国家863计划“6英寸SOIMEMS标准加工技术及应用”验收
4月9日，中国电子科技集团公司第十三研究所承担的863计划先进制造技术领域项目“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。验收会由科技部高技术研究发展中心组织，来自东南大学、北京大学、北京理工大学、同济大学、中北大学、长春光机所的相关专家参加了会议。 该项目针对航空航天、汽车、地质勘探、物联网等高端市场对高性能MEMS器件的迫切需求，突破了高精度体硅SOI结构关键工艺技术、体硅SOI圆片级封装技术、微小参数圆片级自动测试及低应力封装等关键技术，建立了圆片级在片测试系统，形成了适用于高性能MEMS器件加工的6英寸SOI MEMS标准工艺，实现了批量封装生产。 目前，6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术已经用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，已为国内多家MEMS设计单位提供了批量加工服......阅读全文
先进的半导体工艺：FinFET简介
FinFET简介 FinFET称为鳍式场效晶体管(FinField-EffectTransistor；FinFET)是一种新的互补式金氧半导体(CMOS)晶体管。闸长已可小于25奈米。该项技术的发明人是加州大学伯克利分校的胡正明教授。Fin是鱼鳍的意思，FinFET命名根据晶体管的形状
芯片毁于噪声：环境噪声
上次说到FinFET噪声，这次来聊一聊环境噪声。与环境相关的噪声源于附近数字电路的开关或电源电压的波动（由于耗电大的器件动作可引起电源波动）。 “新技术发展使得晶体管集成密度不断提高，通信速率亦不断提高，环境噪声也相应增大了。” Synopsys的Brain Chen说道，“设
地质地球所发明一种MEMS传感器的集成封装方法
目前，电子元器件芯片朝着越来越复杂的方向发展，而传统的IC集成器件封装和金属管壳封装都会带来困难。例如MEMS传感器，为了提高其性能，往往需要增加可动质量块的厚度，使用传统的IC集成器件封装技术和国内外标准的LCC（无引脚芯片载体）封装管壳的腔体深度往往不能满足MEMS厚度的要求，极大地造成了封
2021年全球MEMS传感器市场规模将达396.9亿美元
MEMS 传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。 MEMS 传感器历经四次商业化浪潮 MEMS 传感器的发展离不开MEMS 技术商业化的推动。1987 年，美国
破局赢势!2024上海2024国际智能MEMS与传感器博览会
2024中国（上海）国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间：2024年11月18日-20日 地点：上海新国际博览中心联系人：李主任 手 机：136
显微镜下确定MEMS传感器的内应力和应力梯度问题
内应力和应力梯度内部应力是使用薄膜常见的问题。在生产过程中产生的应力会导致器件良率和性能降低，以及淀积膜的分层和开裂。常见的检查方法/设备:光学晶圆曲面测量结合显微镜或白光干涉测厚仪测试晶圆结构基于探针的微机械测试晶圆结构
半导体所MEMS器件低成本圆片级低温键合方法研究获进展
基于Au-Sn二元系中富Sn区域的圆片级局域加热键合及其中间层相组成 封装是微纳机电系统（MEMS/NEMS）产业化前最后的但决定器件成败的最关键的一步加工技术，最近几年已经引起了越来越多的关注。当前国际上MEMS/NEMS较为成熟的封装工艺为键合工艺，几个发展比较成熟的键
石英晶体振荡器与全硅MEMS振荡器的特性比较
在构建各种电子设备及通信系统设备等过程中，振荡器作为信号源，其选择十分重要，将直接影响系统本身的性能。本次对以下两种振荡器用于基准信号源时的必要特性进行实际测试，通过性能比较进行说明：1、石英晶体单元为波源的基波振荡器；2、以硅谐振单元为波源且使用锁相环（ PLL）的全硅 MEMS 振荡器。振荡器的
二维微机电(MEMS)阵列为移动光谱分析仪打下基础
北京2016年11月7日电 --近日，德州仪器 （TI） DLP® 产品部的业务拓展经理 Mike Walker 和 Optecks 的首席技术官 Hakki Refai 博士发表文章：二维微机电（MEMS）阵列为移动光谱分析仪打下基础，如下是文章全文。 在近红外 （NIR） 光谱分析领域中
