清华大学仪器共享平台金盛微纳全自动磁控溅射系统
仪器名称：全自动磁控溅射系统仪器编号：12024341产地：中国生产厂家：金盛微纳科技有限公司型号：MSP-150B出厂日期：201112购置日期：201211所属单位：集成电路学院>微纳加工平台>薄膜工艺放置地点：微电子所新所一层微纳平台固定电话：固定手机：固定email：联系人：刘建设（,,zhaoting@tsinghua.edu.cn）窦维治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）分类标签：微纳加工 半导体工艺 集成电路 磁控溅射技术指标：SiO2薄膜溅射；工艺温度﹤200℃知名用户：王喆垚(微电子所)、陈兢(北京大学)、何立平(中科院物理所)、严清峰(化学系)、许军(微电子所)、尤政(精仪系) 朱荣(精仪系)、张志勇(北京大学)、金传洪(浙江大学)技术团队：设备工程师：林宏设备主管：刘建设项目主管：陈炜功能特色：可低温（T﹤200℃）溅射SiO2膜，满......阅读全文
二次离子质谱的原理组成和结构
二次离子质谱Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)1 引言:离子探针分析仪，即离子探针（Ion Probe Analyzer，IPA），又称二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrum，SIMS），是利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加
长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展
近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室金春水研究团队在极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新进展：通过采用遗传算法，实现了Φ200mm曲面基底上极紫外多层膜膜厚分布控制精度优于±0.1%，镀膜引起的不可补偿面形误差小于0.1nmRMS，相关指标达到国际先进水平
等离子体光谱诊断解决方案
薄膜材料因其在多个方面的性能，使得应用十分广泛，薄膜的制备有多种方法，磁控溅射法是当今制备薄膜比较常用的一种方法。而用磁控溅射法制备出高质量薄膜的关键是薄膜生长过程中的工艺参数选择与稳定性控制。为此在薄膜生长中的工艺参数对薄膜的各种性能影响方面做了 探讨与研究，如采用真空溅射镀膜技术在镍锌铁氧基片上
等离子体光谱诊断
薄膜材料因其在多个方面的优异性能，使得应用十分广泛，薄膜的制备有多种方法，磁控溅射法是当今制备薄膜比较常用的一种方法。而用磁控溅射法制备出高质量薄膜的关键是薄膜生长过程中的工艺参数选择与稳定性控制。为此在薄膜生长中的工艺参数对薄膜的各种性能影响方面做了大量探讨与研究，如采用真空溅射镀膜技术在镍锌铁氧
粒细胞系统系统特点
1、原粒细胞：又称髓母细胞。在正常情况下，只有骨髓中方能见到，但最多不超过2%，粒细胞白血病时可增多。圆形或微带椭圆形，直径18微米左右。浆量少，天蓝色，均匀一致，纯净无颗粒。核圆较大，占细胞2/3以上，染色质呈细沙粒状或粉末状，分布均匀，宛如一片薄纱。核膜甚薄，不易观察。核仁明显，通常2-6个，较
粒细胞系统系统特点
1、原粒细胞：又称髓母细胞。在正常情况下，只有骨髓中方能见到，但最多不超过2%，粒细胞白血病时可增多。圆形或微带椭圆形，直径18微米左右。浆量少，天蓝色，均匀一致，纯净无颗粒。核圆较大，占细胞2/3以上，染色质呈细沙粒状或粉末状，分布均匀，宛如一片薄纱。核膜甚薄，不易观察。核仁明显，通常2-6个，
扫描电镜常见搭档——喷金仪相关问题详解
喷金仪是什么？在封闭腔室中，放置阳极靶材，充入气体，保持一定的真空度，在阳极和阴极之间加载高压，会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散，并在样品上沉积，最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电，减小热损伤，提高二次电子产率，从而改善扫描电镜观察
高性能密封氘氚中子管研制
