞士进口电阻丝高可以到达1400度,瑞士的电阻丝类似国内的40cr(40Cr是我国GB的标准钢号)。    硅钼(碳)棒是马弗炉(箱式电阻炉)常用的加热元件,可

SX2413箱式电阻炉马弗炉结构简介

本系列电阻炉外型均为长方体,炉壳采用冷轧钢板折边焊接制成,工作室有碳化硅耐火材料制成,炉膛与炉壳之间用保温材料作保温层.为了减少炉口的热量散失,提高炉膛内温度的均匀性,在炉门内侧装有耐火材料制成的挡热板。炉内温度的测量,指示和调节自动控制系统由XMT系列温度控制仪来完成.仪表内设断偶保护装置,在加热

电炉的种类、特点及用途有哪些

电炉是把炉内的电能转化为热量对工件加热的加热炉,它是用电加热实现预期工艺目的(如物料的冶炼、熔化、加热、热处理、烧结、烘干等)的电热设备。一、电炉的结构电炉设备通常是成套的,包括电炉炉体,电力设备(电炉变压器、整流器、变频器等),开闭器,附属辅助电器(阻流器、补偿电容等),真空设备,检测控制仪表(电

真空设备产品分类及特点

真空设备产品可分为五大类:(1)、真空获得设备--产生、改善或维持真空的装置。包括各种获得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空机组。A、机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。B、蒸汽流真空泵:水蒸气喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。C、气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸

真空气氛炉出现紧急情况时如何应对?

  真空气氛炉又名无氧退火炉、真空气氛烧结炉,真空气氛炉在使用中难免会发生紧急情况,此时操作者不要惊慌,应该冷静地采取一些应急措施,以避免重大事故的发生   当真空气氛炉出现紧急情况时如何应对?   一、断电时的操作:   系统断电时,立即关闭所有气动阀。停电时如遇到“送料”或“取

红外气体分析仪的应用概述

  烟气、尾气等污染气体中所含有的氮氧化物、硫氧化物等成分,对我们的健康有着很大的威胁。  KL-1000A红外气体分析仪是本公司针对环境监测、工业现场排放气体分析,自主研发的新型红外气体传感器。采用了进口高精度、高分辨率探头,完全自主知识产权的气体吸收池。传感器具有精度高,稳定性好,响应时间快等特

防爆电加热器在石油化工行业中的使用情况

  防爆电加热器在石油化工行业中的使用情况:   1、贮罐泵出式:   防爆电加热器又称泵出型电加热器,泵出型电加热器主要适用于加热贮罐内各种粘性介质,使之局部变稀后可以用泵顺利抽取,如我司生产的防爆电加热器。   优点:仅对需要泵出的介质进行局部加热即可操作,热启动快,用电负荷小,无须对

防爆电加热器在石油化工行业中的使用情况

  防爆电加热器在石油化工行业中的使用情况:   1、贮罐泵出式:   防爆电加热器又称泵出型电加热器,泵出型电加热器主要适用于加热贮罐内各种粘性介质,使之局部变稀后可以用泵顺利抽取,如我司生产的防爆电加热器。   优点:仅对需要泵出的介质进行局部加热即可操作,热启动快,用电负荷小,无须对

2024石英展|石英大会|石英展览会

2024石英展|石英大会|石英展览会2024武汉国际石英产业展览会暨发展论坛 时间:2024年12月26-28日地点:武汉文化博览中心【展会简介】我国石英砂资源丰富,广泛应用于建筑、玻璃、陶瓷、机械、铸造、橡塑、化工、冶金、石油钻探等传统产业,以及电子信息、通讯、半导体、光伏、航空航天和国防等高新技

2024成都石英展会|石英大会|石英产业展览会

2024成都国际石英产业展览会暨发展论坛时间:2024年4月7-9日 地点:成都世纪城国际会展中心【展会简介】我国石英砂资源丰富,广泛应用于建筑、玻璃、陶瓷、机械、铸造、橡塑、化工、冶金、石油钻探等传统产业,以及电子信息、通讯、半导体、光伏、航空航天和国防等高新技术产业。近几年来,我国石英产业发展较