汽车电子展会|2024上海MEMS传感器展览会「上海汽车电子展」
2024中国电子展汽车电子展馆展会时间：2024年11月18-20日 展会地点：上海新国际博览中心主管单位：中华人民共和国工业和信息化部主办单位：中国电子器材有限公司官方支持媒体：《AutoR智驾》杂志、智能汽车网官方合作媒体：《中国电子报》、新浪汽车、搜狐汽车、网易汽车、易车网、汽车之家、极客公
MEMS全产业链资源将齐聚十月中国纳博会
“如果关注中国的MEMS产业，您就一定不要错过10月28日的第六届中国纳博会。本届大会将举办MEMS领域的国际研讨会、企业对接会、行业协会年会三大顶级盛会，将为关注MEMS产业的同行提供全产业链资源。”第六届中国纳博会组委会负责人蔡勇自豪地告诉记者。 据了解，中国纳博会是中国战略性新兴产业领域
2024年MEMS压力传感器行业现状分析：广泛应用于汽车领域
MEMS压力传感器通过精密的制造工艺和先进的检测技术，实现了高精度和高灵敏度的压力测量，以下是MEMS压力传感器行业现状分析。 MEMS压力传感器行业现状 《2024-2029年中国MEMS压力传感器行业发展趋势分析与未来投资研究报告》指出，MEMS压力传感器广泛应用于汽车、医疗、工业自动化
微谱科技WESPEC－——聚焦工业MEMS质谱技术，开启国产质谱2.0时代
2025年5月16日，微谱科技WESPEC TECH.开业盛典暨新品发布会璀璨启幕，各界嘉宾欢聚一堂共同见证了微谱科技万里长征上迈出的第一步。 微谱科技（湖州）有限公司WESPEC TECHNOLOGIES CO., LTD.是中国乃至全球第一家依托MEMS质谱技术发展各类质谱仪器的工业质谱制
「主办方」电子电路展/2024深圳MEMS传感器展览会丨官宣
2024中国（深圳）国际传感器技术与应用展2024 China (Shenzhen) International Sensor Technology and Application Exhibition地点：深圳会展中心展览时间：2024年4月9-11日参展咨询：021-5416 3212大会负责人
国内权威！第十届中国国际MEMS技术及应用展10月苏州举办
2018第十届中国国际MEMS技术及应用展（CHINA MEMS 2018）将于10月24-26日在苏州工业园区与第九届中国纳博会同期举办。作为国内最权威、最专业、知名度最高的MEMS展览会，即将走过十年之路的CHINA MEMS 2018成为本届纳博会备受关注的亮点。 据了解，CHINA M
200+MEMS全产业链企业，2万+精准观众，10月齐聚苏州！附展商名录
在万物互联的时代浪潮中，传感器作为物联网、工业互联网、大数据与人工智能等前沿技术的核心元器件，正成为推动产业智能化升级的关键基石。而微机电系统（英文：Micro-Electro-Mechanical System，以下简称“MEMS”）得益于小体积、高稳定、高精度、低成本等优势，随着国家重大装备性能
2021世界传感器大会|MEMS与智能传感器技术专场在郑召开！
11月1日，MEMS与智能传感器技术专场活动在郑州国际会展中心成功召开。本次论坛邀请了众多权威学者，他们针对智能传感器行业发展存在的突出问题及薄弱环节，还有我国MEMS与智能传感器技术的核心竞争力进行了深度探讨。会议现场照片 本次会议由中国科学技术协会、河南省人民政府作为主办单位，中国仪器仪表
IMT和北京大学微纳电子学研究院持续开展战略合作
美国最大的开放式MEMS 技术和制造服务提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司与北京大学微纳电子学研究院继续开展战略合作，并已将第三届（2017年度）MEMS专项奖学金颁发给该院的三位优秀学生，以鼓励他们在MEMS工艺技术研究与开发领域所做的贡献
近代物理所等在离子临界射程多样性和机理研究中获进展
中国科学院近代物理研究所材料研究中心的科研人员与中科院微电子研究所等合作，利用兰州重离子加速器（HIRFL）提供的高能重离子，在新建的单粒子效应实验终端对SOI和体硅静态随机读取存储器（SRAM）开展单粒子效应加速器地面模拟实验，在离子临界射程多样性和机理研究方面取得新进展。 单粒子效应是宇