采用磁控溅射法制备高纯钛膜,通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)等测试分析方法,对微观形貌、薄膜纯度、结合强度、膜厚及均匀性等进行了分析表征,并利用高真空微压吸氢试验系统对钛膜的吸氘特性、真空除气与活化工艺等进行了研究。结果表明:磁控溅射法制备的钛膜具有薄膜致密、纯度高
原子尺度实时表征与调控助力自旋芯片和集成电路产业发展——2023年度中国仪器仪表学会科学技术奖获奖项目解读
为了支撑集成电路产业快速发展，集成电路高端装备制造已经上升为国家战略。破解集成电路产业“卡脖子”问题，一大关键是实现高端装备制造的自主可控。 自主创新：面向后摩尔时代集成电路领域高水平科技自立自强的重大需求，亟需打破垄断、突破相关高端装备关键制造技术。北京航空航天大学赵巍胜教授团队创新突破超高精度复
二次离子质谱仪的发展历史
自从Dunnoyer 第一次发现离子在真空中沿直线运动已经有100年的历史，自此以后，分子束的应用在二十世纪持续到二十一世纪，它为重大技术进步和基础研究奠定了基础，分子束用于溅射源是其中应用之一。 尽管在是十九世纪中叶溅射的现象已经观察到，直到十九世纪四十年代，随着真空技术的进步，Herzog
X射线光电子能谱技术（XPS）的系统结构原理
X射线源是用Al或Mg作阳极的X射线管。 它们的光子能量分别是1486 eV和1254 eV 。 安装过滤器(或称单色器)是为了减小光子能量分散。X射线光电子能谱仪(系统)结构原理离子枪的作用一方面是为了溅射清除样品表面污染,以便得到清洁表面,从而提高其分析的准确性。另一 方面,可以对样品进行溅射剥
土壤墒情监测系统的系统介绍
经过实践证明，土壤墒情监测系统在大面积作物栽培区域已受到了重视。这当然与土壤墒情监测系统的优异功能相关联。土壤墒情监测系统主要用于监测旱情与墒情，然后提供农田灌溉的方案。土壤墒情监测系统用于土壤墒情远程遥测调查监测、节水灌溉、温室控制、精细农业，对各种土质的土壤进行室内或者野外监测，能 够快速检测出
电力无线测温系统的系统特点
安全性：独立式等电位绝缘安装，有效避免爬电影响， 不降低电气设备的安全性能。 低功耗：低功耗设计，在保证正常测温的情况下，延长传感器的使用寿命 能快速准确的监测测温点的温度变化。 准确性：进口高精度数字式温度传感器，采用接触式测温，十分接近发热点 灵活性：体积小，安装简便、组网灵活，有
步态分析系统的系统组成简介
简介 步态分析是评价运动功能一个重要手段，但传统步态观察分析其准确性不能保证，而且受测试者的主观因素影响很大。由于这些缺陷，半自动化的三维步态分析系统就应运而生了。三维步态分析系统是一组通过网络将运动分析系统，动态体表肌电图和压力板连接来，提供实时的力学等数据，并对步态进行运动学和动力学分析的
镁合金表面PVD膜层的制备与腐蚀破坏
镁合金在汽车、电子以及航空航天工业上的应用日益广泛,但较差的耐蚀性限制了其在这些领域的推广应用。气相沉积技术作为一种绿色防腐技术正开始受到镁合金表面处理工作者的关注。本文采用磁控溅射、离子注入等现代化技术手段在AZ31镁合金表面制备了多种防护性膜层,利用场发射扫描电镜（FESEM）、原子力显微镜（A
SEM样品表面的导电处理
扫描电镜的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号，而若样品不导电造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后就反复出现充电放电现象（charging)，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形、晃动等等一些现象。本文罗列了一些常见的样品表面的导电处理方法。
铜铟镓硒太阳能电池板的制造工业特点
用交替溅射的方法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。通过可变占空比的电源控制器实现对Cu/Ga合金靶以及In靶溅射时间的控制，进而实现对最后元素配比的控制。实验中发现，在一个溅射周期中，Cu/Ga合金靶溅射时间对最后成分影响最大，其次是In靶溅射时间，非溅射时间的长短对成分也有影响。交替溅射制备的铜铟
花瓣复杂着色模式形成机制研究中取得进展
在有花植物中，花瓣通常是最靓丽、最引入注目的器官，多样性极为丰富。着色模式是花瓣最重要的属性之一，在植物的有性生殖甚至物种形成中发挥重要作用，阐明花瓣着色模式形成的分子机制和生态学功能对于理解花的多样化和植物与传粉者间的互作关系至关重要。在过去几十年中，人们已经揭示了植物着色模式形成的一般规律。