2024上海2024国际智能MEMS与传感器博览会,展会有限,请速定展
2024中国（上海）国际传感器及应用技术展览会China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024时间：2024年11月18日-20日 地点：上海新国际博览中心联系人：李主任 手 机：136
汽车电子展会|2024上海国际MEMS传感器展览会「上海汽车电子展」
2024中国电子展汽车电子展馆展会时间：2024年11月18-20日 展会地点：上海新国际博览中心主管单位：中华人民共和国工业和信息化部主办单位：中国电子器材有限公司官方支持媒体：《AutoR智驾》杂志、智能汽车网官方合作媒体：《中国电子报》、新浪汽车、搜狐汽车、网易汽车、易车网、汽车之家、极客公
上海微系统所锗基石墨烯应用研究取得进展
中国科学院上海微系统与信息技术研究所在锗基石墨烯应用研究中取得新进展。信息功能材料国家重点实验室SOI材料课题组在国际上首次采用单侧氟化石墨烯作为锗基MOSFET的栅介质/沟道界面钝化层，调制界面特性，有望解决未来微电子技术进入非硅CMOS时代，锗材料替代硅材料所面临的栅介质/沟道界面不稳定的难
上海微系统所硅基光子学研究获突破性进展
日前，中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室SOI课题组在光子学研究方面取得突破性进展，研究结果发表在5月20日出版的Physical Review Letters 上（作者为：杜骏杰、王曦、邹世昌、甘甫烷等），并作为每期最亮点的工作
传感器展会|2024厦门传感器与应用技术展览会
传感器展会|2024厦门传感器与应用技术展览会时间：2024年11月1-3日 地点：厦门国际会展中心XISE EXPO展会介绍：2024中国（厦门）国际传感器与应用技术展览会将于2024年11月1-3日在厦门国际会展中心举行，本届展会秉承着"创造客户价值与引领产业发展"的宗旨，强化以"采购
流量传感器的应用领域有哪些
方向和流体流速传感器对于不同的工业，医疗和环境应用至关重要。流量传感器可在诸如密度测量，粘度测量，流型确定和壁切应力确定等应用中量化气体和液体流动的方向和速率。除了流量参数对方向，温度，速度和速率等感应范围的重要要求外，要检测的各种目标液体或气体的特性也构成了设计精que，低功耗和廉价传感器的障
压电传感器原理及应用（二）
二、压电MEMS传感器1、压电MEMS喷墨打印头喷墨打印为个人文档打印提供了灵活、经济的解决方案，目前仍在家庭和小型办公环境中大量应用。同时，CAD和图形艺术应用的大型宽幅打印将喷墨打印作为单次打印和小批量打印的技术选择。MEMS技术为之带来了“诱人”的解决方案：每个喷墨打印头拥有更高的喷嘴
上海微系统所在层数可控石墨烯薄膜制备方面取得进展
近期，中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室SOI材料课题组在层数可控石墨烯薄膜制备方面取得新进展。课题组设计了Ni/Cu体系，并利用离子注入技术引入碳源，通过精确控制注入碳的剂量，成功实现了对石墨烯层数的调控。相关研究成果以Synthesis of Layer-Tuna
日本名古屋大学Kazuo－SATO教授来微系统所作学术报告
8月11日上午，受微系统所焦继伟研究员邀请，来自日本名古屋大学的Kazuo SATO教授，为职工和学生作了题为MEMS Technology Innovation Based on Micro/Nano Science的报告。 Kazuo SATO教授从1983年就开始致力
映芯谐振完成数千万元天使+轮融资，投资方为元禾璞华
近日，上海映芯谐振机电科技有限公司（以下简称为映芯谐振）宣布完成数千万元天使+轮融资，投资方为元禾璞华。 据悉，本轮融资资金将主要用于加速公司全球首创的超大孔径MEMS微镜阵列芯片以及LBS投显模组的研发和商业化批量生产出货。 映芯谐振是一家MEMS微镜阵列芯片研发生产商，主要从事MEMS芯
漫谈半导体工艺节点（二）
可能的选择 短期内，芯片制造商们明确地会在FinFet和二维的FD-SOI技术上将节点推进到10nm。到了7nm之后，沟道上的的“门”就会上去控制，这就亟待一种全新的晶体管架构。 7nm上的一个领先竞争者就是高电子迁移率的FinFet，也就是在沟道上使用III-V 材料的FinFet