水质在线监测系统的取水系统及预处理系统
取水系统 取水系统的设计主要针对满足水样的代表性、可靠性和连续性来设计的，该系统的主要组成部分有：取水头、取水泵、水样输送管道和流速流量调节几个部分组成。按照取水方式的划分主要分为直取式和浮筒式两种，直取式主要针对水位变化小的环境使用，如污水厂、污染源、自来水涵管取水等，而浮筒式主要针对水位变
离子探针分析仪基本原理
离子探针的原理是利用能量为1～20KeV的离子束照射在固体表面上，激发出正、负离子（溅射），利用质谱仪对这些离子进行分析，测量离子的质荷比和强度，从而确定固体表面所含元素的种类和数量。被加速的一次离子束照射到固体表面上，打出二次离子和中性粒子等，这个现象称作溅射。溅射过程可以看成是单个入射离子和组成
离子探针分析仪的基本原理简介
离子探针的原理是利用能量为1～20KeV的离子束照射在固体表面上，激发出正、负离子（溅射），利用质离子探针分析仪基本原理谱仪对这些离子进行分析，测量离子的质荷比和强度，从而确定固体表面所含元素的种类和数量。 被加速的一次离子束照射到固体表面上，打出二次离子和中性粒子等，这个现象称作溅射。溅射过
离子探针分析仪基本原理
离子探针的原理是利用能量为1～20KeV的离子束照射在固体表面上，激发出正、负离子（溅射），利用质谱仪对这些离子进行分析，测量离子的质荷比和强度，从而确定固体表面所含元素的种类和数量。被加速的一次离子束照射到固体表面上，打出二次离子和中性粒子等，这个现象称作溅射。溅射过程可以看成是单个入射离子和组成
扫描探针显微镜及其在纳米结构材料表征中的应用
p.p1 {margin: 0.0px 0.0px 0.0px 0.0px; line-height: 19.0px; font: 13.0px 'Helvetica Neue'} 扫描探针显微镜(scanningprobemicroscopy,SPM)是纳米材料表征中最常用、最有力的工具
扫描电子显微镜生物样品制备技术详细介绍（四）
离子溅射与真空镀膜比较，它具有以下优点：粒子细，岛状结构少，约只有同一厚度的真空镀膜的1/5～1/10，膜层均匀。对于凹凸不平较大的样品，也能形成很好的金属膜。在膜的平均厚度一样时，溅射镀膜比真空镀膜的二次电子获得量大得多，故溅射镀膜的厚度可薄一些，所以能节省贵重金属用量。所需真空度低，操作较容易，
原子吸收光谱仪的原子化器简介
原子化器（atomizer） 可分为预混合型火焰原子化器（premixed flame atomizer）,石墨炉原子化器(graphite furnace atomizer),石英炉原子化器(quartz furnace atomizer)，阴极溅射原子化器(cathode sputteri
徕卡显微镜：电子显微镜涂层技术
涂层的样品需要在该领域的电子显微镜，以启用或提高成像的样品。创建的导电层上的金属样品抑制充电，减少热损伤，提高了所需的地形检查在SEM的二次电子信号。微细碳层，即透明的电子束，但导电性，所需的X-射线微量分析，支持网格上的薄膜的TEM成像备份副本。分辨率和应用程序依赖于所使用的涂层技术。
水质在线监测系统集成系统功能
实时监控 对企业监测点的排污量、设备运行等情况进行实时监控，并以人性化的界面显示有关数据； 数据接收 数据接收方式有两种，一种是监测点通讯控制器定时向中心返回监测数据（一般按1个小时返回，也可以通过用户设置）；一种是通过中心向监测点通讯控制器发送查询指令，监测点通讯控制器返回当前监测的实时
金相显微镜系统的系统组成
电脑型金相显微镜：1、金相显微镜2、适配镜 3、摄像器（CCD) 4、A/D（图像采集） 5、计算机数码相机型金相显微镜：1、金相显微镜 2、适配镜 3、数码相机
病毒基因检测系统的系统特点
1、DNA检测系统能提供诊断依据。使用基因芯片病毒检测系统，精确的诊断出导致泌尿生殖系统的致病微生物，为治疗感染疾病提供了科学的诊断依据。 2、生物基因疗法对顽固的感染症状效果不错。这种疗法特别针对病毒有极强的生物链的这个特点，从基因生物学的角度，直接破坏病毒基因生物链，达到治疗目的。
稻麦考种系统是什么系统？
稻麦考种系统是什么系统？稻麦考种系统是一款室内考种实验仪器，该仪器可以在极短的时间内快速完成考种工作，是现代育种考种、种子研发中的常用仪器之一。近年来，随着育种信息化的发展，各种考种仪器设备逐渐的进入育种人员的视野，其中稻麦考种系统的应用在实际的考种工作中发挥出了重要的作用，解决了育种中让育种人员非